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분지형 폴리뉴클레오티드 망상 구조체(networked structre of branched polynucleotides)를 포함하는 주형에 금속산화물 전구체를 흡착시키는 단계; 상기 흡착된 금속산화물 전구체를 분해하여 금속산화물로 전환하는 단계; 및상기 주형을 제거하는 단계;를 포함하는다공성 금속산화물 구조체 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 분지형 폴리뉴클레오티드 망상 구조체는 분지형 폴리뉴클레오티드 하이드로겔을 동결건조함으로써 얻어진 것을 특징으로 하는 다공성 금속산화물 구조체 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 금속산화물 전구체는 상기 분지형 폴리뉴클레오티드 망상 구조체 내의 질소 원자와의 화학적 결합을 통하여, 상기 분지형 폴리뉴클레오티드 망상 구조체에 화학적으로 흡착될 수 있는 금속 함유 화합물인 것을 특징으로 하는 다공성 금속산화물 구조체 제조 방법
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제 3 항에 있어서, 상기 금속산화물 전구체는 Ti{OCH(CH3)2}4), C18H26Cl2Ti, Ti(N(CH3)2)2(N(CH2CH3)2)2, [(C2H5)2N]4Ti, [(CH3)2N]4Ti, TiCl4, (CH3)3Al, Al(N(CH3)2)3, [(CH3)2CHCH2]3Al, Al(OCC(CH3)3CHCOC(CH3)3)3, (C2H5)2Zn, (C6F5)2Zn, Zn(OCC(CH3)3CHCOC(CH3)3)2, (C6H5)2Zn, Cu(OCC(CH3)3CHCOCF2CF2CF3), Cu(OCC(CH3)3CHCOC(CH3)3)2, Mn(C5H5)2, Mn(C5(CH3)5)2, C5H4CH3Pt(CH3)3, [[(CH3)3Si]2N]2Sn, [(C6H5)3Sn]2, [CH3(CH3)3]2Sn(C6H5)2, C8H10Ni, Ni(C5H5)2, Ni(C5H4C2H5)2, V(C5H5)2, C14H18V, OV(OCH(CH3)2)3, 또는 이들의 조합인 것을 특징으로 하는 다공성 금속산화물 구조체 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 주형에 대한 금속산화물 전구체의 흡착 단계는, 반응챔버 내에 상기 주형을 배치하는 단계; 및 상기 반응챔버 내에 금속산화물 전구체 가스를 주입하는 단계;에 의하여 수행되는 것을 특징으로 하는 다공성 금속산화물 구조체 제조 방법
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제 5 항에 있어서, 상기 반응챔버의 온도는 20 ℃ 내지 150 ℃인 것을 특징으로 하는 다공성 금속산화물 구조체 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 흡착된 금속산화물 전구체를 분해하여 금속산화물로 전환하는 단계는, 상기 흡착된 금속산화물 전구체를 금속산화물 전구체 분해제와 접촉시키는 단계에 의하여 수행되는 것을 특징으로 하는 다공성 금속산화물 구조체 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 주형을 제거하는 단계는, 상기 분지형 폴리뉴클레오티드 망상 구조체를 열분해하는 단계에 의하여 수행되는 것을 특징으로 하는 다공성 금속산화물 구조체 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 주형을 제거하는 단계는, 폴리뉴클레오티드를 용해할 수 있는 유기용매로 상기 분지형 폴리뉴클레오티드 망상 구조체를 용해하는 단계에 의하여 수행되는 것을 특징으로 하는 다공성 금속산화물 구조체 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 분지형 폴리뉴클레오티드 망상 구조체를 포함하는 주형에 금속산화물 전구체를 흡착시키는 단계; 및 상기 흡착된 금속산화물 전구체를 분해하여 금속산화물로 전환하는 단계;가 2회 이상 반복되는 것을 특징으로 하는 다공성 금속산화물 구조체 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 분지형 폴리뉴클레오티드 망상 구조체를 포함하는 주형에 금속산화물 전구체를 흡착시키는 단계; 및 상기 흡착된 금속산화물 전구체를 분해하여 금속산화물로 전환하는 단계;가 원자층 증착 공정에 의하여 수행되는 것을 특징으로 하는 다공성 금속산화물 구조체 제조 방법
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제 1 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 따른 다공성 금속산화물 구조체 제조 방법에 의하여 제조된 다공성 금속산화물 구조체
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