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Χ-선 토포그래피에 의한 결함의 3-차원 분포의 분석

  • 기술번호 : KST2015170077
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 단결정내 구조적 결함의 3-차원 분포 결정 방법으로서:(a) 단결정 샘플을 브래그 기하학적 조건에서 대칭 반사가 일어나도록 홀더상에 배치하는 단계; (b) 상기 샘플내 미리정해진 결정면상에 입사 X-선의 빔을 투사시키고 상기 샘플이 상기 미리정해진 결정면에 수직한 수직 축에 대하여 방위 회전하면서 상기 X-선을 반사시키는 단계; (c) CCD 검출기의 검출 평면 상의 결함의 2-차원 배열의 기하학적 측정 값을 얻는 단계;및 (d)상기 샘플상의 상기 결함의 3-차원 배열과 상기 검출 평면 상의 상기 결함의 2-차원 배열의 기하학적 측정 값들 사이의 기하학적 관계를 공식화함으로써 상기 샘플내의 상기 결함의 3-차원 분포를 결정하는 단계를 포함하는 단결정내 구조적 결함의 3-차원 분포 결정 방법이 제공된다. X-선, 결함, 분포
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC G01N 23/046(2013.01) G01N 23/046(2013.01) G01N 23/046(2013.01)
출원번호/일자 1020087017483 (2008.07.17)
출원인 학교법인 포항공과대학교, 포항공과대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0936746-0000 (2010.01.06)
공개번호/일자 10-2008-0089404 (2008.10.06) 문서열기
공고번호/일자 (20100115) 문서열기
국제출원번호/일자 PCT/KR2006/000062 (2006.01.06)
국제공개번호/일자 WO2007078023 (2007.07.12)
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.07.17)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인 포항공과대학교 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 제정호 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 이재목 대한민국 경상북도 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인세신 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 *** (가산동, 월드메르디앙벤처센터II)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인 포항공과대학교 대한민국 경북 포항시 남구
2 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허법 제203조에 따른 서면
[Patent Application] Document according to the Article 203 of Patent Act		 2008.07.17 수리 (Accepted) 1-1-2008-0515408-38
2 등록결정서
Decision to grant		 2009.12.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0515592-02
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.13 수리 (Accepted) 4-1-2013-0025573-58
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5024386-11
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.07.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5149263-30
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5243581-27
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5245997-53
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5247115-68
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번호 청구항
1 1
단결정내 구조적 결함의 3-차원 분포 결정 방법으로서, 상기 방법은: (a) 단결정 샘플을 홀더상에, 상기 샘플이 브래그 기하학적 조건에서 대칭 반사가 일어나도록 배치하는 단계; (b) 상기 샘플내 미리정해진 결정면상에 입사 X-선의 빔을 투사시키고 상기 샘플이 상기 미리정해진 결정면에 수직한 수직 축에 대하여 방위 회전시키면서 상기 X-선을 반사시키는 단계; (c) CCD 검출기의 검출 평면 상의 결함의 2-차원 배열의 기하학적 측정 값을 얻는 단계;및 (d)상기 샘플상의 상기 결함의 3-차원 배열과 상기 검출 평면 상의 상기 결함의 2-차원 배열의 기하학적 측정 값들 사이의 기하학적 관계를 공식화함으로써 상기 샘플내의 상기 결함의 3-차원 분포를 결정하는 단계를 포함하는 단결정내 구조적 결함의 3-차원 분포 결정 방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 결함은 전위, 개재물 또는 공극을 포함하는 단결정내 구조적 결함의 3-차원 분포 결정 방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 3-차원 분포는 상기 결함의 위치, 높이, 너비 및 길이로 이루어지는 군으로부터 선택된 적어도 하나를 포함하는 단결정내 구조적 결함의 3-차원 분포 결정 방법
4 4
제1항에 있어서, 상기 투사하고 반사시키는 단계에서, 상기 샘플의 상기 회전는 180°의 전 범위에 걸쳐 45°정도씩 수행되는 단결정내 구조적 결함의 3-차원 분포 결정 방법
5 5
제1항에 있어서, 상기 입사 X-선은 단색 빔인 단결정내 구조적 결함의 3-차원 분포 결정 방법
6 6
제1항에 있어서, 상기 X-선은 싱크로트론 X-선을 포함하는 단결정내 구조적 결함의 3-차원 분포 결정 방법
7 7
제1항에 있어서, z축이 회절벡터 g를 따라 존재하고 yz 평면이 산란 평면과 일치하도록 xyz 직교좌표 시스템을 정의하고; 상기 결함의 상기 3-차원 분포는 하기 벡터 u로 표시하고, 상기 식에서 α 및 β는 에서의 두개의 오일러 각도(Euler angle)이고, 는 기준점으로부터의 상기 결함의 거리이고; 검출기 평면에서 측정된 결함 위치는 XY 직교좌표 시스템에서 하기 벡터 로 표시하며, 여기서, 는 X축에 대한 상기 결함-대-기준 선의 각도이고 는 상기 선의 길이이고; 평행 빔 근사법에서, 이고, 가 하기 회절 빔에 수직한 상기 검출 평면상의 및 의 투사선과 동일하고, 및 ;및 변환 공식의 각도 및 길이 성분은 각각 하기 조건을 만족하는 단결정내 구조적 결함의 3-차원 분포 결정 방법: 및
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1 US2009034681 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US7620149 US 미국 DOCDBFAMILY
3 WO2007078023 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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