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다음의 단계를 포함하는 바이오칩용 기판 패턴의 제조방법:(a) 바이오칩용 기판에 접착력 증진층(adhesion promotion layer)을 증착한 다음, 소수성 물질을 증착하는 단계;(b) 상기 증착된 소수성 물질층에 포토레지스트(photoresist)를 도포하고, UV를 이용하여 노광한 다음, 현상하여 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계; (c) 상기 형성된 패턴을 마스크로 하여 소수성 물질층을 식각한 다음, 접착력 증진층을 식각하는 단계;(d) 상기 식각에 의해 노출된 패턴에 접착력 증진층을 증착한 다음, 금속 또는 비금속을 증착하는 단계; 및 (e) 리프트-오프(lift-off) 공정으로 포토레지스트를 제거하여 금속 또는 비금속 박막의 패턴을 형성하는 단계
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제1항에 있어서, 상기 바이오칩용 기판은 유리, 실리콘 및 세라믹으로 구성된 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 방법
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제1항에 있어서, 상기 바이오칩용 기판의 접착력 증진층은 니켈(Ni), 티타늄(Ti) 및 크롬(Cr)으로 구성된 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 방법
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제1항에 있어서, 상기 소수성 물질은 실리콘 질화막(Si3N4) 또는 알루미늄 산화막(Al2O3)인 것을 특징으로 하는 방법
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제1항에 있어서, 상기 소수성 물질은 BHF 용액으로 식각하는 것을 특징으로 하는 방법
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제1항에 있어서, 상기 접착력 증진층은 해당 층의 에천트에 의하여 식각하는 것을 특징으로 하는 방법
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제1항에 있어서, 상기 금속은 금 또는 은인 것을 특징으로 하는 방법
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제1항에 있어서, 상기 비금속은 유리, 실리콘 및 세라믹으로 구성된 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 방법
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제1항, 제2항, 제3항, 제4항, 제6항, 제7항, 제9항 및 제10항 중 어느 한 항의 방법으로 제조된 바이오칩용 기판 패턴에 생체물질이 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 바이오칩
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제11항에 있어서, 상기 생체 물질은 효소, 단백질, DNA, RNA, 미생물, 동식물 세포 및 기관 및 신경세포로 이루어진 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 바이오칩
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제11항에 있어서, 상기 생체물질의 고정은 생체물질이 담겨진 용액에 상기 바이오칩용 기판 패턴을 담그거나, 상기 바이오칩용 기판 패턴에 생체물질을 고정화시킨 다음, 이를 건조하여 고정한 것을 특징으로 하는 바이오칩
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다음의 단계를 포함하는 바이오칩을 이용한 생체물질과 결합하는 표적물질의 검출방법:(a) 제11항 내지 제13항 중 어느 한 항의 바이오칩에 표적물질을 함유하는 시료를 적용하는 단계; 및(b) 상기 바이오칩 상의 생체물질과 특이적으로 결합하는 표적물질을 검출하는 단계
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제14항에 있어서, 상기 표적물질의 검출은 SPRI(Surface Plasmon Resonance Image) 또는 형광스캐너로 수행하는 것을 특징으로 하는 방법
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