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원자간력 현미경을 이용한 그래핀의 두께 측정방법

  • 기술번호 : KST2015172930
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 원자간력 현미경(Atomic Force Microscope; AFM)을 이용한 그래핀의 정확한 두께를 측정할 수 있는 방법에 관한 것으로, 그래핀 시료를 일정 각도마다 회전하면서 원자간력 현미경을 이용하여 마찰력을 측정하여 잔주름(ripple) 방향을 결정하는 제1단계와; 그래핀의 잔주름 방향과 수직이 되도록 콘택트 모드에서 원자간력 현미경을 이용하여 두께를 측정하는 제2단계;를 포함하여, 진공이나 고온과 같은 극한 환경을 필요로 하지 않고 상온, 상압에서 AFM을 이용하여 정확한 그래핀의 두께를 측정할 수 있는 효과가 있다.
Int. CL G01Q 60/26 (2010.01) G01B 21/08 (2006.01)
CPC G01Q 60/26(2013.01) G01Q 60/26(2013.01) G01Q 60/26(2013.01)
출원번호/일자 1020130100102 (2013.08.23)
출원인 건국대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1517429-0000 (2015.04.28)
공개번호/일자 10-2015-0023134 (2015.03.05) 문서열기
공고번호/일자 (20150507) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.08.23)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 건국대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 광진구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박배호 대한민국 서울 강남구
2 최진식 대한민국 대전 서구
3 이덕현 대한민국 경기도 양주시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이은철 대한민국 서울특별시 송파구 법원로**길 **, A동 *층 ***호 (문정동, H비지니스파크)(*T국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 건국대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 광진구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.08.23 수리 (Accepted) 1-1-2013-0766378-38
2 보정요구서
Request for Amendment
2013.09.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2013-0104845-04
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2013.10.04 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2013-0901035-73
4 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document
2013.10.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2013-0123472-67
5 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2013.10.30 수리 (Accepted) 1-1-2013-0987360-90
6 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2013.11.19 수리 (Accepted) 1-1-2013-1052865-94
7 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2013.11.19 수리 (Accepted) 1-1-2013-1052779-65
8 서류반려통지서
Notice for Return of Document
2013.11.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2013-0143437-37
9 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2013.12.10 수리 (Accepted) 1-1-2013-1128929-22
10 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.04.30 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
11 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.06.11 수리 (Accepted) 9-1-2014-0048495-18
12 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.09.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0647744-14
13 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.11.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-1121307-71
14 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.11.20 수리 (Accepted) 1-1-2014-1121306-25
15 등록결정서
Decision to grant
2015.03.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0185767-95
16 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2015.03.23 수리 (Accepted) 1-1-2015-0280140-94
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
그래핀 시료를 일정 각도마다 회전하면서 원자간력 현미경을 이용하여 마찰력을 측정하여 잔주름(ripple) 방향을 결정하는 제1단계와;그래핀의 잔주름 방향의 수직 방향으로 콘택트 모드에서 원자간력 현미경을 이용하여 두께를 측정하는 제2단계;를 포함하는 원자간력 현미경을 이용한 그래핀의 두께 측정방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 제1단계에서 그래핀 시료의 회전각도에 대한 그래핀의 높이는 정현 곡선(sinusoidal)인 것을 특징으로 하는 원자간력 현미경을 이용한 그래핀의 두께 측정방법
3 3
제2항에 있어서, 상기 정현 곡선의 주기는 180°인 것을 특징으로 하는 원자간력 현미경을 이용한 그래핀의 두께 측정방법
4 4
제1항에 있어서, 상기 그래핀 시료는 산화실리콘 상부에 기계적 박리법에 의해 형성된 소수층(003c# 10층)의 그래핀인 것을 특징으로 하는 원자간력 현미경을 이용한 그래핀의 두께 측정방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 건국대학교 리더연구자지원사업 2+ 차원융합 소자 연구단