| 요약 |
본 발명은 타이타늄과 몰리브덴과 실리콘이 소정의 원자수비로 결합되면서 대상물에 경질 코팅막을 형성시켜, 대상물의 기계적, 물리적 성질을 향상시키는 타이타늄-몰리브덴-실리콘-질소계(Ti-Mo-Si-N계) 경질 코팅막에 관한 것으로, 진공챔버 내부에서, 코팅처리를 하고자 하는 대상물에 바이어스 전압이 인가되고, 질소가스가 유입되며, 타이타늄타켓이 장착된 아크 건과 몰리브덴 및 실리콘타겟이 장착된 스퍼터 건에 각각 전원이 인가되어 상기 대상물에 경질 코팅막을 형성시키되, 상기 스퍼터 건에 인가된 전원의 크기에 따라 몰리브덴과 실리콘의 원자수비가 조절되어, 타이타늄과, 몰리브덴, 실리콘 사이의 상대적 원자수비가 타이타늄은 86~74원자수비, 몰리브덴은 12~8원자수비, 실리콘은 2~18원자수비로 형성되며, 그리고 상기 타이타늄, 몰리브덴, 실리콘의 총원자수비에 대해 질소의 원자수비가 1:1로 형성된 것을 특징으로 하는 타이타늄-몰리브덴-실리콘-질소계 경질 코팅막을 기술적 요지로 한다. 이에 따라 복잡한 형상을 갖는 다양한 금형, 고속절삭공구, 베어링, 바이트, 드릴, 엔드밀 등의 대상물에 균일한 표면 도포성을 갖는 타이타늄-몰리브덴-실리콘-질소계 경질 코팅막을 형성함으로써 공구의 수명을 연장함과 동시에, 다방면으로의 고부가가치 기술산업에 적용할 수 있는 효과를 기대할 수 있으며, 또한 실리콘으로 인해 경도가 더욱 더 향상되었음을 알 수 있으며, 산화몰리브덴과 대기 중의 물의 결합으로 생성된 자기윤활막에 의해 마찰계수가 더욱 더 감소되는 이점이 있다.경질 코팅막 타이타늄 몰리브덴 실리콘 질소
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