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마이크로입자가 수용용기의 내부공간에 수용되는 단계와;
정해진 유량과 속도로 유동하는 입자이송용 기체가 상기 수용용기의 내부공간으로 유입되도록 하고, 상기 수용용기가 정해진 진폭으로 진동하도록 하여 상기 수용용기의 내부공간에 수용된 상기 마이크로입자가 상기 입자이송용 기체에 분산되도록 하는 단계와;
상기 수용용기의 내부공간은 축소와 확장이 가능한 구조로 이루어져 상기 내부공간이 정해진 비율로 축소되면서 상기 입자이송용 기체에 분산된 상기 마이크로입자가 상기 수용용기의 내부공간과 연통된 입자 흡입관을 통해 정해진 양만큼 배출되도록 하는 단계를 포함하여,
상기 마이크로입자가 목적하는 장소에 정해진 양만큼 공급되도록 하는 것을 특징으로 하는 마이크로입자 미소 정량 공급방법
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제 1항에 있어서,
상기 수용용기는 상하방향으로 내부공간을 가지는 실린더형 관체로 이루어져 상기 수용용기의 내부공간으로 삽입되어 상하방향으로 전후진운동하게 되는 피스톤모듈에 의해 상기 수용용기의 내부공간이 축소되고 확장되도록 하되,
상기 피스톤모듈이 정해진 속도로 전진운동하면서 상기 입자이송용 기체에 분산된 상기 마이크로입자가 상기 입자 흡입관을 통해 정해진 양만큼 공급되도록 하는 것을 특징으로 하는 마이크로입자 미소 정량 공급방법
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제 1항 또는 제 2항에 있어서,
상기 마이크로입자의 물성치와 요구되는 상기 마이크로입자의 공급량에 따라 상기 상기 수용용기의 진동 진폭, 상기 입자이송용 기체의 유량, 상기 내부공간이 축소되는 비율이 조정되도록 하는 것을 특징으로 하는 마이크로입자 정량 공급방법
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축소와 확장이 가능한 내부공간이 형성되어 마이크로입자와 외부로부터 공급되는 입자이송용 기체가 수용되는 수용용기와;
상기 수용용기의 내부공간에 삽입되어 입자이송용 기체를 상기 수용용기의 내부공간으로 유입시키게 되되, 관로 상에 설치되어 상기 입자이송용 기체가 정해진 유량으로 상기 수용용기의 내부공간으로 유입되도록 하는 MFC를 구비하는 기체 유입관과;
상기 수용용기의 내부공간에 삽입되어 상기 입자이송용 기체에 분산된 상기 마이크로입자를 배출시키게 되는 입자 흡입관과;
상기 수용용기와 연동되어 상기 수용용기를 진동시키게 되는 진동기구와;
상기 수용용기의 내부공간에 위치되어 상기 내부공간을 축소시키게 되는 입자배출용 액추에이터 및;
상기 수용용기의 내부공간으로 유입되는 상기 입자이송용 기체의 유량, 상기 진동기구가 발생시키는 진동의 진폭, 상기 입자배출용 액추에이터가 상기 내부공간을 축소시키는 비율을 각각 제어하게 되는 제어기구를 포함하여,
상기 진동기구에 의해 정해진 진폭으로 진동하는 상기 수용용기의 내부공간으로 상기 기체 유입관을 통해 상기 입자이송용 기체가 정해진 유량으로 유입되면서 상기 수용용기의 내부공간에 수용된 상기 마이크로입자가 상기 입자이송용 기체에 분산되고,
상기 입자배출용 액추에이터에 의해 상기 수용용기의 내부공간이 정해진 비율로 축소되면서 입자이송용 기체에 분산된 상기 마이크로입자가 상기 입자 흡입관을 통해 정해진 양만큼 외부로 공급되는 것을 특징으로 하는 마이크로입자 미소 정량 공급장치
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제 4항에 있어서,
상기 수용용기는 중력방향과 일치하는 상하방향으로 내부공간을 가지는 실린더형 관체로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로입자 미소 정량 공급장치
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제 5항에 있어서,
상기 입자배출용 액추에이터는 실린더형 관체로 이루어진 상기 수용용기의 개방된 하부에 슬라이딩가능하게 삽입되어 상기 수용용기의 내부공간 하부가 밀폐되도록 하는 피스톤과;
상기 피스톤과 결합되어 상기 피스톤이 상기 수용용기의 내부공간에서 상하방향으로 전후진운동하도록 하는 푸싱 로드와;
상기 푸싱 로드와 연결되어 상기 푸싱 로드를 작동시키되, 상기 제어기구에 의해 제어되어 상기 푸싱 로드의 전후진운동이 조절되도록 하는 서보구동기구를 포함하는 피스톤모듈인 것을 특징으로 하는 마이크로입자 미소 정량 공급장치
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제 4항에 있어서,
상기 기체 유입관과 상기 입자 흡입관은 각각 상기 수용용기의 상부면을 관통하여 삽입되는 모세관인 것을 특징으로 하는 마이크로입자 미소 정량 공급장치
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제 7항에 있어서,
