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웨이퍼의 연마율을 제어하는 방법 및 이 방법을 수행하는화학기계적 연마장치

  • 기술번호 : KST2015171572
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 웨이퍼의 연마율을 제어하는 방법 및 이 방법을 수행하는 화학기계적 연마장치에 관한 것으로서, 그 방법은 연마부(403)에서 발생되는 적외선을 측정할 수 있는 센서(401)와 그리고 적외선빔을 발생시켜 상기 연마부(403)에 상기 적외선빔을 조사하여 국부적으로 상기 연마부(403)의 온도를 상승시킬 수 있는 온도 제어수단으로서 적외선 발생장치(703) 및 반사 조절장치(704)를 포함하고 있는 온도 제어수단(402)에 의해, 연마 중에 연마되는 연마부(403)의 온도를 측정함과 동시에 연마부(403)의 온도를 제어하여서 웨이퍼(404)의 연마율을 제어하는 것으로 되어 있고; 그리고 그 화학기계적 연마장치는 적외선이 투과될 수 있는 투과창(707)의 상부에 웨이퍼(710)의 온도를 국부적 혹은 전면적으로 측정할 수 있는 적외선 센서인 카메라(701)가 구비되어 있고, 상기 연마헤드(303)의 상부에 제어수단에 의해 적절한 온도를 발생시키는 적외선 발생장치(703)와 상기 제어수단에 의해 적외선을 웨이퍼 면에 국부적으로 주사할 수 있는 반사 조절장치(704)가 구비되어 있는 것으로 되어 있다.카메라, 적외선, 반사 조절장치, 투과창, 온도
Int. CL H01L 21/304 (2006.01)
CPC B24B 37/015(2013.01) B24B 37/015(2013.01) B24B 37/015(2013.01)
출원번호/일자 1020010061952 (2001.10.08)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0448250-0000 (2004.09.01)
공개번호/일자 10-2003-0030154 (2003.04.18) 문서열기
공고번호/일자 (20040910) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2001.10.08)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정해도 대한민국 부산 금정구
2 김형재 대한민국 부산광역시 금정구
3 김호윤 대한민국 부산광역시 남구
4 박재홍 대한민국 부산광역시 동래구
5 홍기식 대한민국 부산광역시 연제구
6 서헌덕 대한민국 부산광역시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 구성진 대한민국 부산광역시 연제구 법원남로**번길 **, *층 (거제동, 대한타워)(특허법인부경)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 부산광역시 금정구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2001.10.08 수리 (Accepted) 1-1-2001-0257615-45
2 서지사항 보정서
Amendment to Bibliographic items		 2001.10.12 수리 (Accepted) 1-1-2001-0261632-61
3 출원인변경신고서
Applicant change Notification		 2001.10.22 수리 (Accepted) 1-1-2001-5290628-96
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2003.06.16 수리 (Accepted) 4-1-2003-0034498-97
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2003.08.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2003.09.15 수리 (Accepted) 9-1-2003-0039600-36
7 등록결정서
Decision to grant		 2003.11.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0471062-87
8 출원인 변경 신고서
Applicant change Notification		 2004.12.06 수리 (Accepted) 1-1-2004-0573360-35
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.12.08 수리 (Accepted) 4-1-2004-5102415-10
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2007.03.30 수리 (Accepted) 4-1-2007-5049227-69
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000027-56
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.01.13 수리 (Accepted) 4-1-2016-5004891-78
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004005-98
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004797-18
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

연마 테이블(301)위에 연마패드(302)가 부착되고; 웨이퍼(404)를 부착한 연마헤드(303)에 소정의 압력을 가한 상태에서, 화학적 반응성을 가지는 연마액(304)을 연마액 탱크(307)로부터 펌프(306)를 통하여 연마액 공급라인(305)을 거쳐 연마패드(302) 위로 공급하며; 연마헤드(303) 및 연마테이블(301)을 같은 방향으로 소정의 속도로 회전시키면서 서로 상대운동시켜서 웨이퍼를 연마하는 화학기계적 연마장치에서 웨이퍼의 연마율을 제어하는 방법에 있어서,

연마부(403)에서 발생되는 적외선을 측정할 수 있는 센서(401)와 그리고 적외선빔을 발생시켜 상기 연마부(403)에 상기 적외선빔을 조사하여 국부적으로 상기 연마부(403)의 온도를 상승시킬 수 있는 온도 제어수단으로서 적외선 발생장치(703) 및 반사 조절장치(704)를 포함하고 있는 온도 제어수단(402)에 의해, 연마 중에 연마되는 연마부(403)의 온도를 측정함과 동시에 연마부(403)의 온도를 제어하여서 웨이퍼(404)의 연마율을 제어하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 연마율을 제어하는 방법

2 2

연마 테이블(301)위에 연마패드(302)가 부착되고; 웨이퍼(404)를 부착한 연마헤드(303)에 소정의 압력을 가한 상태에서, 화학적 반응성을 가지는 연마액(304)을 연마액 탱크(307)로부터 펌프(306)를 통하여 연마액 공급라인(305)을 거쳐 연마패드(302 또는 711) 위로 공급하며; 연마헤드(303) 및 연마테이블(301)을 같은 방향으로 소정의 속도로 회전시키면서 서로 상대운동시켜서 웨이퍼를 연마하는 화학기계적 연마장치에 있어서,

상기 연마헤드(303)는 웨이퍼(710)가 부착될 수 있도록 도넛형상으로 된 리테이너링(709); 상기 리테이너링(709)의 내부에 형성되어 진공라인(706)과 연통되는 진공관(714); 상기 리테이너링(709)을 지지하는 벨로우즈(712); 상기 벨로우즈(712) 위에 구비되어 적외선을 투광시킬 수 있는 투광창(707); 상기 투광창(707)의 중앙에 형성되어 진공 및 공압을 각각 공급하는 진공라인(706)과 공압라인(705); 상기 웨이퍼(710), 상기 리테이너링(709), 상기 벨로우즈(712) 및 상기 투광창(707)에 의해 밀폐적으로 구획 형성된 챔버(708); 그리고 상기 연마헤드(303)의 회전을 자유롭게 하는 베어링(713)을 포함하고 있으며;

여기에서, 상기 투과창(707)의 상부에는, 웨이퍼(710)의 온도를 국부적 혹은 전면적으로 측정할 수 있는 적외선 센서인 카메라(701)가 구비되어 있고,

상기 연마헤드(303)의 상부에는 제어수단에 의해 적절한 온도를 발생시키는 적외선 발생장치(703)와 상기 제어수단에 의해 적외선을 웨이퍼 면에 국부적으로 주사할 수 있는 반사 조절장치(704)가 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 화학기계적 연마장치

3 3

제 2항에 있어서, 적외선을 투광시킬 수 있는 상기 투광창(707)의 재질은 석영, 실리콘, 및 사파이어 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 화학기계적 연마장치

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.