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구조를 분석할 박막 시료가 장착되는 시료대와 이 시료대가 위치하는 진공 시료챔버를 포함하는 시료장착부와, 상기 시료장착부를 회전시켜 방사광의 입사각을 조절하는 고니오미터 구동부와 상기 시료장착부를 방사광에 대해 상하좌우로 이동시키기 위한 스테팅 모터 구동부를 포함하는 시료제어부, 상기 시료장착부의 승온 및 강온을 조절하는 온도조절부, 상기 시료제어부와 온도조절부에 제어 명령을 전달하고 제어명령과 제어결과를 저장 및 디스플레이하는 주제어부를 포함하는 방사광 스침각입사 산란장치의 제어방법에 있어서, 상기 시료제어부와 온도조절부를 초기화하는 단계와;상기 시료제어부와 온도조절부에 인가할 소정의 설정값 및 제어 명령을 입력하는 단계;상기 설정값과 제어명령에 따라 시료제어부의 스테핑 모터 구동부를 동작시켜 진공 시료챔버를 정렬하는 단계;상기 설정값과 제어 명령에 따라 시료제어부의 고니오미터 구동부를 동작시켜 입사각을 보정 및 조절하는 단계;상기 온도조절부로부터 시료가 놓여있는 시료대의 온도를 입력받고 상기 설정값과 제어 명령에 따라 상기 시료대의 온도를 제어하는 단계를 포함하는 방사광 스침각입사 산란장치 제어방법
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제 1 항에 있어서,상기 시료대의 온도를 제어하는 단계 이후에, 상기 시료대의 위치 또는 입사각 또는 온도 제어명령과 제어결과를 저장 및 디스플레이하는 단계를 포함하는 방사광 스침각입사 산란장치 제어방법
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제 1 항에 있어서, 상기 설정값과 제어 명령을 입력하는 단계는 상기 진공 시료챔버의 위치와 상기 시료대의 입사각도 및 온도에 대한 설정값 및 제어명령을 입력시키는 방사광 스침각입사 산란장치 제어방법
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제 1 항에 있어서, 상기 진공 시료챔버를 정렬시키는 단계는 시료가 방사광의 중앙을 지나가게 정렬시키는 방사광 스침각입사 산란장치 제어방법
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제 1 항에 있어서, 상기 입사각을 보정 및 조절하는 단계는 고니오미터를 설정값보다 큰 값으로 제어작동시키는 과정과, 설정값까지 역방향으로 제어작동시키는 과정을 포함하여, 고니오미터의 모터 역회전에 의한 입사각의 오차를 제거하도록 된 방사광 스침각입사 산란장치 제어방법
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제 1 항에 있어서, 상기 입사각을 보정 및 조절하는 단계는 방사광에 대해 시료가 수평이 되었을 때를 0으로 보정하는 과정과, 입사각을 조절하는 과정을 포함하는 방사광 스침각입사 산란장치 제어방법
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제 1 항에 있어서, 상기 입사각을 보정 및 조절하는 단계는 상기 진공 시료챔버를 정렬하는 단계와 동시에 이루어지는 방사광 스침각입사 산란장치 제어방법
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제 1 항에 있어서, 상기 시료대의 온도는 영하 80℃ ~ 영상 1000℃ 범위로 조절되는 방사광 스침각입사 산란장치 제어방법
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