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MAX 상 박막의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015172024
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, Ti2AlN MAX 상 박막 제작에 관한 것으로, 스퍼터링 등으로 형성한 비정질 Ti2AlN 박막을 800 ℃ 정도의 고온에서 후열 처리하여 결정질 화하는 종래 기술과 달리 박막을 증착 단계에서 바로 결정질 박막으로 제작하는 방법을 제공한다. 본 발명에 따르면, Ti2AlN 타겟을 제작사용하고, 고에너지 플라즈마를 고밀도로 발생하여 타겟으로부터 침식되어 나오는 금속 입자를 이온화시켜 400 내지 500 ℃ 정도의 비교적 저온에서 결정질 박막을 제작할 수 있다.
Int. CL C23C 14/34 (2006.01) C23C 14/14 (2006.01)
CPC C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01)
출원번호/일자 1020110137764 (2011.12.19)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2013-0070433 (2013.06.27) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.12.19)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김광호 대한민국 부산광역시 해운대구
2 신정호 대한민국 부산광역시 금정구
3 장텅페이 대한민국 부산광역시 금정구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 주은희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 ** 선릉엘지에클라트 B-***(아이디어로특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.12.19 수리 (Accepted) 1-1-2011-1010581-80
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.01.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.02.08 수리 (Accepted) 9-1-2013-0009981-14
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.08.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0532767-66
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.09.30 수리 (Accepted) 1-1-2013-0881231-56
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.09.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0881230-11
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000027-56
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2014.01.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0011044-89
9 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2014.02.07 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2014-0120469-56
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.02.07 수리 (Accepted) 1-1-2014-0120478-67
11 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.03.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0155775-78
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.05.02 수리 (Accepted) 1-1-2014-0420606-74
13 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.05.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0420569-72
14 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2014.05.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0344113-52
15 심사관의견요청서
Request for Opinion of Examiner
2014.08.29 수리 (Accepted) 7-8-2014-0021388-15
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.01.13 수리 (Accepted) 4-1-2016-5004891-78
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004005-98
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004797-18
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
모재에 Ti2AlN MAX 상 박막으로 코팅처리함에 있어서, 진공 중에서 Ti2AlN으로 된 하나의 타겟(target)을 불활성 가스를 이용하여 방전한 플라즈마(plasma)로 충격하여 타겟으로부터 금속원소를 이온상태로 방출시켜 모재에 직접 결정질의 Ti2AlN MAX 상 박막으로 코팅 처리하는 것을 특징으로 하는 MAX 상(MAX phase) 박막 제조방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 코팅 처리 중, 상기 모재는 300 내지 500 ℃로 유지되고, 플라즈마 운전중 진공도는 0
3 3
제1항 또는 제2항에 있어서, 타겟 쪽에 -10 내지 -90 V의 바이어스 전압을 인가하는 것을 특징으로 하는 MAX 상 박막 제조방법
4 4
제1항에 있어서, Ti2AlN으로 된 타겟은 Ti:Al:TiN을 혼합하여 플라즈마로 소결하여 제작되는 것을 특징으로 하는 MAX 상 박막 제조방법
5 5
제1항에 있어서, Ti2AlN 타겟으로부터 생성되는 금속이온의 에너지는 50 내지 100eV 인 것을 특징으로 하는 MAX 상 박막 제조방법
6 6
제1항에 있어서, 상기 모재는 Si, Ti합금소재, 스테인레스스틸(stainless steel) 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 MAX 상 박막 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 부산대학교 산학협력 국가핵심연구센터사업 신기능 하이브리드 표면소재 응용연구