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수평 정렬된 단결정 무기물 나노 와이어 패턴의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015170133
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 수평 정렬된 단결정 무기물 나노 와이어 패턴의 제조 방법에 관한 것으로서, 상기 제조 방법은 무기물 전구체와 유기 고분자를 증류수 또는 유기 용매 중에 혼합하여 무기물-고분자 액을 제조하는 단계 상기 무기물-고분자 액을 이용하여 기판 위에 정렬된 무기물 전구체 및 유기 고분자 복합체(composite) 나노 와이어 패턴을 제조하는 단계 및 상기 정렬된 무기물 전구체 및 유기 고분자 복합체 나노와이어 패턴을 따라 엑시머 레이저를 조사하는 단계를 포함한다.
Int. CL H01L 21/268 (2006.01) H01L 21/027 (2006.01)
CPC H01L 21/268(2013.01) H01L 21/268(2013.01) H01L 21/268(2013.01) H01L 21/268(2013.01) H01L 21/268(2013.01) H01L 21/268(2013.01) H01L 21/268(2013.01) H01L 21/268(2013.01) H01L 21/268(2013.01) H01L 21/268(2013.01) H01L 21/268(2013.01)
출원번호/일자 1020120105843 (2012.09.24)
출원인 포항공과대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1358067-0000 (2014.01.22)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20140205) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.09.24)
심사청구항수 13

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이태우 대한민국 경북 포항시 남구
2 민성용 대한민국 광주 동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 경상북도 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.09.24 수리 (Accepted) 1-1-2012-0773542-50
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.04.02 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.05.06 수리 (Accepted) 9-1-2013-0031479-66
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.13 수리 (Accepted) 4-1-2013-0025573-58
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.10.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0708602-70
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.12.11 수리 (Accepted) 1-1-2013-1134272-20
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.12.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-1134273-76
8 등록결정서
Decision to grant		 2014.01.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0036410-16
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5024386-11
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5243581-27
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5245997-53
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5247115-68
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
무기물 전구체와 유기 고분자를 증류수 또는 유기 용매 중에 혼합하여 무기물-고분자 액을 준비하는 단계; 상기 무기물-고분자 액을 이용하여 기판 위에 정렬된 무기물 전구체 및 유기 고분자 복합체(composite) 나노 와이어 패턴을 제조하는 단계; 및 상기 정렬된 무기물 전구체 및 유기 고분자 복합체 나노와이어 패턴을 따라 엑시머 레이저를 조사하는 단계를 포함하는 수평 정렬된 단결정 무기물 나노 와이어 패턴의 제조 방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 무기물 전구체는 아연 수산화물(Zinc Hydroxide(Zn(OH)2)), 아연 아세테이트(Zinc acetate(Zn(CH3COO)2)), 아연 아세테이트 수화물(Zinc acetate hydrate(Zn(CH3(COO)2·nH2O)), 디에틸 아연(Diethyl zinc(Zn(CH3CH2)2)), 질산 아연(Zinc nitrate(Zn(NO3)2), 질산 아연 수화물(Znic nitrate hydrate(Zn(NO3)2·nH2O)), 탄산 아연(Zinc carbonate(Zn(CO3)) 및 이들의 혼합물로 이루어진 군으로부터 선택되는 무기 반도체 전구체, 또는 디하이드로젠 헥사클로로플라티네이트(IV) 헥사하이드레이트, 구리 아세테이트, 알루미늄 나이트레이트 및 이들의 혼합물로 이루어진 군으로부터 선택되는 금속 전구체 또는 이들의 혼합물인 수평 정렬된 단결정 무기물 나노 와이어 패턴의 제조 방법
