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절연 액체의 유동을 제어하는 마이크로 펌프에 있어서, 상기 절연 액체의 이동 통로를 형성하는 사각 형상을 갖는 사각 채널(250);상기 사각 채널의 내부에 형성되어 전기장을 인가하기 위한 실린더 형상을 갖는 실린더 전극 형성부(210);상기 절연 액체가 유입되는 유입부(230); 및 상기 절연 액체가 유출되는 유출부(240)를 구비하며,상기 실린더 전극 형성부(210)는, 접지전압(GND)을 인가하기 위한 접지전극 연결부(211); 상기 접지전극 연결부(211)에 각각 연결된 제2 실린더 전극 상부 접합부(214)와 제3 실린더 전극 상부 접합부(215);외부 전원에서 공급한 직류(DC) 또는 교류(AC) 전압을 인가하기 위한 외부전원 연결부(212); 및상기 외부전원 연결부(212)와 연결된 제1 실린더 전극 상부 접합부(213)를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 펌프
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제 1항에 있어서, 상기 제1 실린더 전극 상부 접합부(213), 상기 제2 실린더 전극 상부 접합부(214) 및 상기 제3 실린더 전극 상부 접합부(215)는,일정 간격을 두고 실린더 형상을 갖는 복수 개의 제1 실린더 전극들(216a~ 216e), 제2 실린더 전극들(217a~ 217e) 및 제3 실린더 전극들(218a~ 218e)을 각각 구비하는 것을 특징으로 하는 마이크로 펌프
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제 3항에 있어서, 상기 제1 실린더 전극들(216a~ 216e), 상기 제2 실린더 전극들(217a~ 217e) 및 상기 제3 실린더 전극들(218a~ 218e) 각각은, 서로 교차 배치되며, 이들이 배치되어 있는 N(양의 정수) 번째 위치에서 제N 전극세트를 형성하는 것을 특징으로 하는 마이크로 펌프
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제 4항에 있어서, 상기 제2 실린더 전극(217a), 상기 제1 실린더 전극(216a), 상기 제3 실린더 전극(218a)은 각각 지름이 50μm~10mm를 갖는 것을 특징으로 하는 마이크로 펌프
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제 1항에 있어서, 상기 절연 액체는,10-10 ~ 10-12 S/m 범위의 전기 전도도를 가지는 유기 또는 무기 용액에 0
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제 6항에 있어서, 상기 첨가제는, 이온성 및 비이온성 계면활성제 또는 알콜류 물질을 사용하는 것을 특징으로 하는 마이크로 펌프
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제 1항에 있어서, 상기 사각 채널(250)은 절연 물질을 사용하고, 상기 전극 형성부(210)는 금속 물질을 사용하는 것을 특징으로 하는 마이크로 펌프
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절연 액체의 유동을 제어하는 마이크로 펌프에 있어서, 상기 절연 액체의 이동 통로를 형성하는 사각 형상을 갖는 사각 채널(370);상기 사각 채널의 내부에 형성되어 전기장을 인가하기 위한 평면 형상을 갖는 평면 전극 형성부(310);상기 절연 액체가 유입되는 유입부(320); 및 상기 절연 액체가 유출되는 유출부(330)를 구비하며,상기 평면 전극 형성부(310)는, 접지전압(GND)을 인가하기 위한 접지전극 연결부(311); 상기 접지전극 연결부(311)에 연결된 제2 평면 전극 상부 접합부(312);외부 전원에서 공급한 직류(DC) 또는 교류(AC) 전압을 인가하기 위한 외부전원 연결부(313); 및상기 외부전원 연결부(313)와 연결된 제1 평면 전극 상부 접합부(314)를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 펌프
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제 9항에 있어서, 상기 제1 평면 전극 상부 접합부(314) 및 제2 평면 전극 상부 접합부(312) 각각은, 일정 간격을 두고 사각평면 형상을 갖는 복수 개의 제1 평면 전극 들(314a~314e) 및 제2 평면 전극 들(312a~312e)을 구비하는 것을 특징으로 하는 마이크로 펌프
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제 11항에 있어서, 상기 제1 평면 전극 들(314a~314e) 및 상기 제2 평면 전극 들(312a~312e) 각각은, 서로 교차 배치되며, 이들이 배치된 N(양의 정수) 번째 위치에서 제N 전극세트를 형성하는 것을 특징으로 하는 마이크로 펌프
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제 12항에 있어서, 상기 제1 평면 전극 들(314a~314e)은 폭이 10μm~10mm 이고, 길이가 50μm~100mm 이며, 상기 제2 평면 전극 들(312a~312e)은 길이는 상기 제1 평면 전극들과 동일하나 폭은 상기 제1 평면 전극들의 2~5배인 것을 특징으로 하는 마이크로 펌프
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절연 액체의 유동을 제어하는 마이크로 펌프에 있어서, 상기 절연 액체의 이동 통로를 형성하는 실린더 용기(450) 내에 설치된 실린더 형상을 갖는 실린더 채널(440);상기 실린더 채널(440)의 내부에 형성되어 전기장을 인가하기 위한 평면 형상을 갖는 평면 전극 형성부(410);상기 절연 액체가 유입되는 유입부(420); 및 상기 절연 액체가 유출되는 유출부(430)를 구비하며,상기 평면 전극 형성부(410)는, 접지전압(GND)을 인가하기 위한 접지전극 연결부(411); 상기 접지전극 연결부(411)와 연결된 제2 평면 전극(414);외부 전원에서 공급한 직류(DC) 또는 교류(AC) 전압을 인가하기 위한 외부전원 연결부(412); 및 상기 외부전원 연결부(412)와 연결된 제1 평면 전극(413)을 구비하되, 상기 제1 평면 전극(413)과 상기 제2 평면 전극(414)은 상기 실린더 용기의 축 방향으로 원형의 형태로 서로 교차 배치된 것을 특징으로 하는 마이크로 펌프
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제 14항에 있어서, 상기 평면 전극 형성부(520)는, 접지전압(GND)을 인가하기 위한 접지전극 연결부(521); 상기 접지전극 연결부(521)와 연결된 제2 평면 전극(522); 외부 전원에서 공급한 직류(DC) 또는 교류(AC) 전압을 인가하기 위한 외부전원 연결부(523); 및 상기 외부전원 연결부(523)와 연결된 제1 평면 전극(524)을 구비하되, 상기 제1 평면 전극(524)과 상기 제2 평면 전극(522)은 상기 실린더 용기의 축 방향으로 일자 형태로 서로 교차 배치된 것을 특징으로 하는 마이크로 펌프
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제 16항에 있어서, 상기 절연 액체의 회전운동량을 전달하기 위해 상기 실린더 용기 내부에 로터(530)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 펌프
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