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무색의 투명한 폴리이미드에 3-아미노프로필트리에톡시실란(APTES)를 첨가하여 교반하고, 증류수와 테트라에톡시실란(TEOS)을 첨가하여 실리카-폴리아믹산을 생성한 후에 열경화하여 이미드화시킨 것을 특징으로 하는 실리카-폴리이미드 하이브리드
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제 1 항에 있어서, 상기 무색의 투명한 폴리이미드는 디아민을 DMAc에 용해하여 질소 기류하에 교반하고, 상기 교반된 디아민에 디안하이드라이드를 첨가하고 교반한 것을 특징으로 하는 실리카-폴리이미드 하이브리드
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제 1 항의 실리카-폴리이미드 하이브리드에 알루미늄 첨가 아연 산화물(AZO)을 스퍼터링하여 제작한 실리카-폴리이미드 하이브리드 기판
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디아민을 DMAc에 용해하여 질소 기류하에 교반하고, 상기 교반된 디아민에 디안하이드라이드를 첨가하고 교반하여 무색의 투명한 폴리이미드 용액을 생성하는 단계;상기 폴리이미드 용액에 3-아미노프로필트리에톡시실란(APTES)를 첨가하고 질소 기류하에서 교반하는 단계;이 교반된 용액에 증류수와 테트라에톡시실란(TEOS)을 첨가하고 교반하여 실리카-폴리아믹산을 생성하는 단계; 및상기 실리카-폴리아믹산을 열경화하여 이미드화하는 단계를 포함하는 실리카-폴리이미드 하이브리드 제조방법
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제 4 항에 있어서, 상기 폴리이미드를 형성하는 디안하이드라이드는 6FDA 또는 BHDA 중의 어느 하나이고, 디아민은 TFDB, 1,4(4)-APB, 1,3(4)-APB, 4,4-BAPS(4APPS), 3ADF, DDSO2, 4BDAF 및 3,3'-ODA으로부터 선택된 어느 하나인 실리카-폴리이미드 하이브리드 제조방법
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제 2 항에 있어서, 상기 폴리이미드를 형성하는 디안하이드라이드는 6FDA 또는 BHDA 중의 어느 하나이고, 디아민은 TFDB, 1,4(4)-APB, 1,3(4)-APB, 4,4-BAPS(4APPS), 3ADF, DDSO2, 4BDAF 및 3,3'-ODA으로부터 선택된 어느 하나인 실리카-폴리이미드 하이브리드
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