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게터펌프

  • 기술번호 : KST2015169800
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요약 본 발명은 게터가 수용되는 진공용기의 외부에서 게터의 활성화를 위해 열 방식을 개선한 게터펌프에 관한 것이다. 본 발명에 따른 게터펌프는 진공 분위기를 형성하는 진공용기, 진공용기의 내부인 진공 측에 배치되는 게터, 진공용기의 외부인 대기 측에 배치되어 게터의 활성화를 위해 게터로 열을 제공하는 가열부 및 게터와 가열부 사이에 배치되고 진공 측과 대기 측을 구획하며 가열부로부터의 열을 상기 게터로 열전달 하는 플랜지부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 대기 측에서 게터의 활성화를 위해 간접적으로 열전달하는 방식을 이용하여 게터의 설치 및 교환을 용이하게 할 수 있고, 이에 따라 제품의 성능과 활용성을 증대시킬 수 있다.
Int. CL F04B 37/14 (2006.01) F04B 37/02 (2006.01)
CPC F04B 37/14(2013.01) F04B 37/14(2013.01) F04B 37/14(2013.01) F04B 37/14(2013.01) F04B 37/14(2013.01)
출원번호/일자 1020120154780 (2012.12.27)
출원인 포항공과대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1391831-0000 (2014.04.28)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20140507) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.12.27)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박종도 대한민국 경북 포항시 남구
2 하태균 대한민국 경북 경주시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 인비전 특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길**, *층(대치동, 동산빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 경상북도 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.12.27 수리 (Accepted) 1-1-2012-1084101-91
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2013.02.18 수리 (Accepted) 1-1-2013-0141978-86
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2013.04.24 수리 (Accepted) 1-1-2013-0360050-68
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.06.13 수리 (Accepted) 4-1-2013-0025573-58
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.11.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.12.17 수리 (Accepted) 9-1-2013-0102910-98
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.12.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0891840-77
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.02.10 수리 (Accepted) 1-1-2014-0128007-63
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.02.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0128005-72
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5024386-11
11 등록결정서
Decision to grant
2014.04.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0265743-19
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5243581-27
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5245997-53
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5247115-68
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번호 청구항
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진공 분위기를 형성하는 진공용기와;상기 진공용기의 내부인 진공 측에 배치되는 게터와;상기 진공용기 내부에 수용되고 진공 측과 대기 측을 구획하며, 상기 게터를 진공 측에서 지지하는 지지부와;대기 측에 배치되어, 상기 게터의 활성화를 위해 대기 측에서 상기 지지부로 가열된 유체를 공급하는 가열부를 포함하는 것을 특징으로 하는 게터펌프
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제9항에 있어서,상기 지지부의 대기 측에는 상기 가열부로부터 제공된 가열 유체가 공급되는 공급부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 게터펌프
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제10항에 있어서,상기 게터펌프는,상기 공급부와 연통되는 관통공이 형성되고 상기 게터 및 상기 지지부가 배치되며, 상기 진공용기와 결합되는 플랜지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 게터펌프
12 12
제10항 또는 제11항에 있어서,상기 게터펌프는,상기 지지부의 상기 공급부에 배치되어, 상기 가열부로부터 제공된 가열 유체를 상기 지지부의 표면으로 안내하는 가이드부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 게터펌프
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진공 분위기를 형성하는 진공용기와;상기 진공용기의 진공 배기를 위해 마련되는 게터와;상기 진공용기와 연결되고, 내표면을 따라 상기 게터가 배치되는 통 형상의 플랜지부와;상기 플랜지부의 외표면에 배치되어, 상기 게터의 활성화를 위해 상기 플랜지부로 열을 전달하는 가열부를 포함하며,통 형상의 상기 플랜지부의 내표면에는 등간격을 두고 상기 게터가 삽입 지지되는 지지부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 게터펌프
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제13항에 있어서,상기 통 형상의 플랜지부와 상기 지지부는 일체로 마련되는 것을 특징으로 하는 게터펌프
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패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 포항공과대학교 신기술융합형성장동력사업 극고진공 고에너지용 소재 처리 및 시스템 제작 기술 개발
2 교육과학기술부 포항공과대학교 4세대 방사광가속기 구축사업 4세대 방사광가속기 구축사업