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지지체; 및 나노 사이즈를 갖는 복수의 기공과 매트릭스로 이루어진 분리층을 포함하는 나노다공성 멤브레인으로서, 상기 기공의 갯수가 1010개/cm2 이상인 나노다공성 멤브레인(nanoporous membrane)
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제1항에 있어서, 상기 기공 입경의 평균값이 6nm 내지 40nm인 것을 특징으로 하는 나노다공성 멤브레인
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제1항에 있어서, 상기 기공 입경의 표준 편차값이 3 이하인 것을 특징으로 하는 나노다공성 멤브레인
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제1항에 있어서, 상기 분리층의 기공이 지지체에 대하여 수직인 방향으로 천공되어 있는 것을 특징으로 하는 나노다공성 멤브레인
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제1항에 있어서, 상기 분리층의 매트릭스가 심부(inner portion) 및 상기 심부를 덮는 표면부(surface portion)로 이루어진 것을 특징으로 하는 나노다공성 멤브레인
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제5항에 있어서, 상기 심부가 폴리스티렌으로 이루어지고, 상기 표면부가 폴리아크릴, 폴리이소프렌 또는 폴리부타디엔으로 이루어진 것을 특징으로 하는 나노다공성 멤브레인
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제1항에 있어서, 상기 분리층의 두께가 10nm 내지 200nm인 것을 특징으로 하는 나노다공성 멤브레인
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기판을 준비하는 단계;상기 기판 상부에 식각층을 형성하는 단계;상기 식각층 상부에 상-분리성 공중합체(phase-separable copolymer) 함유-조성물을 도포 및 열처리하여 상-분리된 공중합체층(phase-separated polymer layer)을 형성하는 단계;상기 상-분리된 공중합체층이 구비된 기판을 지지체를 함유한 식각액에 침지시켜, 상기 상-분리된 공중합체층을 지지체에 고정시키는 단계; 및상기 상-분리된 공중합체층이 고정된 지지체를 산성 용액에 침지시켜, 상기 상-분리된 공중합체층 중 나노 사이즈를 갖는 기공을 형성함으로써, 나노 사이즈를 갖는 복수의 기공과 매트릭스로 이루어진 분리층을 지지체 상부에 형성하는 단계;를 포함하는, 나노다공성 멤브레인의 제조 방법
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제8항에 있어서, 상기 상-분리성 공중합체 함유-조성물이 폴리스티렌-블록-폴리아크릴 공중합체, 폴리스티렌-블록-폴리이소프렌 공중합체, 폴리스티렌-블록-폴리부타디엔 공중합체 또는 이들의 유도체인 것을 특징으로 하는 나노다공성 멤브레인의 제조 방법
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제8항에 있어서, 상기 상-분리성 공중합체 함유-조성물이 폴리아크릴 단일중합체, 폴리이소프렌 단일중합체, 폴리부타디엔 단일중합체 또는 이들의 유도체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 나노다공성 멤브레인의 제조 방법
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제8항에 있어서, 상기 식각액이 불산 수용액, 인산 수용액 또는 수산화물 수용액이고, 상기 식각액의 농도가 5wt% 내지 30wt%인 것을 특징으로 하는 나노다공성 멤브레인의 제조 방법
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제8항에 있어서, 상기 산성 용액이 아세트산, isopropyl alcohol 이고, 상기 산성 용액의 농도가 10 wt% 내지 50wt%인 것을 특징으로 하는 나노다공성 멤브레인의 제조 방법
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제8항에 있어서, 상기 나노다공성 멤브레인의 분리층 중 기공의 갯수가 1010개/cm2 이상인 것을 특징으로 하는 나노다공성 멤브레인의 제조 방법
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제8항에 있어서, 상기 나노다공성 멤브레인의 분리층 중 기공 입경의 평균값이 6nm 내지 40nm인 것을 특징으로 하는 나노다공성 멤브레인의 제조 방법
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제8항에 있어서, 상기 나노다공성 멤브레인의 분리층 중 기공 입경의 표준 편차값이 3 미만인 것을 특징으로 하는 나노다공성 멤브레인의 제조 방법
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제8항에 있어서, 상기 나노다공성 멤브레인의 분리층 중 기공이 상기 지지체에 대하여 수직인 방향으로 천공되어 있는 것을 특징으로 하는 나노다공성 멤브레인의 제조 방법
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제8항에 있어서, 상기 나노다공성 멤브레인의 분리층 중 매트릭스가 심부(inner portion) 및 상기 심부를 덮는 표면부(surface portion)로 이루어진 것을 특징으로 하는 나노다공성 멤브레인의 제조 방법
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제17항에 있어서, 상기 심부가 폴리스티렌으로 이루어지고, 상기 표면부가 폴리아크릴, 폴리이소프렌, 폴리에틸렌 옥사이드 또는 폴리부타디엔으로 이루어진 것을 특징으로 하는 나노다공성 멤브레인의 제조 방법
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제8항에 있어서, 상기 다공성 멤브레인의 분리층의 두께가 10nm 내지 200nm인 것을 특징으로 하는 나노다공성 멤브레인의 제조 방법
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제8항의 나노다공성 멤브레인의 제조 방법으로 제조된 것을 특징으로 하는 나노다공성 멤브레인
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