요약 | 본 발명은 내부의 진공도를 조절하며, 탈 부착이 가능한 진공 펌프가 설치된 챔버, 상기 챔버 내에 장입되며, 제1기판이 안착되는 안착부를 가진 기판 홀더, 상기 챔버 내부에 구비되며, 상기 제1기판과 합착되는 제2기판을 일정 압력으로 눌러 압착시키는 압축 롤러 장치, 상기 제2기판을 압착하는 상기 압축 롤러를 이동시키는 이동 장치 및 상기 제2기판을 상기 제1기판에 접착할 때, 최후에 합착되는 제2기판의 일 측변을 상기 제1기판과 일정 간격을 유지하도록 하는 간격 유지 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 라미네이팅 장치를 제공하고, 상기 기판 라미네이팅 장치를 이용하여 두 개의 대면적 기판을 기포 없이 합착할 수 있는 기판 라미네이팅 장치 및 이를 이용한 기판 합착 방법에 관한 것이다. TFT 기판, 섬광체 기판, 라미네이팅, 합착, 기포 |
---|---|
Int. CL | B29C 63/02 (2006.01) B29C 63/00 (2006.01) |
CPC | B32B 37/0046(2013.01) B32B 37/0046(2013.01) B32B 37/0046(2013.01) B32B 37/0046(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020080024075 (2008.03.14) |
출원인 | 주식회사바텍, 부산대학교 산학협력단 |
등록번호/일자 | 10-0943311-0000 (2010.02.11) |
공개번호/일자 | 10-2009-0098596 (2009.09.17) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20100219) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | 심판사항 |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2008.03.14) |
심사청구항수 | 11 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 주식회사바텍 | 대한민국 | 경기도 화성시 삼 |
2 | 부산대학교 산학협력단 | 대한민국 | 부산광역시 금정구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 고종수 | 대한민국 | 부산 해운대구 |
2 | 정필구 | 대한민국 | 부산광역시 금정구 |
3 | 배공명 | 대한민국 | 경남 김해시 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 특허법인아이엠 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 봉은사로 ***, ***호 (역삼동, 혜전빌딩) |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 주식회사바텍 | 대한민국 | 경기도 화성시 삼 |
2 | 부산대학교 산학협력단 | 대한민국 | 부산광역시 금정구 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2008.03.14 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0188890-39 |
2 | 보정요구서 Request for Amendment |
2008.03.25 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2008-0043330-76 |
3 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2008.03.26 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0217305-22 |
4 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2008.12.12 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
5 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2009.01.12 | 수리 (Accepted) | 9-1-2009-0001654-85 |
6 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2009.03.11 | 수리 (Accepted) | 4-1-2009-5045505-33 |
7 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2009.05.29 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2009-0231152-43 |
8 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2009.07.27 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2009-0459158-50 |
9 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2009.07.27 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0459160-42 |
10 | 거절결정서 Decision to Refuse a Patent |
2009.11.26 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2009-0486569-81 |
11 | 명세서 등 보정서(심사전치) Amendment to Description, etc(Reexamination) |
2009.12.23 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 7-1-2009-0064750-12 |
12 | 등록결정서 Decision to grant |
2010.02.09 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0057573-37 |
13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2010.03.22 | 수리 (Accepted) | 4-1-2010-5048943-56 |
14 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2010.09.29 | 수리 (Accepted) | 4-1-2010-5179097-73 |
15 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2012.03.07 | 수리 (Accepted) | 4-1-2012-5048640-07 |
16 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2012.03.07 | 수리 (Accepted) | 4-1-2012-5048638-15 |
17 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.09.16 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5126130-76 |
18 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.10.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5130700-30 |
19 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.01.02 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-0000027-56 |
20 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.10.20 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5123891-12 |
21 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2015.01.06 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5001533-99 |
22 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2016.01.13 | 수리 (Accepted) | 4-1-2016-5004891-78 |
