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고 경도 저마찰 Cr―Ti―B―N 코팅 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015172391
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 항공기나 운반기계 부품, 각종 공구 등에 적용될 수 있는 고 경도 저마찰 특성을 나타내는 4 성분계 코팅 및 그 제조방법에 관한 것으로, 본 발명은,상기 코팅 제작 방법으로는, 하나의 챔버에서 Cr 성분은 Cr 타깃을 DC 펄스를 이용한 마그네트론 스퍼터링을 통하여 공급하고, Ti와 B 성분은 TiB2 타깃을 고전력 임펄스 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 공급하고, N 성분은 챔버 내 질소가스를 주입하여 공급함으로써 비교적 저온인 200℃ 정도의 공정 온도에서 코팅 막을 형성하여도, 별도의 어닐링 등의 후처리 없이 직접적으로 결정성의 Cr-Ti-B-N 코팅 막을 제작할 수 있도록 하였다.
Int. CL C23C 14/35 (2006.01) C23C 14/06 (2006.01)
CPC C23C 14/352(2013.01) C23C 14/352(2013.01)
출원번호/일자 1020150048144 (2015.04.06)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2015-0061617 (2015.06.04) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자 10-2013-0014366 (2013.02.08)
관련 출원번호 1020130014366
심사청구여부/일자 Y (2015.04.06)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김광호 대한민국 부산광역시 해운대구
2 명희복 대한민국 부산광역시 동래구
3 김두인 대한민국 부산광역시 금정구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 주은희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 ** 선릉엘지에클라트 B-***(아이디어로특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2015.04.06 수리 (Accepted) 1-1-2015-0332725-46
2 보정요구서
Request for Amendment
2015.04.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2015-0070437-16
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2015.05.18 수리 (Accepted) 1-1-2015-0470677-45
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.06.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0374081-61
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.07.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0735882-92
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.07.29 수리 (Accepted) 1-1-2015-0735912-74
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2015.12.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0845974-32
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.01.13 수리 (Accepted) 4-1-2016-5004891-78
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004005-98
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004797-18
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
챔버에, Cr 타깃과 TiB2 타깃을 설치하고, 상기 Cr 타깃에는 DC 펄스 전원을 인가하고, 상기 TiB2 타깃에는 임펄스 전원을 인가하되, Cr 타깃과 TiB2 타깃에 대한 인가전력의 비를 제어하고, 질소가스를 비활성 가스와 함께 공급하여, 모재에 Cr-Ti-B-N 사성분계 결정성 나노복합체 코팅 막을 형성하되, Cr-Ti-B-N 사성분계 결정성 나노복합체 코팅 막의 조성은 CrTi0
2 2
제1항에 있어서, 상기 모재를 지지하는 홀더에는 -70 내지 -150 V의 바이어스 전압을 인가하고, DC 펄스 전원의 전력과 임펄스 전원의 전력은 0
3 3
제1항 또는 제2항에 있어서, 코팅 공정 중 챔버 내 온도를 150 내지 250℃로 유지하는 것을 특징으로 하는 Cr-Ti-B-N 코팅 방법
4 4
내구성을 향상시키기 위하여, 스테인레스스틸, 실리콘, 세라믹, 철강합금, 금속 중 어느 하나로 된 모재 표면에 형성되는 결정성 나노복합체 코팅 막으로서, CrTi0
5 5
제4항에 있어서, 상기 Cr-Ti-B-N 사성분계 결정성 코팅 막의 마찰계수는 0
6 6
제4항에 있어서, 상기 Cr-Ti-B-N 사성분계 결정성 코팅 막의 경도는 20 내지 30GPa 인 것을 특징으로 하는 Cr-Ti-B-N 사성분계 결정성 코팅 막
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR1020140101120 KR 대한민국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 부산대학교 산학협력단 소재원천기술개발사업 경원소 공유결합형 초경도 박막합성 기술
2 교육과학기술부 부산대학교 산학협력단 국가핵심연구센터사업 신기능 하이브리드 표면소재 응용연구