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초고속 균일 나노 입자 생성 노즐, 생성 장치 및 생성 방법

  • 기술번호 : KST2015169807
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 초고속 균일 나노 입자 생성 노즐, 생성 장치 및 생성 방법은 이산화탄소로 이루어진 입자생성가스를 노즐에 통과시켜 초고속 균일 나노 입자를 생성하는 것으로서, 상기 노즐목의 개폐 단면적을 조절하는 오리피스를 마련하여 별도의 냉각 장치 없이 균일한 핵 생성을 유도하며, 상기 노즐의 출구측으로 갈수록 단면적 및 팽창각이 증가되는 팽창부를 마련하여 비교적 완만한 제1팽창부를 통하여 상기 핵을 성장시켜 입자 생성을 도모하고, 제1팽창부에 비하여 급격한 팽창각을 가지는 제2팽창부를 통하여 생성된 입자를 가속시키는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 21/304 (2006.01) B05B 1/10 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020120148975 (2012.12.18)
출원인 포항공과대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1305256-0000 (2013.09.02)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20130906) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.12.18)
심사청구항수 23

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이진원 대한민국 경북 포항시 남구
2 김인호 대한민국 부산 사상구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인(유)화우 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로***길 **, *층 (대치동, 삼호빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 엔픽스 경상북도 포항시 남구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.12.18 수리 (Accepted) 1-1-2012-1056031-92
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2012.12.18 무효 (Invalidation) 1-1-2012-1056053-96
3 보정요구서
Request for Amendment		 2013.01.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2013-0000076-94
4 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2013.01.03 수리 (Accepted) 1-1-2013-0007218-06
5 무효처분통지서
Notice for Disposition of Invalidation		 2013.02.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2013-0016079-49
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.04.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0220815-86
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.05.31 수리 (Accepted) 1-1-2013-0487347-12
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.05.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0487335-64
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.13 수리 (Accepted) 4-1-2013-0025573-58
10 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal		 2013.07.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0526162-68
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.08.01 수리 (Accepted) 1-1-2013-0698200-03
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.08.01 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2013-0698203-39
13 등록결정서
