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초음파를 이용한 상압 플라즈마 증착 장치

  • 기술번호 : KST2015172104
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 초음파를 이용하여 증착 물질을 기화시켜 공정 시간을 단축하고 전압 조절을 통하여 증착 물질의 기화량을 제어하는 것에 의해 정밀한 공정 진행을 가능하도록 한 초음파를 이용한 상압 플라즈마 증착 장치에 관한 것으로, 캐리어 가스 및 액상의 증착 물질이 공급되면 내부에 구성되는 초음파 발생부에서 초음파를 발생시켜 상기 액상의 증착 물질을 기화시키는 초음파 기화부;상기 초음파 기화부에 연결되어 기화된 증착 물질을 플라즈마 발생/증착부로 공급하는 공급관의 외부에 구성되어 기화된 증착 물질의 온도를 제어하는 온도 제어 열선;상기 공급관의 중간에 구성되어 초음파 기화부에서 공급되는 캐리어 가스 및 기화된 반응 물질의 비율을 실시간으로 검출하는 공급 가스비 검출부;상기 공급관에 연결되어 플라즈마 발생을 위한 반응 가스를 공급하는 플라즈마 가스 공급부;공급관을 통하여 캐리어 가스 및 기화된 반응 물질 그리고 반응 가스가 공급되면 플라즈마를 발생시켜 기판에 증착 물질을 증착하는 플라즈마 발생/증착부;를 포함한다.
Int. CL C23C 16/505 (2006.01)
CPC C23C 16/505(2013.01) C23C 16/505(2013.01) C23C 16/505(2013.01) C23C 16/505(2013.01) C23C 16/505(2013.01) C23C 16/505(2013.01)
출원번호/일자 1020120058424 (2012.05.31)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2013-0134711 (2013.12.10) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.05.31)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이호준 대한민국 부산 금정구
2 이해준 대한민국 부산 금정구
3 김동현 대한민국 부산광역시 금정구
4 하창승 대한민국 부산 해운대구
5 서권상 대한민국 경남 창원시 마산합포구 장군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정기택 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로**길 **, *층 (반포동, 새로나빌딩)(스카이특허법률사무소)
2 오위환 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로**길 **, *층 (반포동, 새로나빌딩)(스카이특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.05.31 수리 (Accepted) 1-1-2012-0437391-60
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.04.25 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.06.10 수리 (Accepted) 9-1-2013-0046054-16
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.10.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0752054-25
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2013.12.30 수리 (Accepted) 1-1-2013-1205968-32
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000027-56
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2014.02.03 수리 (Accepted) 1-1-2014-0104610-23
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.02.10 수리 (Accepted) 1-1-2014-0127196-05
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.02.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0127257-92
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2014.06.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0447708-45
11 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)
2014.07.30 수리 (Accepted) 7-1-2014-0028985-52
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.01.13 수리 (Accepted) 4-1-2016-5004891-78
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004005-98
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004797-18
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
캐리어 가스 및 액상의 증착 물질이 공급되면 내부에 구성되는 초음파 발생부에서 초음파를 발생시켜 상기 액상의 증착 물질을 기화시키는 초음파 기화부;상기 초음파 기화부에 연결되어 기화된 증착 물질을 플라즈마 발생/증착부로 공급하는 공급관의 외부에 구성되어 기화된 증착 물질의 온도를 제어하는 온도 제어 열선;상기 공급관의 중간에 구성되어 초음파 기화부에서 공급되는 캐리어 가스 및 기화된 반응 물질의 비율을 실시간으로 검출하는 공급 가스비 검출부;상기 공급관에 연결되어 플라즈마 발생을 위한 반응 가스를 공급하는 플라즈마 가스 공급부;공급관을 통하여 캐리어 가스 및 기화된 반응 물질 그리고 반응 가스가 공급되면 플라즈마를 발생시켜 기판에 증착 물질을 증착하는 플라즈마 발생/증착부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 상압 플라즈마 증착 장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 초음파 발생부는,가변 저항을 구비하여 가변 저항의 조절을 통하여 초음파 진동수를 변화시켜 초음파를 발생하는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 상압 플라즈마 증착 장치
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 온도 제어 열선은,상기 공급관을 통하여 이동하는 기화된 증착 물질의 온도를 제어하여 기판에 증착되는 물질의 증착률 및 증착 사이즈를 조절하는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 상압 플라즈마 증착 장치
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 액상의 증착 물질은,TEOS(Tetraethyl orthosilicate) 또는 HMDS(Hexamethyldisilazane)인 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 상압 플라즈마 증착 장치
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 공급 가스비 검출부에서 공급되는 캐리어 가스 및 기화된 반응 물질의 비율을 실시간으로 검출하면 이를 기준으로 초음파 기화부로 유입되는 증착 물질의 유입량을 조절하는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 상압 플라즈마 증착 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 부산대학교 산학협력단 일반연구자지원사업_기본연구지원사업((구)기본연구지원사업_유형1) 기능성 상압 마이크로 플라즈마소스 개발 및 응용연구