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외부로부터 액체 및 입자를 포함하는 유체를 일정량 수용하기 위해 몸체의 내부에 형성된 챔버 및 상기 액체 및 입자를 포함하는 유체의 분사를 위해 상기 챔버로부터 연통되어 상기 몸체의 일측면으로 형성된 노즐이 구비된 몸체와, 상기 액체 및 입자를 포함하는 유체가 상기 노즐을 통해 분사되도록 정전기장을 형성하는 액츄에이터를 포함하는 액적 분사장치에 있어서,
상기 몸체의 일측면은 초소수성 표면으로 이루어진 것을 특징으로 하는 초소수성 노즐을 이용한 액적 분사장치
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제1항에 있어서,
상기 몸체의 재질은 폴리 테트라 플루오르 에틸렌(PTFE, poly tetra fluoro ethylene)이고, 상기 몸체의 일측면은 산소(oxygen) 플라즈마 공정을 통해 초소수성 표면이 형성되거나 아르곤(argon) 및 산소(oxygen) 이온빔(ion beam) 공정을 통해 초소수성 표면이 형성된 것을 특징으로 하는 초소수성 노즐을 이용한 액적 분사장치
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제1항에 있어서,
상기 몸체의 일측면은 테프론(teflon)으로 코팅처리되어 있고, 상기 테프론 코팅처리된 몸체의 일측면은 산소(oxygen) 플라즈마 공정을 통해 초소수성 표면이 형성되거나 아르곤(argon) 및 산소(oxygen) 이온빔(ion beam) 공정을 통해 초소수성 표면이 형성된 것을 특징으로 하는 초소수성 노즐을 이용한 액적 분사장치
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제1항에 있어서,
상기 몸체의 일측면은 폴리 테트라 플루오르 에틸렌(PTFE) 용액으로 코팅처리되어 있고, 상기 폴리 테트라 플루오르 에틸렌(PTFE) 용액으로 코팅처리된 몸체의 일측면은 산소(oxygen) 플라즈마 공정을 통해 초소수성 표면이 형성되거나 아르곤(argon) 및 산소(oxygen) 이온빔(ion beam) 공정을 통해 초소수성 표면이 형성된 것을 특징으로 하는 초소수성 노즐을 이용한 액적 분사장치
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제2항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 몸체의 일측면에는 다수개의 챔버로부터 각각 연통된 다수개의 노즐이 형성된 것을 특징으로 하는 초소수성 노즐을 이용한 액적 분사장치
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제1항에 있어서,
상기 액츄에이터는,
상기 챔버 또는 상기 노즐에 위치되거나 그 벽면에 증착되어 형성된 전극과, 상기 몸체의 일측면으로부터 소정거리 이격되어 설치되되 상기 노즐과 대응되는 위치에 분사홀이 형성된 전극판과, 상기 전극 및 전극판의 사이에 전압을 인가하는 전원부와, 상기 전원부를 제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 초소수성 노즐을 이용한 액적 분사장치
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제6항에 있어서,
상기 전극판은 복수개가 평행하게 설치되고, 상기 노즐은 다수개가 형성되며, 상기 각 노즐을 독립적으로 제어하여 액적을 형성 및 분사하는 것을 특징으로 하는 초소수성 노즐을 이용한 액적 분사장치
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