23 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2017.01.09 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5004005-98 |
24 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2017.01.10 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5004797-18 |
번호 | 청구항 |
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1 |
1 삭제 |
2 |
2 삭제 |
3 |
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5 삭제 |
6 |
6 내부의 진공도를 조절할 수 있는 챔버; 상기 챔버 내에 장입되며, 제1기판이 안착되는 안착부를 가진 기판 홀더; 상기 챔버 내부에 구비되며, 상기 제1기판과 합착되는 제2기판을 일정 압력으로 눌러 압착시키는 압축 롤러 장치; 상기 제2기판을 압착하는 상기 압축 롤러 장치를 이동시키는 이동 장치; 및 상기 제2기판을 상기 제1기판에 접착할 때, 최후에 합착되는 제2기판의 일 측변을 상기 제1기판과 일정 간격을 유지하도록 하는 간격 유지 장치;를 포함하며, 상기 기판 홀더의 안착부의 깊이는 상기 제1기판과 제2기판의 두께 합과의 차이가 -100㎛ 내지 +100㎛인 것을 특징으로 하며, 상기 간격 유지 장치:는 상기 챔버 내벽의 상부에 위치한 장력 조절 롤러; 및 일측 끝단은 상기 장력 조절 롤러에 감겨있고, 타측 끝단은 아직 합착되지 않은 상기 제2기판의 일 측변에 연결되어 있는 고정체인;을 포함하며, 상기 고정체인의 장력이 일정 이상인 경우에는 상기 장력 조절 롤러에서 고정체인이 풀리는 것을 특징으로 하는 기판 라미네이팅 장치 |
7 |
7 내부의 진공도를 조절할 수 있는 챔버; 상기 챔버 내에 장입되며, 제1기판이 안착되는 안착부를 가진 기판 홀더; 상기 챔버 내부에 구비되며, 상기 제1기판과 합착되는 제2기판을 일정 압력으로 눌러 압착시키는 압축 롤러 장치; 상기 제2기판을 압착하는 상기 압축 롤러 장치를 이동시키는 이동 장치; 및 상기 제2기판을 상기 제1기판에 접착할 때, 최후에 합착되는 제2기판의 일 측변을 상기 제1기판과 일정 간격을 유지하도록 하는 간격 유지 장치;를 포함하며, 상기 기판 홀더의 안착부의 깊이는 상기 제1기판과 제2기판의 두께 합과의 차이가 -100㎛ 내지 +100㎛인 것을 특징으로 하며, 상기 압축 롤러 장치:는 상기 제2기판과 접촉하여 상기 제2기판의 표면에 압력을 주는 고무 롤러; 상기 고무 롤러의 양쪽 끝단에 체결되며 상기 고무 롤러를 가이드하는 롤러 프레임; 상기 롤러 프레임을 지지하며, 레일 상에 설치되어 이동 가능한 본체 프레임; 및 상기 본체 프레임에 구비되며 상기 롤러 프레임을 들어 올려 상기 고무 롤러를 들어 올리는 롤러 승강 기구;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 라미네이팅 장치 |
8 |
8 제 7 항에 있어서, 상기 롤러 승강 기구는 캠축을 구비하고 있고, 상기 캠축이 상기 본체 프레임에 체결되어 있어 상기 캠의 외주에 따라 상기 롤러 프레임이 상승 또는 하강하는 것을 특징으로 하는 기판 라미네이팅 장치 |
9 |
9 제 7 항에 있어서, 상기 이동 장치:는 상기 본체 프레임에 체결되며, 운동을 발생시키는 모터를 구비한 모터부; 및 상기 모터부와 체결된 볼스크류;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 라미네이팅 장치 |
10 |
10 제 7 항에 있어서, 상기 롤러 프레임은 상기 고무 롤러의 압력을 조절할 수 있는 압력 조절 추를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 라미네이팅 장치 |
11 |
11 제 7 항에 있어서, 상기 챔버는 상기 레일, 제1기판 및 제2기판을 지지하는 베이스를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 기판 라미네이팅 장치 |
12 |
12 제 11 항에 있어서, 상기 베이스는 상기 기판 홀더를 고정하는 홀더 고정 기구를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 기판 라미네이팅 장치 |
13 |
13 삭제 |
14 |
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15 삭제 |
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17 |
17 제1기판 및 제2기판을 준비하는 단계; 상기 제1기판을 기판 홀더에 장착한 후 상기 기판 홀더를 챔버 내부로 장입하는 단계; 상기 제1기판 상에 접착물질을 주입하는 단계; 상기 제2기판을 상기 제1기판이 장착된 기판 홀더 상에 위치시키면서 상기 제2기판의 일 측변에 장력체인을 연결한 후, 상기 제2기판의 타 측변을 정렬하는 단계; 상기 챔버 내부를 일정 압력 이하로 배기하여 상기 접착물질로부터 기포를 제거하는 단계; 상기 제2기판의 일측에 연결된 장력체인이 일정 장력을 유지하도록 상기 장력체인의 길이를 조절하면서 상기 제2기판의 타 측변에서부터 상기 제2기판의 일 측변으로 압축롤러를 이용하여 상기 제2기판을 압착하여 상기 제1기판 및 제2기판을 합착하는 단계; 및 상기 제1기판과 제2기판이 합착되어 안착되어 있는 기판 홀더를 챔버로부터 인출하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 라미네이팅 방법 |
18 |
18 제 17 항에 있어서, 상기 제1기판을 준비하는 단계:는 상기 제1기판 상에 정렬 마크를 도안하는 단계; 상기 정렬 마크를 따라 테이프를 부착하되 상기 제1기판의 일 측변에는 상기 테이프가 기판 외부로 돌출되지 않도록 부착하고, 나머지 세 측변에는 일정 길이 만큼 외부로 돌출되도록 부착하는 단계; 및 상기 테이프가 돌출된 제1기판의 세 측변에는 상기 돌출된 테이프에 일정 너비를 갖는 투명 비닐을 부착하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 라미네이팅 방법 |
19 |
19 제 17 항에 있어서, 상기 제1기판을 기판 홀더에 장착하는 단계는 상기 제1기판의 일 측변을 상기 기판 홀더에 장착하되, 상기 제1기판의 일 측변이 상기 기판 홀더의 안착부의 측면과 접촉하도록 장착하여 상기 제1기판의 일 측변과 상기 기판 홀더를 테이프로 고정하는 단계임을 특징으로 하는 기판 라미네이팅 방법 |
20 |
20 제 17 항에 있어서, 상기 제2기판을 준비하는 단계:는 상기 제1기판과 합착되는 제2기판의 면 가장 자리에 모서리 접착 시트를 부착하는 단계; 및 상기 제1기판과 접착되지 않는 제2기판의 면의 네 측변에 기판 외부로 돌출되도록 테이프를 부착하고, 상기 테이프에 투명 비닐을 부착하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 라미네이팅 방법 |
지정국 정보가 없습니다 |
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패밀리정보가 없습니다 |
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국가 R&D 정보가 없습니다. |
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특허 등록번호 | 10-0943311-0000 |
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표시번호 | 사항 |
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1 |
출원 연월일 : 20080314 출원 번호 : 1020080024075 공고 연월일 : 20100219 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20100209 청구범위의 항수 : 3 유별 : B29C 63/02 발명의 명칭 : 기판 라미네이팅 장치 및 이를 이용한 합착 방법 존속기간(예정)만료일 : |
