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투광 기판(100) 상층에 윈도우층(200)을 형성시키는 제1단계와, 상기 윈도우층(200) 상층에 버퍼층(300)을 형성시키는 제2단계와, 상기 버퍼층(300) 상층에 광흡수층(400)을 형성시키는 제3단계와, 상기 광흡수층(400) 상층에 전극층(500)을 형성시키는 제4단계를 포함하여 이루어지는 화합물 태양전지의 제조방법에 있어서,
상기 제1단계의 윈도우층(200)을 형성시킨 후, 상압하에서, 플라즈마발생장치에 반응가스를 공급하고 교류전원을 인가시켜 플라즈마를 발생시키고, 플라즈마 발생 영역에 상기 윈도우층(200)이 형성된 투광 기판(100)을 위치시켜, 상기 윈도우층(200)을 표면처리시키는 것을 특징으로 하는 상압 플라즈마 표면처리된 윈도우층을 가지는 화합물 태양전지의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 윈도우층(200)은,
투명전도성산화물반도체(TCO)를 사용하는 것을 특징으로 하는 상압 플라즈마 표면처리된 윈도우층을 가지는 화합물 태양전지의 제조방법
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제 2항에 있어서, 상기 투명전도성산화물반도체(TCO)는,
ZnO, ZnO에 Al, Cu, B, F, In, Si, Ge, Sn, H, Ga, Ni 및 Ag 중의 어느 하나가 도핑된 것, ITO, In2O3 및 SnO2 중에 어느 하나인 것을 특징으로 하는 상압 플라즈마 표면처리된 윈도우층을 가지는 화합물 태양전지의 제조방법
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제 2항에 있어서, 상기 윈도우층(200)은,
물리적 또는 화학적 증착법으로 박막형태, 나노막대 형태, 나노도트 형태 및 나노와이어 형태 중 어느 하나의 형태로 증착하는 것을 특징으로 하는 상압 플라즈마 표면처리된 윈도우층을 가지는 화합물 태양전지의 제조방법
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제 4항에 있어서, 상기 윈도우층(200)의 물리적 증착법으로는 DC 또는 RF 스파터링법(sputtering), PLD법(Pulsed Laser Deposition), 졸겔법(sol-gel), ALD법(Atomic Layer Deposition), 열증착법(thermal evaporation), 전자빔증착법(E-beam evaporation), MBE(Molecular beam epitaxial) 및 Co-evaporation 중에 어느 하나의 방법이거나, 상기 화학적 증착법으로는 분무열분해법(spray pyrolysis), 전기도금증착법(electro-deposition), 용해법(solution), MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition)법 및 PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 중 어느 하나의 방법인 것을 특징으로 하는 상압 플라즈마 표면처리된 윈도우층을 가지는 화합물 태양전지의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 투광 기판(100)은,
투명한 유리(glass) 기판 또는 투명한 폴리머 기판인 것을 특징으로 하는 상압 플라즈마 표면처리된 윈도우층을 가지는 화합물 태양전지의 제조방법
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투광 기판(100)과, 상기 투광 기판(100) 상층에 형성된 윈도우층(200)과, 상기 윈도우층(200) 상층에 형성된 버퍼층(300)과, 상기 버퍼층(300) 상층에 형성된 광흡수층(400)과, 상기 광흡수층(400) 상층에 형성된 전극층(500)을 포함하여 이루어지는 화합물 태양전지에 있어서,
상기 윈도우층(200)은 상압 플라즈마 표면처리되는 것을 특징으로 하는 상압 플라즈마 표면처리된 윈도우층을 가지는 화합물 태양전지
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제 7항에 있어서, 상기 윈도우층(200)은,
투명전도성산화물반도체(TCO)를 사용하는 것을 특징으로 하는 상압 플라즈마 표면처리된 윈도우층을 가지는 화합물 태양전지
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제 8항에 있어서, 상기 투명전도성산화물반도체(TCO)는,
ZnO, ZnO에 Al, Cu, B, F, In, Si, Ge, Sn, H, Ga, Ni 및 Ag 중의 어느 하나가 도핑된 것, ITO, In2O3 및 SnO2 중에 어느 하나인 것을 특징으로 하는 상압 플라즈마 표면처리된 윈도우층을 가지는 화합물 태양전지
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제 8항에 있어서, 상기 윈도우층(200)은,
물리적 또는 화학적 증착법으로 박막형태, 나노막대 형태, 나노도트 형태 및 나노와이어 형태 중 어느 하나의 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 상압 플라즈마 표면처리된 윈도우층을 가지는 화합물 태양전지
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제 7항에 있어서, 상기 투광 기판(100)은,
투명한 유리(glass), 투명한 폴리머인 것을 특징으로 하는 상압 플라즈마 표면처리된 윈도우층을 가지는 화합물 태양전지
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