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Ｔｉ-Ｓｉ-Ｎ계 경질코팅막의 증착방법

  • 기술번호 : KST2015171574
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 Ti-Si-N계 경질코팅막의 증착방법에 관한 것으로서, 본 발명의 증착방법은, 금형, 공구 등이 설치된 챔버내에 진공을 가하고 가열하는 제1 단계와, 상기 챔버내에 Ar가스를 유입하고 바이어스를 인가하여 상기 금형, 공구 등을 세정하는 제2 단계와, 상기 챔버내로의 Ar가스 유입을 차단하고 상기 챔버내를 재차 진공을 가하고 가열하는 제3 단계와, 상기 챔버내에 Ar가스 및 N2가스를 유입하고 바이어스를 인가하는 제4 단계 및, 상기 AIP법을 사용하는 Ti 타겟과 상기 스터퍼법을 사용하는 Si 타겟에 전원을 각각 인가하여 상기 금형, 공구 등의 표면에 Ti-Si-N계 경질코팅막을 증착하는 제5 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명의 증착방법은 AIP법과 스퍼터법의 하이브리드 공정을 통해 복잡한 형상을 갖는 금형, 고속도공구나 초경합금공구 등에 균일한 표면 도포성을 갖는 초고경도의 Ti-Si-N계 경질코팅막을 증착할 수 있다.
Int. CL C23C 14/22 (2006.01)
CPC C23C 14/165(2013.01) C23C 14/165(2013.01) C23C 14/165(2013.01) C23C 14/165(2013.01)
출원번호/일자 1020020013274 (2002.03.12)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0461980-0000 (2004.12.06)
공개번호/일자 10-2003-0073623 (2003.09.19) 문서열기
공고번호/일자 (20041214) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2002.03.12)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김광호 대한민국 부산 금정구
2 최성룡 대한민국 부산광역시북구
3 윤순영 대한민국 부산광역시북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 전영일 대한민국 광주 북구 첨단과기로***번길**, ***호(오룡동)(특허법인세아 (광주분사무소))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산 금정구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2002.03.12 수리 (Accepted) 1-1-2002-0071779-41
2 전자문서첨부서류제출서
Submission of Attachment to Electronic Document		 2002.03.15 수리 (Accepted) 1-1-2002-5066506-15
3 대리인 사임 신고서
Notification of resignation of agent		 2003.02.26 수리 (Accepted) 1-1-2003-0067617-59
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2003.09.17 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2003.10.17 수리 (Accepted) 9-1-2003-0050503-19
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2004.03.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0104309-96
7 의견서
Written Opinion		 2004.04.14 수리 (Accepted) 1-1-2004-0154457-04
8 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2004.04.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2004-0154456-58
9 등록결정서
Decision to grant		 2004.09.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0397178-94
10 출원인 변경 신고서
Applicant change Notification		 2004.10.22 수리 (Accepted) 1-1-2004-0483030-40
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.10.22 수리 (Accepted) 4-1-2004-5086955-87
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2007.03.30 수리 (Accepted) 4-1-2007-5049227-69
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000027-56
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.01.13 수리 (Accepted) 4-1-2016-5004891-78
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004005-98
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004797-18
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번호 청구항
1 1

아크 이온 플래팅(arc ion plating)법과 스퍼터(sputter)법을 통해 제품의 표면에 Ti-Si-N계 경질코팅막을 증착하는 방법으로서,

상기 제품이 놓인 챔버내에 진공을 가하고 가열하는 제1 단계와,

상기 챔버내에 Ar가스를 유입하고 바이어스를 인가하여 상기 제품을 세정하는 제2 단계와,

상기 챔버내로의 Ar가스 유입을 차단하고 상기 챔버내를 재차 진공을 가하고 가열하는 제3 단계와,

상기 챔버내에 Ar가스 및 N2가스를 유입하고 바이어스를 인가하는 제4 단계, 및

상기 아크 이온 플래팅법을 사용하는 Ti 타겟(target)과 상기 스터퍼법을 사용하는 Si 타겟에 전원을 각각 인가하여 상기 제품의 표면에 Ti-Si-N계 경질코팅막을 증착하는 제5 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 Ti-Si-N계 경질코팅막의 증착방법

2 2

제1항에 있어서, 상기 제1 단계 내지 상기 제5 단계는 상기 제품이 상기 챔버내에서 공전 및 자전되는 상태에서 행해지는 것을 특징으로 하는 Ti-Si-N계 경질코팅막의 증착방법

3 3

제1항에 있어서, 상기 제1 단계 내지 상기 제5 단계는 상기 제품이 상기 챔버내에서 공전 또는 자전되는 상태에서 행해지는 것을 특징으로 하는 Ti-Si-N계 경질코팅막의 증착방법

4 4

제1항에 있어서, 상기 제5 단계는 상기 챔버내에 놓인 상기 제품의 다방향에서 상기 Ti 타겟 및 상기 Si 타겟에 전원을 인가하여 3차원 입체코팅을 행하는 것을 특징으로 하는 Ti-Si-N계 경질코팅막의 증착방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.