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저온 가열탈기체 처리 가능한 소형, 경량 초고진공용스퍼터 이온펌프 및 그제조방법

  • 기술번호 : KST2015170122
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 NdFeB 네오디뮴 합금 영구자석을 적용하여 부피와 무게를 크게 줄인 소형, 경량의 스퍼터 이온펌프의 제작에 관한 것으로, ANSYS 시뮬레이션의 결과에 의하여 양극셀에 균일한 자기장을 형성시키는 다수의 네오디뮴 합금 자석의 조합에 관한 최적 배열을 도출하는 것과, 펌프 내부 벽면 및 부품에 대한 크롬산화막 표면처리를 통해 물 분자의 흡착량을 최소화 하여 이루어지는 것을 특징으로 한다. 따라서 스퍼터 이온펌프 내부로의 물 분자의 흡착량은 최소화 하고 소형, 경량의 네오디뮴 합금 영구자석을 사용하여 배기 성능은 최적화하고 부피와 무게는 감소시킴으로써 100 ℃의 낮은 온도에서의 가열탈기체 처리만으로 초고진공에 도달할 수 있는 소형, 경량의 스퍼터 이온펌프를 제작할 수 있는 효과가 있다.스퍼터, 이온펌프, 티타늄, 크롬산화막, 네오디뮴, 소형화
Int. CL F04D 13/06 (2006.01) F04D 19/04 (2006.01)
CPC F04D 19/048(2013.01) F04D 19/048(2013.01) F04D 19/048(2013.01) F04D 19/048(2013.01) F04D 19/048(2013.01) F04D 19/048(2013.01) F04D 19/048(2013.01) F04D 19/048(2013.01)
출원번호/일자 1020070064907 (2007.06.29)
출원인 포항공과대학교 산학협력단, 주식회사 브이엠티
등록번호/일자 10-0860274-0000 (2008.09.19)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20080925) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.06.29)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 주식회사 브이엠티 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 하태균 대한민국 경북 경주시
2 정석민 대한민국 경북 포항시 남구
3 황운봉 대한민국 경북 포항시 남구
4 김진곤 대한민국 경북 포항시 북구
5 김경동 대한민국 경남 진주시
6 박종도 대한민국 경상북도 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김일환 대한민국 서울특별시 관악구 남부순환로 ****, ***호 제니스국제특허법률사무소 (봉천동, 청동빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 주식회사 브이엠티 대한민국 경상북도 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2007.06.29 수리 (Accepted) 1-1-2007-0475752-67
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2007.07.12 수리 (Accepted) 4-1-2007-5110240-74
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2007.12.28 수리 (Accepted) 4-1-2007-5195152-79
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2008.04.04 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2008.05.15 수리 (Accepted) 9-1-2008-0031285-43
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2008.05.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0288298-89
7 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2008.06.19 수리 (Accepted) 1-1-2008-0439440-28
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2008.07.28 수리 (Accepted) 1-1-2008-0540037-89
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2008.08.27 수리 (Accepted) 1-1-2008-0611108-76
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2008.08.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0611105-39
11 등록결정서
Decision to grant		 2008.09.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0463615-76
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.09.07 수리 (Accepted) 4-1-2011-0011965-01
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.13 수리 (Accepted) 4-1-2013-0025573-58
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5024386-11
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5243581-27
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5245997-53
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5247115-68
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
크롬산화막 표면처리된 몸체와;상기 몸체에 설치되는 한 쌍의 네오디뮴 합금 자석과;상기 한 쌍의 자석 사이에 배치되는 한 쌍의 티타늄 음극판과;상기 한 쌍의 음극판 사이에 배치되는 적어도 하나의 양극셀을 포함하고;상기 한 쌍의 네오디뮴 합금 자석 각각은 복수의 작은 네오디뮴 합금 자석이 배열되어 형성된 것을 특징으로 하는 스퍼터 이온펌프
2 2
제1항에 있어서, 상기 티타늄 음극판 및 양극셀 또한 크롬산화막 처리된 것을 특징으로 하는 스퍼터 이온펌프
3 3
삭제
4 4
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 크롬산화막 표면처리는 450 ℃의 온도에서 산소 분압 1×10-9 Torr로 24시간 유지시켜서 내부 표면에 크롬산화막을 형성시켜서 물분자의 흡착량을 감소시키도록 수행되는 것을 특징으로 하는 스퍼터 이온펌프
5 5
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 한 쌍의 네오디뮴 합금 자석 각각은 그 두께가 5mm인 것을 특징으로 하는 스퍼터 이온펌프
6 6
티타늄 음극판과 양극셀을 펌프 몸체에 조립한 상태로 내부 표면에 크롬산화막을 형성시켜서 물분자의 흡착량을 감소시키는 제1단계와;상기 제1단계 후에 상기 몸체에 각 측이 다수의 네오디뮴 합금 영구자석이 배열되어 이루어진 한 쌍의 네오디뮴 합금 자석을 장착시키는 제2단계를;포함하여 구성되는 스퍼터 이온펌프 제작방법
7 7
제6항에 있어서, 상기 크롬산화막 표면처리는 450 ℃의 온도에서 산소 분압 1×10-9 Torr로 24시간 유지시켜서 이루어지는 것을 특징으로 하는 스퍼터 이온펌프 제작방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.