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씨알-에스아이-엔계 경질코팅막의 증착방법

  • 기술번호 : KST2015171606
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 Cr-Si-N계 경질코팅막의 증착방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 아크이온플레팅(Arc ion plating)법과 스퍼터(sputter)법을 이용하여 대상물의 표면에 Cr-Si-N계 경질코팅막을 증착하는 방법으로써; 증착 대상물을 소정의 챔버 내에 위치시키고, 상기 챔버의 내부를 소정의 진공상태로 한 후, 소정 온도까지 가열하는 과정과; 상기 챔버 내부에 Ar가스를 유입시킨 후, 증착 대상물에 소정의 바이어스 전압을 인가하여 시편의 전처리를 수행하는 과정; 상기 챔버 내로의 Ar가스의 유입을 차단하고, 상기 챔버내부를 다시 진공상태로 한 후, 소정 온도까지 가열하는 과정과; 상기 챔버 내부로 Ar가스와 N2가스를 유입시키고, 상기 시편에 바이어스 전압을 인가한 상태에서, 스퍼터건과 아크건에 각각 전원을 인가하여 대상물의 표면에 Cr-Si-N계 경질 코팅막을 증착하는 단계를 포함하고 있다. 경질코팅막, Cr-Si-N, 스퍼터법, 아크이온플레이팅법
Int. CL C23C 14/22 (2006.01) C23C 14/34 (2006.01)
CPC C23C 14/22(2013.01) C23C 14/22(2013.01) C23C 14/22(2013.01) C23C 14/22(2013.01) C23C 14/22(2013.01)
출원번호/일자 1020040069254 (2004.08.31)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2006-0020415 (2006.03.06) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2004.08.31)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김광호 대한민국 부산 금정구
2 전준하 대한민국 부산광역시 금정구
3 이동근 대한민국 부산광역시 금정구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 구성진 대한민국 부산광역시 연제구 법원남로**번길 **, *층 (거제동, 대한타워)(특허법인부경)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2004.08.31 수리 (Accepted) 1-1-2004-0394721-15
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2004.10.22 수리 (Accepted) 4-1-2004-5086955-87
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2004.12.16 수리 (Accepted) 4-1-2004-5105733-49
4 출원인 변경 신고서
Applicant change Notification
2004.12.16 수리 (Accepted) 1-1-2004-0594015-35
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2004.12.16 수리 (Accepted) 4-1-2004-5105732-04
6 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2005.12.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
7 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2006.01.19 수리 (Accepted) 9-1-2006-0005247-95
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.01.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0044016-07
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2006.03.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0187724-78
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2007.03.30 수리 (Accepted) 4-1-2007-5049227-69
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000027-56
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.01.13 수리 (Accepted) 4-1-2016-5004891-78
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004005-98
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004797-18
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번호 청구항
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아크이온플레팅(Arc ion plating)법과 스퍼터(sputter)법을 이용하여 대상물의 표면에 Cr-Si-N계 경질코팅막을 증착하는 방법으로써; 증착 대상물을 소정의 챔버 내에 위치시키고, 상기 챔버의 내부를 소정의 진공상태로 한 후, 소정 온도까지 가열하는 과정과; 상기 챔버 내부에 Ar가스를 유입시킨 후, 증착 대상물에 소정의 바이어스 전압을 인가하여 시편의 전처리를 수행하는 과정; 상기 챔버 내로의 Ar가스의 유입을 차단하고, 상기 챔버내부를 다시 진공상태로 한 후, 소정 온도까지 가열하는 과정과; 상기 챔버 내부로 Ar가스와 N2가스를 유입시키고, 상기 시편에 바이어스 전압을 인가한 상태에서, 스퍼터건과 아크건에 각각 전원을 인가하여 대상물의 표면에 Cr-Si-N계 경질 코팅막을 증착하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 경질코팅막의 증착방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 대상물은 챔버 내부에서 자전하는 홀더에 의하여 지지되어, 자전하면서 경질코팅막이 증착되는 것을 특징으로 하는 경질코팅막의 증착방법
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제1항에 있어서, 상기 스퍼터건과 아크건은 여러방향에서 복수개 설치되어, 전원이 다방향에서 인가되는 것을 특징으로 하는 경질코팅막의 증착방법
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제1항에 있어서, 상기 대상물은 챔버 내부에서 자전 및 공전을 동시에 수행하는 홀더에 의하여 지지되어, 자전 및 공전을 병행하면서 경질코팅막이 증착되는 것을 특징으로 하는 경질코팅막의 증착방법
5 4
제1항에 있어서, 상기 대상물은 챔버 내부에서 자전 및 공전을 동시에 수행하는 홀더에 의하여 지지되어, 자전 및 공전을 병행하면서 경질코팅막이 증착되는 것을 특징으로 하는 경질코팅막의 증착방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.