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가변 속도형 인치웜 스테이지

  • 기술번호 : KST2015172248
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 고정 스테이지와 변위 스테이지와 상기 고정 스테이지에 지지되어 상기 변위 스테이지의 변위력을 발생시키는 피에죠 액츄에이터와 상기 피에죠 액추에이터와 상기 변위 스테이지를 연결시키는 연결부로서 상기 피에죠 액츄에이터의 변위력를 상기 변위 스테이지에 전달시키는 변위전달계로 구성되는 인치웜 스테이지에 있어서, 상기 변위전달계가 상기 피에죠 액츄에이터를 힘점으로 하고 상기 변위 스테이지를 작용점으로 하여 연결시키는 지레 아암과 상기 작용점 또는 힘점에 대한 위치가 가변되는 지레축(받침점)으로 구성되어 상기 지레축의 가변으로 인치웜 스테이지의 이동속도를 제어시키는 것을 특징으로 하는 가변 속도형 인치웜 스테이지에 관한 것이다본 발명에 의하면 피에죠 액츄에이터에서 발생하는 변위를 여러 가지 다른 증폭비로 증폭시켜 다양한 속도 제어가 가능하며, 미리미터 단위의 대 변위 이송에서부터 나노미터 단위의 정밀 변위 이송이 가능한 인치웜 스테이지를 제공하는 이점이 있다.피에죠 액츄에이터, 나노스테이지, 인치웜 스테이지, 변위, 지레축
Int. CL B82Y 40/00 (2011.01) B82Y 35/00 (2011.01) G02B 21/26 (2011.01) G01B 21/00 (2011.01)
CPC G12B 5/00(2013.01) G12B 5/00(2013.01) G12B 5/00(2013.01) G12B 5/00(2013.01)
출원번호/일자 1020060105391 (2006.10.30)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0817340-0000 (2008.03.20)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20080331) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.10.30)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김은영 대한민국 경남 양산
2 박정우 대한민국 부산 사하구
3 이득우 대한민국 부산 해운대구
4 최수창 대한민국 부산 동래구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 최한수 대한민국 부산광역시 강서구 신호산단*로 **(신호동) 허브원B/D ***호(한스특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2006.10.30 수리 (Accepted) 1-1-2006-0785682-62
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2007.03.30 수리 (Accepted) 4-1-2007-5049227-69
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2007.09.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0520273-91
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2007.11.27 수리 (Accepted) 1-1-2007-0851334-16
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2007.11.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0851375-77
6 등록결정서
Decision to grant		 2007.12.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0692340-96
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000027-56
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.01.13 수리 (Accepted) 4-1-2016-5004891-78
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004005-98
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004797-18
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
고정 스테이지와 변위 스테이지와 상기 고정 스테이지에 지지되어 상기 변위 스테이지의 변위력을 발생시키는 피에죠 액츄에이터와 상기 피에죠 액추에이터와 상기 변위 스테이지를 연결시키는 연결부로서 상기 피에죠 액츄에이터의 변위력를 상기 변위 스테이지에 전달시키는 변위전달계로 구성되는 인치웜 스테이지에 있어서,상기 변위전달계가 상기 피에죠 액츄에이터를 힘점으로 하고 상기 변위 스테이지를 작용점으로 하여 연결시키는 지레 아암과;상기 작용점 또는 힘점에 대한 위치가 가변되는 지레축(받침점)으로;구성되어 상기 지레축의 가변으로 인치웜 스테이지의 이동속도를 제어시키는 것을 특징으로 하는 가변 속도형 인치웜 스테이지
2 2
제1항에 있어서 상기 지레축은 상기 고정 스테이지 또는 상기 변위 스테이지에 접촉되는 돌기에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 가변 속도형 인치웜 스테이지
3 3
제2항에 있어서 상기 지레축은상기 피에죠 액츄에이터에 직각으로 형성되며 상기 고정 스테이지 또는 상기 변위 스테이지에 접촉하는 돌기를 가지는 슬라이딩 지레축 피에죠 액츄에이터로 구성되어, 상기 작용점 또는 힘점에 대한 지레축 위치가 가변되는 것을 특징으로 하는 가변 속도형 인치웜 스테이지
4 4
제2항에 있어서 상기 지레축은 상기 고정 스테이지 또는 상기 변위 스테이지 측에 등간격으로 형성되고 선택에 따라 돌출되는 돌기에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 가변 속도형 인치웜 스테이지
5 5
제4항에 있어서 상기 지레축은 상기 피에죠 액츄에이터에 평행하게 배열되어 형성되며 택일적 구동되는 복수개의 디지탈 지레축 피에죠 액츄에이터에 의하여 형성되어, 택일적 구동된 디지탈 지레축 피에죠 액츄에이터에 의하여 상기 작용점 또는 힘점에 대한 지레축의 위치가 가변되는 것을 특징으로 하는 가변 속도형 인치웜 스테이지
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.