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나노미터 스케일의 측정 및 가공을 위한 센서 장치

  • 기술번호 : KST2015172269
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 다양한 범위의 분해능을 구비하고 있는 정전 용량형 갭 센서와 다양한 탄성력을 구비하고 있는 탄성수단을 적절하게 취사 선택하여 요구되는 작업의 정도에 따라 능동적으로 대처할 수 있는 센서 장치에 관한 것으로서, 중심 축 방향으로 내부 수용 공간이 구비되는 하우징과, 상기 하우징의 내부 수용 공간 상단부에 고정 결합되는 정전 용량형 갭 센서와, 일단에는 소재 표면의 상태를 측정할 수 있는 프로브 장치 또는 소재 표면을 가공할 수 있는 가공 팁 장치 중에서 선택되는 어느 하나가 착탈식으로 결합될 수 있도록 결합홈부가 구비되며 상기 정전 용량형 갭 센서와 일정 간격 이격된 상태로 상기 하우징의 내부 수용 공간 하단부에 위치하여 상기 하우징 내부 수용 공간을 슬라이드 운동하는 가이드부와, 상기 정전 용량 갭 센서와 상기 가이드부 사이에 개재되는 탄성수단을 포함하여 이루어지는 센서 장치를 제공함을 그 기술적 특징으로 한다.정전 용량형 갭 센서, 탄성수단
Int. CL G01B 7/06 (2011.01)
CPC G01B 7/14(2013.01) G01B 7/14(2013.01) G01B 7/14(2013.01) G01B 7/14(2013.01)
출원번호/일자 1020050052822 (2005.06.20)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0687650-0000 (2007.02.21)
공개번호/일자 10-2006-0133152 (2006.12.26) 문서열기
공고번호/일자 (20070227) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.06.20)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김형원 대한민국 부산 사하구
2 이채문 대한민국 부산 부산진구
3 박정우 대한민국 부산 사하구
4 이득우 대한민국 부산 금정구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 최한수 대한민국 부산광역시 강서구 신호산단*로 **(신호동) 허브원B/D ***호(한스특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2005.06.20 수리 (Accepted) 1-1-2005-0324351-96
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2006.07.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2006.08.11 수리 (Accepted) 9-1-2006-0051317-16
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.09.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0576076-14
5 의견서
Written Opinion
2006.11.27 수리 (Accepted) 1-1-2006-0871143-15
6 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.11.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0871134-15
7 등록결정서
Decision to grant
2006.12.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0774015-28
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2007.03.30 수리 (Accepted) 4-1-2007-5049227-69
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000027-56
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.01.13 수리 (Accepted) 4-1-2016-5004891-78
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004005-98
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004797-18
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번호 청구항
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중심 축 방향으로 내부 수용 공간이 구비되는 하우징과;상기 하우징의 내부 수용 공간 상단부에 고정 결합되는 정전 용량형 갭 센서와;축 방향으로 형성되는 장공이 구비되어 상기 하우징의 내부 수용 공간 하단부에 고정 결합되는 가이드 지지부와, 일단에는 소재 표면의 상태를 측정할 수 있는 프로브 장치 또는 소재 표면을 가공할 수 있는 팁 장치 중에서 선택되는 어느 하나가 착탈식으로 결합될 수 있도록 결합홈부가 형성되어 상기 가이드 지지부의 장공 내부를 슬라이드 운동하는 가이드봉으로 이루어져, 상기 정전 용량형 갭 센서와 일정 간격 이격된 상태로 상기 하우징의 내부 수용 공간 하단부에 위치하여 상기 하우징 내부 수용 공간을 슬라이드 운동하는 가이드부와;상기 정전 용량 갭 센서와 상기 가이드부 사이에 개재되는 탄성수단을;포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 센서 장치
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제1항에 있어서,상기 가이드부의 장공 내주면에는 축 방향으로 하나 이상의 요홈이 형성되며, 상기 가이드부 요홈에는 상기 가이드부 장공 내부로 일부가 돌출된 상태로 내재되는 복수 개의 가이드 볼이 구비되며, 상기 가이드봉의 외주면에는 상기 가이드부의 장공 내부로 일부 돌출되는 가이드 볼 부분이 삽입될 수 있도록 축 방향으로 홈부가 더욱 형성되는 것을 특징으로 하는 센서 장치
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제1항에 있어서,상기 하우징의 하단부에는 상기 가이드부가 상기 하우징 내주면과 일정 간격 이격된 상태에서 슬라이드 운동할 수 있도록 외부 공기가 유입되는 복수 개의 유입홀이 형성되며, 상기 하우징의 상단부에는 유입되는 공기가 배출될 수 있도록 하나 이상의 배출홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 센서 장치
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.