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고분자 광결합 소자의 정렬을 위한 임프린트 금형의 제작 방법 및 이를 이용한 광결합 소자의 제작 방법

  • 기술번호 : KST2015171873
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 고분자 광결합 소자의 정렬을 위한 임프린트 금형의 제작 방법 및 이를 이용한 광결합 소자의 제작 방법에 관한 것으로서, 광소자 및 광섬유가 실장되는 광결합 소자의 구조와, X·Y 축 정렬용 얼라인키(align key)가 분리 형성된 다수개의 단위 금형을 제작하는 제1단계와; 상기 각각의 단위 금형을 고분자 층에 임프린트 공정을 수행하여 복제된 단위 구조물을 제작하는 제2단계와; 상기 각각의 단위 구조물을 평판 위에 배열시킨 후, 각각의 단위 구조물 내에 형성된 얼라인키에 가이드핀(guide pin)을 삽입하여 각각의 단위 구조물을 X·Y 축 정렬 및 고정시키는 제3단계와; 상기 제3단계에서 정렬 및 고정된 단일의 단위 구조물에 복제소재를 이용하여 광결합 소자의 패턴이 일체로 형성된 임프린트 금형을 제작하는 제4단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다. 따라서 광결합 소자의 패턴이 일체로 형성된 다단의 임프린트 금형을 저비용의 간단한 공정으로 제작할 수 있으며, 상기와 같이 제작된 임프린트 금형을 이용하여 광소자와 광섬유 간의 광결합 정밀도의 신뢰성을 확보할 수 있는 장점이 있다. 광결합, 광섬유, 광소자, 임프린트, 평면광파회로
Int. CL G02B 6/13 (2006.01) G02B 6/42 (2006.01)
CPC G02B 6/423(2013.01) G02B 6/423(2013.01) G02B 6/423(2013.01) G02B 6/423(2013.01) G02B 6/423(2013.01) G02B 6/423(2013.01)
출원번호/일자 1020090035899 (2009.04.24)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1086466-0000 (2011.11.17)
공개번호/일자 10-2010-0117251 (2010.11.03) 문서열기
공고번호/일자 (20111125) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.04.24)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 류진화 대한민국 울산광역시 남구
2 오승훈 대한민국 부산광역시 남구
3 조상욱 대한민국 경상남도 함양군
4 김창석 대한민국 부산광역시 남구
5 정명영 대한민국 부산광역시 금정구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인부경 대한민국 부산광역시 연제구 법원남로**번길 **, *층 (거제동, 대한타워)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.04.24 수리 (Accepted) 1-1-2009-0249666-17
2 보정요구서
Request for Amendment
2009.04.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2009-0027995-76
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2009.04.28 수리 (Accepted) 1-1-2009-0257725-56
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2010.09.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2010.10.19 수리 (Accepted) 9-1-2010-0065922-18
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.01.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0035560-74
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.03.09 수리 (Accepted) 1-1-2011-0169948-92
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.03.09 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0169931-16
9 등록결정서
Decision to grant
2011.09.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0562554-16
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000027-56
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.01.13 수리 (Accepted) 4-1-2016-5004891-78
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004005-98
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004797-18
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
광소자와 광섬유의 정렬용 패턴을 형성시키기 위한 임프린트 금형의 제작 방법에 있어서, 광소자 및 광섬유가 실장되는 광결합 소자의 구조(22,24)와, X·Y 축 정렬용 얼라인키(align key, 26)가 분리 형성된 다수개의 단위 금형(20)을 제작하는 제1단계; 상기 각각의 단위 금형(20)을 고분자(10) 층에 임프린트 공정을 수행하여 복제된 단위 구조물(40)을 제작하는 제2단계; 상기 각각의 단위 구조물(40)을 평판 위에 배열시킨 후, 각각의 단위 구조물(40) 내에 형성된 얼라인키(46)에 가이드핀(guide pin, 30)을 삽입하여 각각의 단위 구조물(40)을 X·Y 축 정렬 및 고정시키는 제3단계; 상기 제3단계에서 정렬 및 고정된 단일의 단위 구조물(40)에 복제소재(50)를 이용하여 광결합 소자의 패턴(62,64)이 일체로 형성된 임프린트 금형(60)을 제작하는 제4단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 고분자 광결합 소자의 정렬을 위한 임프린트 금형의 제작 방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 제1단계의 단위 금형(20)에는 단차가 다른 광소자 구조(22)와 광섬유 구조(24)가 각각의 단위 금형(20)에 별개로 형성되는 것을 특징으로 하는 고분자 광결합 소자의 정렬을 위한 임프린트 금형의 제작 방법
3 3
제 1항에 있어서, 상기 제3단계의 가이드핀(30)은 상기 얼라인키(46)와 동일한 너비로 형성되는 것을 특징으로 하는 고분자 광결합 소자의 정렬을 위한 임프린트 금형의 제작 방법
4 4
제 1항에 있어서, 상기 제4단계는, 복제용액과 경화제를 일정 비율로 혼합한 후, 혼합된 용액 내부의 기포를 제거하기 위한 탈포공정을 수행하는 (가)단계와, 상기 단일의 단위 구조물(40)에서 패턴이 존재하지 않는 영역부터 전 영역까지 혼합용액을 균일하게 도포시키는 (나)단계와, 상기 단일의 단위 구조물(40) 표면에 전체적으로 도포된 혼합용액을 일정 시간 동안 경화시키는 (다)단계와, 상기 (다)단계에서 경화되어 형성된 탄성체 금형을 상기 단일의 단위 구조물(40)로부터 분리하여 광결합 소자의 패턴(62,64)이 형성된 임프린트 금형(60)을 최종적으로 완성하는 (라)단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 고분자 광결합 소자의 정렬을 위한 임프린트 금형의 제작 방법
5 5
제 1항을 통해 제작된 임프린트 금형(60)을 이용하여 고분자 광결합 소자를 제작하는 방법에 있어서, 평면 기판(80)상에 자외선 경화용 용액(70)을 도포한 후 광결합 소자의 패턴(62,64)이 형성된 임프린트 금형(60)을 물리적으로 접촉시키는 (A)단계와, 상기 임프린트 금형(60)이 접촉된 면의 반대면을 자외선으로 노광한 후 상기 임프린트 금형(60)을 분리하여 광소자용 패턴(92)과 광섬유용 그루브(groove, 94)가 동시에 형성된 고분자 구조물(90)을 제작하는 (B)단계와, 상기 광섬유용 그루브(94)에 광섬유(100)를 실장시킨 후 자외선 경화 수지로 상기 광섬유를 고정하는 (C)단계와, 상기 광소자용 패턴(92)에 코어 레진을 충진하고 상부클래드(98)를 적층한 후 자외선으로 노광하여 고분자 광결합 소자를 최종적으로 완성하는 (D)단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 고분자 광결합 소자의 제작 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.