Decision to grant		 2013.08.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0600066-08
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5024386-11
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5243581-27
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5245997-53
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5247115-68
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
이산화탄소로 이루어진 입자생성가스를 통과시켜 초고속 균일 나노 입자를 생성하는 노즐로서,노즐의 출구측으로 갈수록 단면적이 넓어지는 형태의 팽창부;상기 팽창부의 입구에 마련되어 상기 입자생성가스를 급속 팽창시키는 오리피스;를 포함하되,상기 팽창부는,제1팽창부 및 제2팽창부를 순차적으로 포함하여 이루어지되,상기 제2팽창부의 평균 팽창각이 상기 제1팽창부의 팽창각 보다 큰 것을 특징으로 하는 초고속 균일 나노 입자 생성 노즐
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서,상기 제2팽창부의 상기 제1팽창부와의 연결부분은 제1팽창부 출구측의 팽창각과 동일한 팽창각을 가지도록 형성되되, 상기 제2팽창부의 중심부로 갈수록 팽창각이 증가되며, 상기 중심부에서 출구측으로 갈수록 팽창각이 감소되도록 형성된 것을 특징으로 하는 초고속 균일 나노 입자 생성 노즐
4 4
제1항에 있어서,상기 제1팽창부는 0° 초과 30°이하의 팽창각을 가지며,상기 제2팽창부는 상기 제1팽창부의 팽창각에 비하여 10°~ 45°증가된 평균 팽창각을 가지는 것을 특징으로 하는 초고속 균일 나노 입자 생성 노즐
5 5
제4항에 있어서,제2팽창부의 출구에 연결되는 제3팽창부를 더 포함하되,상기 제3팽창부는 상기 제2팽창부의 평균 팽창각에 비하여 10°~ 45°증가되되 최대 90° 미만의 팽창각을 가지는 것을 특징으로 하는 초고속 균일 나노 입자 생성 노즐
6 6
제1항에 있어서, 상기 노즐의 입구측에 마련되는 압축부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초고속 균일 나노 입자 생성 노즐
7 7
제1항에 있어서,상기 팽창부의 출구는 상기 노즐이 대상물에 근접할 수 있도록 노즐축을 기준으로 비스듬히 절단된 형태인 것을 특징으로 하는 초고속 균일 나노 입자 생성 노즐
8 8
제1항에 있어서,상기 노즐의 외주면을 감싸는 단열부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초고속 균일 나노 입자 생성 노즐
9 9
이산화탄소로 이루어진 입자생성가스를 노즐에 통과시켜 초고속 균일 나노 입자를 생성하되,상기 노즐은, 상기 노즐의 출구측으로 갈수록 단면적 및 팽창각이 증가되는 팽창부;를 포함하되,상기 팽창부는,팽창각이 서로 다른 제1팽창부 및 제2팽창부를 순차적으로 포함하여 이루어지되,상기 제2팽창부의 평균 팽창각이 상기 제1팽창부의 팽창각 보다 큰 것을 특징으로 하는 초고속 균일 나노 입자 생성 장치
10 10
제9항에 있어서,상기 노즐의 노즐목에 위치되며 상기 노즐목의 개폐 단면적을 조절하는 오리피스;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초고속 균일 나노 입자 생성 장치
11 11
제9항에 있어서,상기 입자생성가스의 공급 압력을 조절하는 압력조절기를 더 포함하되,상기 입자생성가스는 5 bar 이상 60 bar 이하의 압력으로 상기 노즐로 공급되는 것을 특징으로 초고속 균일 나노 입자 생성 장치
12 12
제9항에 있어서,상기 입자생성가스는 캐리어가스와 혼합되어 공급되되,상기 입자생성가스와 캐리어가스의 혼합 비율을 조절하는 혼합챔버;를 더 포함하는 초고속 균일 나노 입자 생성 장치
13 13
제12항에 있어서,상기 캐리어가스는 질소 또는 헬륨으로 이루어지되,상기 혼합 비율은 상기 캐리어가스의 부피 비율이 10% 이상 99% 이하인 것을 특징으로 하는 특징으로 하는 초고속 균일 나노 입자 생성 장치
14 14
제13항에 있어서,상기 입자생성가스와 캐리어가스가 혼합된 혼합가스의 공급 압력을 조절하는 압력조절기를 더 포함하되,상기 입자생성가스는 5 bar 이상 120 bar 이하의 압력으로 상기 노즐로 공급되는 것을 특징으로 초고속 균일 나노 입자 생성 장치
15 15
삭제
16 16
제9항에 있어서,상기 제2팽창부의 상기 제1팽창부와의 연결부분은 제1팽창부 출구측의 팽창각과 동일한 팽창각을 가지도록 형성되되, 상기 제2팽창부의 중심부로 갈수록 팽창각이 증가되며, 상기 중심부에서 출구측으로 갈수록 팽창각이 감소되도록 형성된 것을 특징으로 하는 초고속 균일 나노 입자 생성 장치
17 17