3 3
제1항에 있어서,상기 유기 고분자는 폴리비닐 알코올(PVA), 폴리에틸렌 옥사이드(PEO), 폴리스티렌(PS), 폴리카프로락톤(PCL), 폴리아크릴로니트릴(PAN), 폴리(메틸 메타크릴레이트)(PMMA), 폴리이미드, 폴리(비닐리덴 플루오라이드)(PVDF), 폴리아닐린(PANI), 폴리비닐클로라이드(PVC), 나일론, 폴리(아크릴산), 폴리(클로로 스티렌), 폴리(디메틸 실록산), 폴리(에테르 이미드), 폴리(에테르 술폰), 폴리(알킬 아크릴레이트), 폴리(에틸 아크릴레이트), 폴리(에틸 비닐 아세테이트), 폴리(에틸-co-비닐 아세테이트), 폴리(에틸렌 테레프탈레이트), 폴리(락트산-co-글리콜산), 폴리(메타크릴산)염, 폴리(메틸 스티렌), 폴리(스티렌 술폰산)염, 폴리(스티렌 술포닐 플루오라이드), 폴리(스티렌-co-아크릴로니트릴), 폴리(스티렌-co-부타디엔), 폴리(스티렌-co-디비닐 벤젠), 폴리(비닐 아세테이트), 폴리락타이드, 폴리(비닐 알콜), 폴리아크릴아미드, 폴리벤즈이미다졸, 폴리카보네이트, 폴리(디메틸실록산-co-폴리에틸렌옥사이드), 폴리(에테르에테르케톤), 폴리에틸렌, 폴리에틸렌이민, 폴리이소프렌, 폴리락타이드, 폴리프로필렌, 폴리술폰, 폴리우레탄, 폴리(비닐피롤리돈), 및 이들의 혼합물로 이루어진 군으로부터 선택되는 고분자인 수평 정렬된 단결정 무기물 나노 와이어 패턴의 제조 방법
4 4
제1항에 있어서,상기 유기 용매는 디클로로에틸렌, 트리클로로에틸렌, 클로로포름, 클로로벤젠, 디클로로벤젠, 스티렌, 디메틸포름아마이드, 디메틸설폭사이드, 자일렌, 톨루엔, 사이클로헥센, 이소프로필알콜, 에탄올, 메탄올, 아세톤 및 이들의 혼합물로 이루어진 군으로부터 선택되는 것인 수평 정렬된 단결정 무기물 나노 와이어 패턴의 제조 방법
5 5
제1항에 있어서,상기 기판은 유리판, 플라스틱 필름, 종이로 이루어진 군으로부터 선택되는 절연체 재료 또는 실리콘, 실리콘(Si) 및 실리콘디옥사이드(SiO2), 알루미늄(Al) 및 산화알루미늄(Al2O3)으로 이루어진 군으로부터 선택되는 전도체 및 절연체 복합 재료를 포함하는 것인 수평 정렬된 단결정 무기물 나노 와이어 패턴의 제조 방법
6 6
제1항에 있어서,상기 정렬된 무기물 전구체 및 유기 고분자 복합체 나노와이어 패턴은 전기장 보조 로보틱 노즐 프린터(Electric field aided robotic nozzle printer)를 사용하여, 정렬된 무기물 전구체 및 유기 고분자 복합체 나노와이어 패턴을 상기 기판 상에 원하는 위치 및 방향으로 정렬함으로써 형성되는 것인 수평 정렬된 단결정 무기물 나노 와이어 패턴의 제조 방법
7 7
제1항에 있어서,상기 엑시머 레이저를 조사하는 단계는 레이저 입사 시스템을 사용하여 실시하는 것인 수평 정렬된 단결정 무기물 나노 와이어 패턴의 제조 방법
8 8
제7항에 있어서,상기 레이저 입사 시스템은 엑시머 레이저(excimer laser);기판을 이동시키는 정밀 이동 xy-스테이지(precision translation xy-stage);레이저의 에너지를 조절하는 에너지 감쇠기(energy attenuator);레이저 경로를 조절하는 레이저 미러(laser mirror); 및레이저 빔(beam)을 기판에 집중시키는 실린더형 렌즈(cylindrical lens)를 포함하는 것인 수평 정렬된 단결정 무기물 나노 와이어 패턴의 제조 방법
9 9
제1항에 있어서,상기 레이저 조사 공정은 1Hz 내지 1000Hz의 펄스 진동수를 갖고, 100 mJ/cm2 내지 1000 mJ/cm2의 에너지를 갖는 레이저를 1 fs 내지 500 ns의 펄스 주기로 조사하는 것인 수평 정렬된 단결정 무기물 나노 와이어 패턴의 제조 방법
10 10
제8항에 있어서,상기 정밀 이동 xy-스테이지는 최소 이동 거리가 100nm 내지 20cm 이며, 최소 이송 속도가 1㎛/s 내지 10cm/s인 수평 정렬된 단결정 무기물 나노 와이어 패턴의 제조 방법
11 11
제1항 내지 제10항 중 어느 한 항의 방법으로 제조된 수평 정렬된 단결정 무기물 나노와이어를 이용하여 제조된 트랜지스터
12 12
제1항 내지 제10항 중 어느 한 항의 방법으로 제조된 수평 정렬된 단결정 무기물 나노와이어를 이용하여 제조된 자가 발전 압전 소자
13 13
제1항 내지 제10항 중 어느 한 항의 방법으로 제조된 수평 정렬된 단결정 무기물 나노와이어를 이용하여 제조된 전기 구동 바이오 센서
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2 교육과학기술부 포항공과대학교산학협력단 일반_기본_개인 유기 반도체 나노 와이어 전자 소자 연구 개발
3 교육과학기술부 포항공과대학교 산학협력단 기후변화대응기초원천기술 용액공정을 통한 고효율탠덤유기태양전지구현을위한원천기술연구