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전기적 소자 부품의 검사 장치인 프로브 스테이션에 있어서, 밀폐된 구조를 가지는 박스형 케이스;상기 케이스 내부에 장착되며 소자 부품이 올려지고 고정되는 척;상기 척을 전후방향과 좌우방향으로 독립적으로 이동시키는 척 구동 스테이지;샘플의 프로빙을 위한 프로브;상기 프로브와 연결된 홀더;상기 홀더를 외부에서 상하방향과 좌우방향으로 조절하여 이동시키는 프로브 구동 스테이지;소자 부품과 프로브의 접촉을 관찰하기 위해 상기 케이스의 상면에 설치되는 광학 현미경;상기 광학 현미경을 상하방향과 좌우방향으로 위치조절하기 위한 현미경 조절 스테이지;상기 케이스의 내부 구조를 관찰할 수 있도록 상기 케이스 상면과 전면에 설치되는 개폐가 가능한 투명창;상기 케이스 내부에 기체를 유입 및 유출시키기 위한 연결관; 및 상기 프로브를 통해 전달되는 전기적 신호를 분석 장치에 전달하는 프로브 연결선; 을 구비하고,상기 척 구동 스테이지는 상기 척을 x축 방향으로 이동시키기 위한 x축 스테이지와, 상기 x축 스테이지를 이동시키기 위한 x축 이동 장치와 x축 이동 레일과, 상기 척을 y축 방향으로 이동시키기 위한 y축 스테이지와, 상기 y축 스테이지를 이동시키기 위한 y축 이동 장치와 y축 이동 레일로 구성되는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션
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제1항에 있어서, 상기 척의 내부에 온도 조절이 가능한 가열판과, 온도를 감지하는 온도계(thermocouple)와, 소자를 안정하게 장착하기 위한 진공 라인이 구비되는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션
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제1항에 있어서,상기 척과 상기 척 구동 스테이지 사이에는 단열을 위한 절연물질이 더 설치되는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션
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제1항에 있어서, 상기 프로브 구동 스테이지는 상기 홀더와 연결되어 홀더를 좌우방향으로 이동가능케하는 제1 스테이지와, 상기 홀더를 상하방향으로 이동가능케하는 제2 스테이지와, 상기 제2 스테이지를 지지하는 지지판으로 구성되어 외부에서 내부의 고정된 프로브를 움직이는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션
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제5항에 있어서, 상기 홀더가 밀폐된 공간에서 용이하게 움직이도록 상기 케이스의 내부 벽면에 설치되는 홀더 고정부재가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션
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제6항에 있어서, 상기 홀더 고정부재는 연질의 플라스틱재인 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션
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제7항에 있어서, 상기 홀더 고정부재는 고무나 실리콘인 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션
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제1항에 있어서, 상기 연결관을 통해 상기 케이스 내부를 진공상태로 만들거나 질소, 아르곤, 비활성 기체를 주입하여 질소, 아르곤 분위기로 만드는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션
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제2항에 있어서, 상기 척의 내부에 설치된 가열판과 온도계 및 진공라인이 연결되는 연결부가 더 설치되는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션
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제1항에 있어서, 상기 현미경 조절 스테이지는 현미경을 전후방향으로 이동시키기 위한 이동 장치와, 현미경의 위치를 상하방향으로 조절하는 조절장치로 구성되는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션
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제1항에 있어서, 상기 프로브와 상기 홀더 사이에는 절연물질이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션
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제12항에 있어서, 상기 절연물질은 아세탈, 아크릴 등의 플라스틱 계열로 이루어지는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션
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제1항에 있어서, 상기 홀더는 알루미늄, 스테인리스 스틸 등의 금속재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션
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제1항에 있어서, 상기 케이스는 알루미늄, 스테인리스 스틸 등의 금속재로 이루어지거나 아크릴 등의 플라스틱 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션
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제1항에 있어서, 상기 프로브와 프로브 구동 스테이지는 측면에 각각 독립적으로 하나 이상 장착되는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션
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제1항에 있어서, 상기 케이스의 상면과 전면에 설치된 투명창은 수정, 유리, 플라스틱 중 어느 하나를 이용하는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션
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제1항에 있어서, 상기 척은 황동, 스테인리스 스틸, 금, 니켈 중 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션
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