상기 입자 흡입관의 일단부는 상기 수용용기의 내부공간으로 삽입되고, 상기 입자 흡입관의 타단부는 상기 수용용기의 외부에서 이송관과 연결되되,
상기 이송관은 탄성변형이 가능한 수지 재질의 모세관형 튜브(tube)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로입자 미소 정량 공급장치
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제 4항에 있어서,
상기 진동기구는 상기 수용용기와 연결되어 상기 수용용기를 진동시키게 되는 진동발생기와;
상기 수용용기와 상기 진동발생기 양측에 접촉되어 상기 진동발생기로부터 발생되는 진동이 상기 수용용기에 전달되도록 하고, 상기 수용용기의 상측 외부면을 감싸도록 설치되어 상기 수용용기가 밀폐되도록 하며, 정해진 형상의 블록을 이루는 수지 소재로 이루어져 진동에 의한 소음 및 상기 수용용기의 피로파괴가 방지되도록 하는 진동전달블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로입자 미소 정량 공급장치
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제 4항에 있어서,
상기 제어기구는 상기 수용용기에 설치되어 상기 수용용기의 진동 진폭을 검출하는 진동센서를 더 구비하여 상기 수용용기의 진동 진폭에 대한 피드백 제어가 이루어지도록 하는 것을 특징으로 하는 마이크로입자 미소 정량 공급장치
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중력방향과 일치하는 상하방향으로 축소와 확장이 가능한 내부공간을 가지는 실린더형 관체로 이루어져 마이크로입자가 상기 내부공간에 수용되는 수용용기와;
수용용기의 상부면을 수직으로 관통하여 상기 수용용기의 내부공간에 삽입되어 입자이송용 기체를 상기 수용용기의 내부공간으로 유입시키게 되되, 관로 상에 설치되어 상기 입자이송용 기체가 정해진 유량과 속도로 상기 수용용기의 내부공간으로 유입되도록 하는 MFC를 구비하는 기체 유입관과;
수용용기의 상부면을 수직으로 관통하여 상기 수용용기의 내부공간에 삽입되어 상기 입자이송용 기체에 분산된 상기 마이크로입자를 배출시키게 되되, 상기 기체 유입관과 평행하게 설치되는 입자 흡입관과;
상기 수용용기와 연결되어 상기 수용용기를 진동시키게 되는 진동발생기와;
상기 수용용기와 상기 진동발생기 양측에 접촉되어 상기 진동발생기로부터 발생되는 진동이 상기 수용용기에 전달되도록 하고, 상기 수용용기의 상측 외부면을 감싸도록 설치되어 상기 수용용기의 상부면이 실링(sealing)되면서 상기 기체 유입관과 입자 흡입관이 상기 수용용기의 상부면에 고정되도록 하며, 정해진 형상의 블록을 이루는 수지 소재로 이루어져 진동에 의한 소음 및 상기 수용용기의 피로파괴가 방지되도록 하는 진동전달블록과;
상기 진동발생기와 연결되어 상기 진동발생기와 상기 수용용기 사이의 이격거리를 조절하도록 하여 상기 진동전달블록이 상기 수용용기와 접촉하는 강도가 조절되면서 상기 수용용기로 전달되는 진동의 진폭이 조절되도록 하는 진폭조절용 스텝모터와;
실린더형 관체로 이루어진 상기 수용용기의 개방된 하부에 슬라이딩가능하게 삽입되어 상기 수용용기의 내부공간 하부가 밀폐되도록 하는 피스톤과, 상기 피스톤과 결합되어 상기 피스톤이 상기 수용용기의 내부공간에서 상하방향으로 전후진운동하도록 하는 푸싱 로드와, 상기 푸싱 로드를 작동시키되 상기 푸싱 로드의 작동이 펄스단위로 이루어지도록 하는 피스톤용 스텝모터를 포함하여 상기 피스톤이 상기 수용용기의 내부공간에서 상하방향으로 전후진운동하면서 상기 내부공간을 축소시키거나 확장시키도록 하는 피스톤모듈 및;
요구되는 상기 마이크로입자의 공급량과 상기 마이크로입자의 물성치를 입력받아 상기 마이크로입자가 상기 입자 흡입관을 통해 정해진 량만큼 외부로 배출되도록 하되, 상기 MFC를 제어하여 상기 수용용기의 내부공간으로 유입되는 상기 입자이송용 기체의 유량을 조절하고, 상기 진폭조절용 스텝모터를 제어하여 상기 수용용기로 전달되는 진동의 진폭을 조절하며, 상기 피스톤용 스텝모터를 제어하여 상기 수용용기의 내부공간이 축소되는 비율을 조절하게 되는 제어기구를 포함하여,
상기 진동발생기에 의해 정해진 진폭으로 진동하는 상기 수용용기의 내부공간으로 상기 기체 유입관을 통해 상기 입자이송용 기체가 정해진 유량으로 유입되면서 상기 수용용기의 내부공간에 수용된 상기 마이크로입자가 상기 입자이송용 기체로 분산되고,
상기 피스톤모듈에 의해 상기 수용용기의 내부공간이 정해진 비율로 축소되면서 입자이송용 기체에 분산된 상기 마이크로입자가 상기 입자 흡입관을 통해 정해진 양만큼 외부로 배출되는 것을 특징으로 하는 마이크로입자 미소 정량 공급장치
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