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금속알킬아마이드 전구체를 도입하는 단계;상기 금속-알킬아마이드 전구체를 퍼지하는 단계;금속-알콕사이드 전구체를 도입하는 단계; 및 상기 금속-알콕사이드 전구체를 퍼지하는 단계를 반복하여 박막을 성장시키는 것을 특징으로 하는 금속박막의 원자층 화학 증착 방법
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제1항에 있어서, 상기 금속은 하프늄, 실리콘, 지르코늄, 타이타늄, 또는 알루미늄으로 이루어진 그룹에서 선택되는 것을 특징으로 하는 금속 박막의 원자층 화학증착방법
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제1항에 있어서, 상기 금속 알킬아마이드 전구체는 Hf(NRR')4, 또는 Si(NRR')4 이며, 상기 금속-알콕사이드 전구체는 Hf(OR)4, 또는 Si(OR)4 이며, 상기 금속 박막은 하프늄 실리케이트인 것을 특징으로 하는 금속 박막의 원자층 화학증착방법
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제 3 항에 있어서, R 및 R'는 알킬리간드인 것을 특징으로 하는 금속 박막의 원자층 화학증착방법
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제3항 또는 제4항에 있어서, 상기 R 및 R'는 노말, 이소-, 또는 tert- 형태의 메틸, 에틸, 프로필, 부틸인 금속 박막의 원자층 화학증착방법
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제1항 또는 제3항에 있어서, 상기 질소, 아르곤, 수소로 이루어진 그룹에서 선택된 하나 이상인 것을 가스로 퍼지되는 것을 특징으로 하는 금속 박막의 원자층 화학증착방법
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제1항 또는 제3항에 있어서, 상기 금속 알킬아마이드 또는 금속 알콕사이드 전구체는 펄스 형태로 버블러 시스템에 의해서 도입되는 것을 특징으로 하는 금속 박막의 원자층 화학 증착 방법
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