제9항에 있어서,상기 제1팽창부는 0° 초과 30°이하의 팽창각을 가지며,상기 제2팽창부는 상기 제1팽창부의 팽창각에 비하여 10°~ 45°증가된 평균 팽창각을 가지는 것을 특징으로 하는 초고속 균일 나노 입자 생성 장치
18 18
제17항에 있어서,제2팽창부의 출구에 연결되는 제3팽창부를 더 포함하되,상기 제3팽창부는 상기 제2팽창부의 팽창각에 비하여 10°~ 45°증가되되 최대 90°미만의 평균 팽창각을 가지는 것을 특징으로 하는 초고속 균일 나노 입자 생성 장치
19 19
제9항에 있어서,상기 팽창부의 출구는 상기 노즐이 대상물에 근접할 수 있도록 노즐축을 기준으로 비스듬히 절단된 형태인 것을 특징으로 하는 초고속 균일 나노 입자 생성 장치
20 20
이산화탄소로 이루어진 입자생성가스를 노즐에 통과시켜 초고속 균일 나노입자를 생성하는 방법으로서,상기 입자생성가스가 상기 노즐의 노즐목에 마련된 오리피스를 통과하면서 급속 팽창되어 핵 생성이 이루어지는 핵생성단계;상기 핵생성단계를 거친 후, 노즐목 출구로부터 이어지는 0°초과 30°미만의 팽창각을 가지는 제1팽창부를 통과하면서 핵 성장이 이루어져 승화성 입자가 생성되는 입자생성단계;상기 입자생성단계를 거친 후, 상기 제1팽창부의 출구로부터 이어지며 상기 제1팽창부의 팽창각 보다 10°~ 45° 증가된 평균 팽창각을 가지는 제2팽창부를 통과하면서 경계층의 성장을 상쇄하고 상기 승화성 입자의 분사속도가 상승되는 입자가속단계;를 포함하는 초고속 나노 입자 생성 방법
21 21
제20항에 있어서,상기 핵생성단계의 전 단계로서, 상기 입자생성가스의 압력을 조절하는 압력조절단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초고속 나노 입자 생성 방법
22 22
제21항에 있어서, 상기 압력조절단계를 거친 상기 입자생성가스의 압력은 5 bar 이상 60 bar 이하로 조절되어 상기 노즐로 유입되는 것을 특징으로 하는 초고속 나노 입자 생성 방법
23 23
제20항에 있어서,상기 핵생성단계의 전 단계로서,상기 입자생성가스와 캐리어가스를 혼합시켜 혼합기체를 형성하는 혼합단계; 및상기 혼합단계를 거친 혼합가스의 압력을 조절하는 압력조절단계;를 순차적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 초고속 나노 입자 생성 방법
24 24
제23항에 있어서,상기 캐리어가스는 질소 또는 헬륨으로 이루어지며,상기 압력조절단계를 거친 상기 혼합가스의 압력은 5 bar 이상 120 bar 이하로 조절되어 상기 노즐로 유입되는 것을 특징으로 하는 초고속 나노 입자 생성 방법
25 25
제20항에 있어서,상기 입자가속단계를 거친 후, 상기 제2팽창부의 출구로부터 이어지며 상기 제2팽창부의 평균 팽창각 보다 10°~ 45° 증가되되 최대 90° 미만의 팽창각을 가지는 제3팽창부를 통과하면서 승화성 입자의 고속 코어를 노즐 외부로 형성시키는 유동조절단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 초고속 나노 입자 생성 방법
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1 CN104853854 CN 중국 FAMILY
2 CN104854682 CN 중국 FAMILY
3 JP05944595 JP 일본 FAMILY
4 JP06266015 JP 일본 FAMILY
5 JP28505371 JP 일본 FAMILY
6 JP28511135 JP 일본 FAMILY
7 KR101272785 KR 대한민국 FAMILY
8 US09476642 US 미국 FAMILY
9 US09700990 US 미국 FAMILY
10 US09865475 US 미국 FAMILY
11 US20150321314 US 미국 FAMILY
12 US20150323252 US 미국 FAMILY
13 US20150325429 US 미국 FAMILY
14 WO2014098364 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY
15 WO2014098365 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY
16 WO2014098487 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY
17 WO2014098488 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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6 JP2016511135 JP 일본 DOCDBFAMILY
7 JP5944595 JP 일본 DOCDBFAMILY
8 JP6266015 JP 일본 DOCDBFAMILY
9 US2015321314 US 미국 DOCDBFAMILY
10 US9700990 US 미국 DOCDBFAMILY
11 WO2014098364 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 포항공과대학교 도약연구지원사업(도전) 고속 나노입자빔을 이용한 나노오염물질 제거 기술