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빛 중에서 특정 칼라의 빛을 통과시키는 칼라 필터;상기 칼라 필터의 하부에 형성되며, 복수개의 층들을 포함하고, 상기 복수개의 층들은 상부층과 하부층을 포함하며, 상기 하부층은 상기 상부층보다 큰 면적을 가지는 마이크로 렌즈; 및상기 마이크로 렌즈의 하부에 형성되어 상기 마이크로 렌즈를 통과하는 빛을 받아서 이를 전기 신호로 변환하는 포토 디바이스;를 포함하고,상기 포토 디바이스의 표면의 반사율을 감소시키고 상기 포토 디바이스의 표면의 한 지점에 빛을 집광시키기 위해 상기 하부층은 상기 하부층에 수직인 제1 방향으로 상기 상부층보다 큰 두께를 가지고,상기 마이크로 렌즈와 이웃하는 마이크로 렌즈 사이에 형성되어 상기 마이크로 렌즈와 상기 이웃하는 마이크로 렌즈를 격리시키는 산화막을 더 포함하며,상기 상부층은 원형으로 형성되고 상기 하부층은 직사각형으로 형성되며,상기 상부층 및 상기 하부층은 측벽이 수직으로 형성되고,상기 하부층의 가로 및 세로의 길이는 상기 컬러 필터와 동일하게 형성되는 이미지 센서
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제1 항에 있어서, 상기 마이크로 렌즈는 실리콘 나이트라이드(SiN), 실리콘 산화막, 또는 그 조합을 포함하는 이미지 센서
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제1 항에 있어서, 상기 마이크로 렌즈는상기 상부층으로서의 제1 층;상기 제1 층의 하부에 형성되며, 상기 제1 층보다 큰 면적을 가지며, 중간층으로서의 제2 층; 및상기 제2 층의 하부에 형성되며, 상기 제2 층보다 큰 면적을 가지며, 상기 하부층으로서의 제3 층;을 포함하는 이미지 센서
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제4 항에 있어서, 상기 제2 층은 상기 제1 층보다 큰 두께를 가지고, 상기 제3 층은 상기 제2 층보다 큰 두께를 가지는 것을 특징으로 하는 이미지 센서
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제1 항에 있어서, 상기 상부층은 상기 하부층의 중앙 위에 위치하는 것을 특징으로 하는 이미지 센서
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제1 항에 있어서, 상기 마이크로 렌즈와 상기 포토 디바이스 사이에 형성되며, 상기 마이크로 렌즈로부터 출사되는 빛이 상기 포토 디바이스의 표면에서 반사되는 것을 방지하는 반사 방지막을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 이미지 센서
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포토 다이오드 위에 형성되며, 입사되는 빛을 모아서 상기 포토 디바이스로 전송하는 마이크로 렌즈를 구비하고,상기 마이크로 렌즈는 원형의 제1 층;상기 제1 층의 하부에 형성되며, 상기 제1 층보다 큰 면적을 가지는 원형의 제2 층; 및상기 제2 층의 하부에 형성되며, 상기 제2 층보다 큰 면적을 가지는 직사각형의 제3 층;을 포함하며,상기 원형의 상기 제2 층은 상기 원형의 상기 제1 층보다 큰 두께를 가지고,상기 직사각형의 상기 제3 층은 상기 포토 디바이스의 표면의 반사율을 감소시키고 상기 포토 디바이스의 표면의 한 지점에 빛을 집광시키기 위해 상기 하부층에 수직인 제1 방향으로 상기 원형의 상기 제2 층보다 큰 두께를 가지며,상기 마이크로 렌즈와 이웃하는 마이크로 렌즈 사이에 형성되어 상기 마이크로 렌즈와 상기 이웃하는 마이크로 렌즈를 격리시키는 산화막을 더 포함하며,상기 제1 층 및 상기 제2 층은 원형으로 형성되고 상기 제3 층은 직사각형으로 형성되며,상기 제1 층, 상기 제2 층 및 상기 제3 층은 측벽이 수직으로 형성되고, 상기 제3 층의 가로 및 세로의 길이는 상기 컬러 필터와 동일하게 형성되는 이미지 센서
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제9 항에 있어서, 상기 제1 층은 상기 제2 층의 중앙 위에 위치하고,상기 제2 층은 상기 제3 층의 중앙 위에 위치하는 것을 특징으로 하는 이미지 센서
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삭제
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삭제
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빛을 전기 신호로 변환하는 포토 디바이스;상기 포토 디바이스의 상부에 형성되고 복수개의 층들을 포함하며, 상기 복수개의 층들은 상부층과 하부층을 포함하며, 상기 하부층은 상기 상부층보다 큰 면적을 가지며, 상기 하부층은 상기 포토 디바이스의 표면의 반사율을 감소시키고 상기 포토 디바이스의 표면의 한 지점에 빛을 집광시키기 위해 상기 하부층에 수직인 제1 방향으로 상기 상부층보다 큰 두께를 가지는 마이크로 렌즈;상기 마이크로 렌즈와 이웃하는 마이크로 렌즈 사이에 형성되어 상기 마이크로 렌즈와 상기 이웃하는 마이크로 렌즈를 격리시키는 산화막;상기 산화막과 상기 마이크로 렌즈의 상부에 형성되고 특정 칼라의 빛을 통과시키는 컬러 필터;를 포함하며, 상기 상부층은 마름모꼴로 형성되며 상기 하부층은 직사각형으로 형성되고,상기 상부층 및 상기 하부층은 측벽이 수직으로 형성되며,상기 하부층의 가로 및 세로의 길이는 상기 컬러 필터와 동일하게 형성되는 이미지 센서
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