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소정 반경(a)과 두께(h)를 갖는 판 형상의 멤브레인; 기둥형상으로 소정 길이(H)를 갖으며 연장되되, 그 일면은 멤브레인의 중앙부에 부착되며 타면은 측정물질이 부착되는 감지기둥; 및 상기 멤브레인의 소정 위치에 증착되는 압전체; 를 포함하는 감지기둥을 갖는 미세질량 측정 센서
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제 1 항에 있어서, 상기 감지기둥은, 상기 멤브레인의 상면중앙부 또는 하면중앙부에 부착되는 것을 특징으로 하는 감지기둥을 갖는 미세질량 측정 센서
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제 1 항에 있어서, 상기 압전체는, 응력이 가장 큰 위치에 증착되는 것을 특징으로 하는 감지기둥을 갖는 미세질량 측정 센서
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제 1 항에 있어서, 상기 미세질량 측정 센서의 민감도(S)는, 상기 멤브레인의 반경(a)에 반비례하는 것을 특징으로 하는 감지기둥을 갖는 미세질량 측정 센서
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제 1 항에 있어서, 상기 미세질량 측정 센서의 민감도(S)는, 상기 감지기둥의 길이(H)에 반비례하는 것을 특징으로 하는 감지기둥을 갖는 미세질량 측정 센서
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제 1 항에 있어서, 상기 멤브레인은, 원형 판 또는 다각형 판 형상인 것을 특징으로 하는 감지기둥을 갖는 미세질량 측정 센서
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제 1 항에 있어서, 상기 감지기둥은, 원기둥 또는 다각기둥 형상인 것을 특징으로 하는 감지기둥을 갖는 미세질량 측정 센서
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제 1 항에 있어서, 상기 멤브레인 및 감지기둥은, 플라스틱, 유리, 실리콘, 폴리실리콘, 실리콘 질화물(Silicon Nitride), Oxide, Sapphire 중 어느 하나의 재질로서 단층구조로 형성되거나, 둘 이상의 재질로서 복층구조로 형성되는 것을 특징으로 하는 감지기둥을 갖는 미세질량 측정 센서
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제 1 항에 있어서, 상기 감지기둥을 갖는 미세질량 측정 센서는, 멤브레인의 상면 및 압전체 증착면을 보호하는 보호막층; 을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 감지기둥을 갖는 미세질량 측정 센서
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제 1 항에 있어서, 상기 감지기둥을 갖는 미세질량 측정 센서는, 멤브레인의 상면에 안착되는 덮개부; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 감지기둥을 갖는 미세질량 측정 센서
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제 1 항에 있어서, 상기 감지기둥을 갖는 미세질량 측정 센서는, 감지기둥이 있는 면에 친수막층; 이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 감지기둥을 갖는 미세질량 측정 센서
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제 1 항에 있어서, 상기 감지기둥은, 측정물질과의 접합면에 금이 증착되어 있는 것을 특징으로 하는 감지기둥을 갖는 미세질량 측정 센서
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