순위번호 | 사항 |
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1 |
(권리자) 부산대학교 산학협력단 부산광역시 금정구... |
1 |
(권리자) 주식회사바텍 경기도 화성시 삼... |
제 1 - 3 년분 | 금 액 | 237,000 원 | 2010년 02월 11일 | 납입 |
제 4 년분 | 금 액 | 282,000 원 | 2013년 02월 12일 | 납입 |
제 5 년분 | 금 액 | 282,000 원 | 2014년 02월 11일 | 납입 |
제 6 년분 | 금 액 | 282,000 원 | 2015년 02월 11일 | 납입 |
제 7 년분 | 금 액 | 518,000 원 | 2016년 02월 11일 | 납입 |
제 8 년분 | 금 액 | 413,260 원 | 2017년 06월 15일 | 납입 |
제 9 년분 | 금 액 | 149,800 원 | 2018년 01월 18일 | 납입 |
제 10 년분 | 금 액 | 405,000 원 | 2019년 01월 04일 | 납입 |
제 11 년분 | 금 액 | 405,000 원 | 2020년 01월 06일 | 납입 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
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1 | [특허출원]특허출원서 | 2008.03.14 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0188890-39 |
2 | 보정요구서 | 2008.03.25 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2008-0043330-76 |
3 | [출원서등 보정]보정서 | 2008.03.26 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0217305-22 |
4 | 선행기술조사의뢰서 | 2008.12.12 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
5 | 선행기술조사보고서 | 2009.01.12 | 수리 (Accepted) | 9-1-2009-0001654-85 |
6 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2009.03.11 | 수리 (Accepted) | 4-1-2009-5045505-33 |
7 | 의견제출통지서 | 2009.05.29 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2009-0231152-43 |
8 | [명세서등 보정]보정서 | 2009.07.27 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2009-0459158-50 |
9 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2009.07.27 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0459160-42 |
10 | 거절결정서 | 2009.11.26 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2009-0486569-81 |
11 | 명세서 등 보정서(심사전치) | 2009.12.23 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 7-1-2009-0064750-12 |
12 | 등록결정서 | 2010.02.09 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0057573-37 |
13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2010.03.22 | 수리 (Accepted) | 4-1-2010-5048943-56 |
14 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2010.09.29 | 수리 (Accepted) | 4-1-2010-5179097-73 |
15 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2012.03.07 | 수리 (Accepted) | 4-1-2012-5048640-07 |
16 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2012.03.07 | 수리 (Accepted) | 4-1-2012-5048638-15 |
17 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.09.16 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5126130-76 |
18 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.10.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5130700-30 |
19 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.01.02 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-0000027-56 |
20 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.10.20 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5123891-12 |
21 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2015.01.06 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5001533-99 |
22 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2016.01.13 | 수리 (Accepted) | 4-1-2016-5004891-78 |
23 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2017.01.09 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5004005-98 |
24 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2017.01.10 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5004797-18 |
기술정보가 없습니다 |
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과제고유번호 | 1345071201 |
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세부과제번호 | 과C6B1811 |
연구과제명 | 미래핵심기계부품소재산학공동사업단 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국학술진흥재단 |
연구주관기관명 | 부산대학교 |
성과제출연도 | 2008 |
연구기간 | 200603~201302 |
기여율 | 1 |
연구개발단계명 | 응용연구 |
6T분류명 | 기타 |
과제고유번호 | 1345141876 |
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세부과제번호 | 과C6B1811 |
연구과제명 | 미래핵심기계부품소재산학공동사업단 |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
연구주관기관명 | 부산대학교 |
성과제출연도 | 2010 |
연구기간 | 200603~201302 |
기여율 | 1 |
연구개발단계명 | 기타 |
6T분류명 | 기타 |
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번호 | 심판번호(숫자) | 심판번호(문자) | 사건의표시 | 청구일 | 심결일자 |
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1 | 2009101011584 | 2009원11584 | 2008년 특허출원 제0024075호 거절결정불복심판 | 2009.12.23 | 2010.02.09 |