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리테이너 링의 두께 조정 없이 서로 다른 두께의 웨이퍼를연마할 수 있는 화학적 기계적 연마 캐리어 및 이를구비한 화학적 기계적 연마 장치

  • 기술번호 : KST2015171645
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체 및 MEMS 공정의 소자 평탄화 공정인 화학적 기계적 연마장치의 연마 캐리어에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 소자 및 MEMS 구조물의 두께 변화에 대응하여 리테이너 링의 두께 조정 없이 서로 다른 두께의 웨이퍼를 연마할 수 있는 화학적 기계적 연마 장치의 연마 캐리어에 관한 것이다. 본 발명은 다양한 두께를 가지는 MEMS 구조물의 화학적 기계적 연마를 위하여 연마헤드에 벨로우즈에 의해 미리 예압이 걸려 있는 리테이너 링을 사용함으로써 종래의 소자용 화학적 기계적 연마뿐만 아니라 다양한 두께의 MEMS 구조물의 화학적 기계적 연마에 유동적으로 대응할 수 있는 장점을 가진다. 이에 다양한 두께를 가지는 MEMS 구조물의 제작과 소자용 화학적 기계적 연마에 있어서 연마헤드 제작과 대량 생산에 소요되는 비용의 절감 효과가 있다. 화학적 기계적 연마, 두께, 리테이너 링, 벨로우즈
Int. CL H01L 21/304 (2006.01)
CPC B24B 37/30(2013.01) B24B 37/30(2013.01)
출원번호/일자 1020050037375 (2005.05.04)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0685284-0000 (2007.02.14)
공개번호/일자 10-2006-0115071 (2006.11.08) 문서열기
공고번호/일자 (20070222) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.05.04)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정해도 대한민국 부산 금정구
2 김형재 대한민국 부산 북구
3 박범영 대한민국 부산 해운대구
4 서헌덕 대한민국 부산 남구
5 이현섭 대한민국 부산 서구
6 정석훈 대한민국 부산 사상구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인부경 대한민국 부산광역시 연제구 법원남로**번길 **, *층 (거제동, 대한타워)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2005.05.04 수리 (Accepted) 1-1-2005-0235039-90
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.04.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0241491-81
3 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
2006.06.27 수리 (Accepted) 1-1-2006-0457686-95
4 보정요구서
Request for Amendment
2006.06.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2006-0093380-85
5 서지사항보정서
Amendment to Bibliographic items
2006.06.30 수리 (Accepted) 1-1-2006-0472290-15
6 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.07.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0530513-52
7 의견서
Written Opinion
2006.07.25 수리 (Accepted) 1-1-2006-0530509-79
8 등록결정서
Decision to grant
2006.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0715261-26
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2007.03.30 수리 (Accepted) 4-1-2007-5049227-69
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000027-56
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.01.13 수리 (Accepted) 4-1-2016-5004891-78
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004005-98
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004797-18
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번호 청구항
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리테이너 링의 두께 조정 없이 서로 다른 두께의 웨이퍼를 연마할 수 있는 화학적 기계적 연마 캐리어를 구비한 화학적 기계적 연마 장치로서, 리테이너 링(22)의 안쪽 내면을 따라 링 형상의 요홈부(22a)가 형성되고, 연마 캐리어(15)의 헤드부(21)에는 상기 리테이너 링(22)의 요홈부(22a)에 수용되어 리테이너 링(22)의 이탈을 방지하는 스토퍼(28)가 형성되어, 상기 요홈부의 높이만큼 스토퍼(28)가 상하로 이동가능하며, 상기 연마 캐리어의 헤드부(21)의 주위를 감싸도록 설치되어 상기 리테이너 링(22)을 탄성적으로 지지하는 벨로우즈(24)가 형성되며,상기 벨로우즈 상에 위치하며, 연마 캐리어 측면에 형성된 나사산과 맞물리는 나사산이 형성된 링 형태의 높이 조절 부재(26)가 형성되는 것을 특징으로 하는 화학적 기계적 연마 장치
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리테이너 링의 두께 조정 없이 서로 다른 두께의 웨이퍼를 연마할 수 있는 화학적기계적 연마 캐리어로서, 리테이너 링(22)의 안쪽 내면을 따라 링 형상의 요홈부(22a)가 형성되고, 연마 캐리어(15)의 헤드부(21)에는 상기 리테이너 링(22)의 요홈부(22a)에 수용되어 리테이너 링(22)의 이탈을 방지하는 스토퍼(28)가 형성되어, 상기 요홈부의 높이만큼 스토퍼가 상하로 이동가능하며, 상기 연마 캐리어의 헤드부(21)의 주위를 감싸도록 설치되어 상기 리테이너 링(22)의 탄성적으로 지지하는 벨로우즈(24)가 형성되고,상기 벨로우즈 상에 위치하며 연마 캐리어 측면에 형성된 나사산과 맞물리는 나사산이 형성된 링 형태의 높이 조절 부재(26)가 형성되는 것을 특징으로 하는 화학적 기계적 연마 캐리어
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