| 요약 |
본 발명은 고상율 제어와 진공가압에 의한 기능부품의 재생방법 및 재생장치에 관한 것으로서, 반도체 장비, 전자기 회로 기판 제조 등에 사용한 후 마모가 발생하면 전량 폐기 처분하는 고순도 알루미늄 타겟 부품을 저렴한 비용으로 재생 사용할 수 있도록 한 것이다.즉, 본 발명은 각종 센서가 삽입되는 센서삽입구(2a)와 전원삽입구(2b) 및 개폐구(2c)가 구비되고 있는 진공챔버(2)와, 진공챔버(2)를 지지하는 베이스(3)와, 진공챔버(2) 내에 설치되는 고주파 가열기와 연결된 코일(4) 및 코일(4) 내측으로 설치되는 조립식 다이(5)와, 조립식 다이(5) 하측으로 설치되는 승강축봉(9)과, 승강축봉(9)을 승강시키도록 베이스(3)에 고정된 나사공(10a)에 나사봉(10b)을 결합한 승강수단(10)과, 조립식 다이(5) 상측으로 올려지는 마모된 고순도 알루미늄 타겟 부품(7) 및 예비 성형체(8)를 감싸는 블록(12)과, 블록(12) 상측으로 배치되는 펀치(13)와, 펀치(13)에 결합되는 승강축봉(14) 및 펀치(13)를 승강시키도록 진공챔버(2) 외부에 설치한 유압실린더와 같은 승강수단(15)으로 구성되며, 상기 조립식 다이(5)에 형성된 취출구멍(5b)과, 상기 취출구멍(5b)에 끼워지도록 진공챔버(2) 내에 돌출 형성한 취출용 핀(11)을 포함하는 재생장치(1)와 이 장치를 이용하여 반도체 장비, 전자기 회로 기판 제조 등에 사용한 후 마모가 발생하면 전량 폐기 처분하는 마모된 고순도 알루미늄 타겟 부품을 재생하는 재생방법을 제공한 것으로서, 반도체 장비, 전자기 회로 기판 제조 등에 사용하는 고순도 알루미늄 타겟 부품이 마모에 의한 경제적 손실을 억제함은 물론이고 이러한 기술을 사업화 하여 CAE, 소재 공정 제어 기술, 대량 생산을 위한 파일럿급 장비 설계 능력을 가진 인력 양성을 이루어 기술적, 인력적 이익을 제공할 수 있는 것이다.고순도 알루미늄 타겟 부품, 반용융, 진공챔버, 플렉시블 냉관수관, 예비 성형체
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