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접촉인쇄 방식을 이용한 마이크로 채널 제작방법

  • 기술번호 : KST2015171886
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 접촉인쇄 방식을 이용하여 기존의 포토 리소그래피 (Photolithography) 방식으로 패터닝과 에칭을 반복적으로 수행하여 원하는 미세구조를 제작하는 방법보다 높은 정밀도를 가지고 간단하게 옮겨심기작업을 통해서 대면적에 마이크로 채널을 위치시켜 다층으로 적층시키는 구조로 제작하는 방법에 대한 것이다. 본 발명에 따른 마이크로 채널 제작방법은 스탬프단계와, 제1SAM층증착단계와, 제2SAM층증착단계와, 스핀코팅단계와, 임프린팅단계와, 자외선조사단계와, 스탬프분리단계와, 접착제코팅단계와, 접착단계와, SAM층제거단계를 포함한다. 본 발명에 의하면 접촉인쇄방식을 이용한 간단한 마이크로 채널 제작방법을 제공함으로써, 좀 더 쉽게 정밀도가 높은 다층의 채널을 제작할 수 있다. 따라서 실제 사용되고 있는 바이오 칩(Bio Chip)이나 광학 도파관(Optical waveguide)에서 3차원의 마이크로 채널로 더 집적형의 제품으로 응용이 가능하며, 전자기기를 냉각하기 위한 열교환기, 입자분리 시스템, 잉크젯 헤드 등에 이용가능하다. 임프린트, 포토리소그래피. 자기조립단층막, 옮겨심기, 다층, 마이크로 채널
Int. CL G03F 7/00 (2006.01) H01L 21/00 (2006.01)
CPC G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01)
출원번호/일자 1020090053145 (2009.06.16)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1088611-0000 (2011.11.24)
공개번호/일자 10-2010-0134821 (2010.12.24) 문서열기
공고번호/일자 (20111130) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.06.16)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박상후 대한민국 서울 강남구
2 유원설 대한민국 부산광역시 해운대구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다인 대한민국 경기도 화성시 동탄기흥로*** 더퍼스트타워쓰리제**층 제****호, 제****-*호

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.06.16 수리 (Accepted) 1-1-2009-0361663-86
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2010.10.28 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2010.12.06 수리 (Accepted) 9-1-2010-0073921-16
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.02.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0060870-09
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.03.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0229652-79
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.03.29 수리 (Accepted) 1-1-2011-0229648-96
7 등록결정서
Decision to grant		 2011.10.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0602757-16
8 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2011.11.17 수리 (Accepted) 1-1-2011-0908868-16
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000027-56
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.01.13 수리 (Accepted) 4-1-2016-5004891-78
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004005-98
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004797-18
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
포토리소그래피 공정을 거쳐서 패터닝을 한 후 주형의 스탬프를 만드는 스탬프단계와, 빛이 통과할 수 있는 유리평판에 SAM층을 증착하는 제1SAM층증착단계와, 상기 스탬프에 SAM층을 증착하는 제2SAM층증착단계와, 자외선 경화수지를 SAM층이 증착된 상기 유리평판에 스핀코팅하는 스핀코팅단계와, 상기 자외선 경화수지에 상기 스탬프를 임프린팅하여 상기 자외선 경화수지를 구조물로 만드는 임프린팅단계와, 상기 자외선 경화수지를 굳히기 위하여 자외선을 조사하는 자외선조사단계와, 상기 스탬프를 상기 구조물로부터 분리하는 스탬프분리단계와, 자외선 경화접착제를 기판 위에 코팅하는 접착제코팅단계와, 채널이 형성되도록 상기 구조물을 상기 기판 위에 접착시키는 접착단계와, 상기 유리평판에 증착된 상기 SAM층을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 채널 제작방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 구조물이 상기 기판 위에 다층으로 적층되도록 상기 제1SAM층증착단계 내지 상기 SAM층제거단계를 반복하는 것을 특징으로 하는 마이크로 채널 제작방법
3 3
제2항에 있어서, 상기 접착단계는 자외선을 조사하여 상기 자외선 경화접착제를 경화시켜서 상기 구조물을 상기 기판 위에 접착시키는 것을 특징으로 하는 마이크로 채널 제작방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.