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스퍼터링을 이용한 나노 유체의 제조 방법 및 제조장치

  • 기술번호 : KST2015171628
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 나노유체 제조 장치 및 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공 챔버내의 마그네트론 스퍼터링 장치를 이용하여 나노사이즈의 입자를 발생시킴과 동시에 유체 속에 나노 입자를 분산시켜 나노유체를 단일 공정으로 제작하는 장치 및 제작 방법에 관한 것이다. 본 발명의 제조 방법 및 제조 장치에 의해서 제조된 나노유체는 단일공정으로 제조되기 때문에, 기존에 이미 제작되어진 나노입자를 유체 내에 분산시키는 이중 공정으로 제조되어진 나노 유체 보다 분산 특성이 우수하여 나노 유체의 열전달률 향상, 윤활성 촉진 등 광범위한 용도로 우수하다는 장점이 있다. 나노유체, 마그네트론 스퍼터링, 원주형 마그네트론 소스
Int. CL B82Y 40/00 (2011.01) B82B 3/00 (2011.01)
CPC B82B 3/0095(2013.01) B82B 3/0095(2013.01) B82B 3/0095(2013.01)
출원번호/일자 1020030080942 (2003.11.17)
출원인 부산대학교 산학협력단, 김재홍
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2005-0047175 (2005.05.20) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2003.11.17)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구
2 김재홍 대한민국 경기 양주시 고덕로 ***, *

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이재근 대한민국 부산 금정구
2 김재홍 대한민국 경기도 의정부시
3 정창일 대한민국 부산광역시해운대구
4 황유진 대한민국 부산광역시사하구
5 정진욱 대한민국 경상남도양산시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 곽철근 대한민국 부산광역시 사상구 모라로 **, **층 ****호 (모라동, 부산벤처타워)(아이디특허사무소)
2 구성진 대한민국 부산광역시 연제구 법원남로**번길 **, *층 (거제동, 대한타워)(특허법인부경)
3 특허법인부경 대한민국 부산광역시 연제구 법원남로**번길 **, *층 (거제동, 대한타워)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2003.11.17 수리 (Accepted) 1-1-2003-0431496-15
2 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2003.11.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2003-0444543-67
3 출원인 변경 신고서
Applicant change Notification		 2005.01.31 수리 (Accepted) 1-1-2005-0056591-72
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2005.01.31 수리 (Accepted) 4-1-2005-5009715-32
5 보정요구서
Request for Amendment		 2005.02.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2005-0009494-43
6 서지사항보정서
Amendment to Bibliographic items		 2005.03.03 수리 (Accepted) 1-1-2005-0113262-37
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2005.08.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0420128-97
8 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2005.10.28 수리 (Accepted) 1-1-2005-0616036-34
9 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2005.11.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2005-0694380-32
10 의견서
Written Opinion		 2005.11.29 수리 (Accepted) 1-1-2005-0694360-29
11 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2006.03.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0162997-95
12 의견서
Written Opinion		 2006.05.24 수리 (Accepted) 1-1-2006-0362232-86
13 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2006.05.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0362262-45
14 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2006.10.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0549632-67
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2007.03.30 수리 (Accepted) 4-1-2007-5049227-69
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.05.22 수리 (Accepted) 4-1-2009-0009728-35
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000027-56
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.01.13 수리 (Accepted) 4-1-2016-5004891-78
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004005-98
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004797-18
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
나노 유체를 제조하는 방법으로서, i) 챔버내의 압력이 10-6 ∼ 10-10 Torr가 되도록 진공 펌핑 시스템을 이용하여 챔버 내를 진공화시키는 단계, ii) 상기 진공 챔버내의 압력이 1 ∼ 100 mTorr가 되도록 아르곤 가스를 주입하는 단계, iii) 스퍼터링 장치에 전압을 가하여 글로우 방전을 일으켜 타켓(target)을 마그네트론 스퍼터링함과 동시에, 상기 진공 챔버 내의 드럼을 회전시켜 드럼 표면의 유체막에 스퍼터링된 나노 입자를 침착시키는 단계, iv) 상기 나노 입자가 침착된 나노 유체를 회수하는 단계를 포함하는 데, 상기 드럼은 표면에 유체막이 형성되도록 유체에 일정부분 잠기며, 유체막에 침착된 나노 입자는 유체에 의해서 냉각되는 것을 특징으로 하는 나노 유체 제조 방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 타켓은 금속 및 탄소 계열의 비금속으로 이루어진 군으로부터 선택된 재료인 것을 특징으로 하는 나노 유체 제조 방법
3 3
제 1항에 있어서, 상기 유체는 분산제(Oleic acid)를 1 ∼ 2 wt% 첨가한 증발압력이 낮은 오일인 것을 특징으로 하는 나노 유체 제조 장치
4 4
나노 유체를 제조하는 장치로서, 챔버, 타켓을 스퍼터링하여 나노 입자를 방출할 수 있는 원주형 마그네트론 스퍼터링 시스템, 상기 챔버 내를 진공 상태로 유지하기 위한 진공 펌핑 시스템, 상기 챔버내에 아르곤 가스를 주입하는 아르곤 가스 주입장치, 유체가 저장되는 유체 저장조, 표면에 유체막이 형성되도록 회전하는 드럼, 상기 유체 및 스퍼터링 시스템을 냉각시키는 냉각 시스템, 및 아르곤 가스의 공급 유량, 전압, 전압, 스퍼터링 타겟과 드럼과의 거리, 및 분산제 (oleic acid) 함유량을 제어하는 제어부를 포함하는 데, 상기 타켓으로부터 스퍼터링된 나노 입자는 드럼의 유체막에 침착되고, 상기 드럼은 표면에 유체막이 형성되도록 유체에 일정부분 잠기는 것을 특징으로 하는 나노 유체 제조 장치
5 5
제 4항에 있어서, 상기 타켓은 금속 및 탄소 계열의 비금속으로 이루어진 군으로부터 선택된 재료인 것을 특징으로 하는 나노 유체 제조 장치
6 6
제 4항에 있어서, 상기 유체는 분산제(Oleic acid)를 1 ∼ 2 wt% 첨가한 증발압력이 낮은 오일인 것을 특징으로 하는 나노 유체 제조 장치
7 6
제 4항에 있어서, 상기 유체는 분산제(Oleic acid)를 1 ∼ 2 wt% 첨가한 증발압력이 낮은 오일인 것을 특징으로 하는 나노 유체 제조 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.