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안티모니 주석 산화물 투명 전도성 박막의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015172691
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 안티모니 주석 산화물(antimony tin oxide, ATO) 투명 전도성 박막의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 용액공정이 가능한 ATO 투명 전도성 박막의 제조방법 및 상기 방법으로 제조된 투명 전도성 박막, 투명전극과 상기 투명전극을 적용한 전자 소자에 관한 것이다. 본 발명에 따른 ATO 투명 전도성 박막은 용매저항성이 우수하며, 다층구조의 유기 전계 발광 다이오드 제작시 층간 용액공정이 가능하고, 광투과도가 우수하며 면저항이 낮아 평판 디스플레이 소자 제작시 우수한 휘도와 발광 효율 및 높은 색순도를 나타내기 때문에, 유연 디스플레이용 투명전극으로도 유용하게 이용될 수 있다. 평판 디스플레이, 안티모니 주석 산화물, 용액공정, 투명전극
Int. CL H01B 1/16 (2006.01) C23C 14/08 (2006.01)
CPC H01B 1/08(2013.01) H01B 1/08(2013.01) H01B 1/08(2013.01) H01B 1/08(2013.01) H01B 1/08(2013.01)
출원번호/일자 1020090016612 (2009.02.27)
출원인 건국대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1089566-0000 (2011.11.29)
공개번호/일자 10-2010-0097789 (2010.09.06) 문서열기
공고번호/일자 (20111205) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.02.27)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 건국대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 광진구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 문두경 대한민국 서울특별시 서초구
2 송인성 대한민국 경기도 용인시 수지구
3 허수원 대한민국 경기도 구리시
4 이장용 대한민국 서울특별시 동대문구
5 원종우 대한민국 서울특별시 성북구
6 송호준 대한민국 서울특별시 강남구
7 송관욱 대한민국 서울특별시 금천구
8 이우정 대한민국 서울특별시 광진구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이은철 대한민국 서울특별시 송파구 법원로**길 **, A동 *층 ***호 (문정동, H비지니스파크)(*T국제특허법률사무소)
2 유완식 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, **층 *T 국제특허법률사무소 (역삼동, 여삼빌딩)(*T국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 건국대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 광진구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.02.27 수리 (Accepted) 1-1-2009-0121685-17
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2010.05.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2010.06.16 수리 (Accepted) 9-1-2010-0036828-55
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.03.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0160043-80
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.05.23 수리 (Accepted) 1-1-2011-0382720-86
6 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2011.06.07 수리 (Accepted) 1-1-2011-0423526-20
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.06.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0477633-17
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.06.23 수리 (Accepted) 1-1-2011-0477632-61
9 등록결정서
Decision to grant
2011.11.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0696692-62
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.06.01 수리 (Accepted) 4-1-2012-5116974-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
(1) 기판을 세정하는 단계; (2) 상기 세정된 기판 위에 안티모니-주석 산화물(ATO) 용액을 코팅하여 코팅막을 형성하는 단계; 및 (3) 상기 코팅막을 소성하여 도전성을 얻는 단계;를 포함하되, 상기 (1) 단계에서 유리 또는 플렉서블 기판을 선택하여 세정제, 아세톤, 이소프로판올(IPA)로 순차적으로 세정한 다음 수분 제거를 위해 가열판에서 100~150℃로 1~30분간하고, 기판이 완전히 세정되면 기판 표면을 친수성으로 개질하는 것을 특징으로 하고, 상기 기판 표면 개질은 진공상태에서 UV 자외선을 이용하여 생성된 오존을 통해 표면을 산화하는 것을 특징으로 하는 ATO 투명 전도성 박막을 제조하는 방법
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
제 1항에 있어서, 상기 (2) 단계에서 ATO 용액은 SnO2/Sb2O3가 물에 콜로이드 분산(colloidal dispersion) 되어있는 나노 크기의 입자 금속 산화물(nano-sized particle metal oxide)을 사용하여 Sb2O3가 15~30%(w/w) 함유되도록 물에 용해시켜 제조하는 것을 특징으로 하는 제조방법
5 5
제 1항에 있어서, 상기 (2) 단계에서 코팅막은 담금법, 스핀코팅법, 또는 스프레이법을 이용하여 형성시키는 것을 특징으로 하는 제조방법
6 6
제 1항에 있어서, 상기 (2) 단계에서 코팅막의 두께는 100~2,500 ㎚인 것을 특징으로 하는 제조방법
7 7
제 1항에 있어서, 상기 (2) 단계에서 코팅회수는 1~10회인 것을 특징으로 하는 제조방법
8 8
제 1항에 있어서, 상기 (3) 단계의 소성은 100~1,200℃의 온도범위에서 10~60분간 실시하는 것을 특징으로 하는 제조방법
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10 10
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11 11
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12 12
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13 13
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14 14
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 건국대학교 산학협력단 자원순환 및 산업에너지 기술 개발 보급 사업 청청공정을 이용한 고순도 In 저감 재료 기술 개발