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프로브 물질을 배열하여 고정화하기 위한 1 또는 복수의 웰이 형성된 바이오 칩으로서, 기판 상에 1 또는 복수의 전극 배선이 형성되고, 그 1 또는 복수의 전극 배선은, 금속산화물의 절연막으로 피복되고, 그 1 또는 복수의 전극 배선의 각각의 일 영역상의 절연막에, 전극 표면에 도달하는 1 또는 복수의 구멍을 형성함으로써 1 또는 복수의 웰이 형성된 바이오 칩
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제1항에 있어서,그 1 또는 복수의 웰 바닥부에 노출된 전극 배선 표면 상에, 핵산, 단백질, 펩티드, 리포솜, β-아미로이드 올리고머 및 환원당으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 프로브 물질이 고정화되어 있는, 바이오 칩
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제1항에 있어서,금속산화물이, TiO2, SiO2, ZnO로 이루어지는 군으로부터 선택되는, 바이오 칩
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적어도, 작용 전극, 대극 및 참조 전극을 포함하는 바이오센서로서, 여기에, 그 작용 전극은, 프로브 물질을 배열하여 고정화하기 위한 1 또는 복수의 웰이 형성된 바이오 칩으로서, 기판 상에 1 또는 복수의 전극 배선이 형성되고, 그 1 또는 복수의 전극 배선은, 금속산화물의 절연막으로 피복되고, 그 1 또는 복수의 전극 배선의 각각의 일 영역상의 절연막에, 전극 표면에 도달하는 1 또는 복수의 구멍을 형성함으로써 1 또는 복수의 웰이 형성된 바이오 칩으로서, 그 1 또는 복수의 웰 바닥부에 노출된 전극 배선 표면 상에, 핵산, 단백질, 펩티드, 리포솜, β-아미로이드 올리고머 및 환원당으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 프로브 물질이 고정화되고, 처리 전에, 그 바이오 칩의 제1 전기적 신호를 측정하고, 그 바이오 칩을 시험 용액 중에서 처리한 후, 그 바이오 칩의 제2 전기적 신호를 측정하고; 이어서, 제1 전기적 신호와 제2 전기적 신호의 강도 차로부터, 시험 용액 중에 존재하는, 그 1 또는 복수의 프로브 물질과 특이적 결합하는 비표시 타겟 분자를 검출하는 것을 특징으로 하는 바이오센서
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제4항에 있어서,그 전기적 신호가, 산화 환원 전류값인 바이오센서
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프로브 물질을 배열하여 고정화하기 위한 1 또는 복수의 웰이 형성된 바이오 칩의 제조 방법으로서, 기판 상에 1 또는 복수의 전극 배선을 형성하고, 그 1 또는 복수의 전극 배선을 금속산화물의 절역막으로 피복하고, 이어서,그 1 또는 복수의 전극 배선의 각각의 일 영역상의 절연막에, 전극 표면에 도달하는 1 또는 복수의 구멍을 형성함으로써 1 또는 복수의 웰을 형성하는, 바이오 칩의 제조 방법
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그 금속산화물의 절연막에 웰을 형성하는 기술이, 나노임프린팅 기술, KrF 스테퍼 패터닝, E-빔법, 수속 이온빔법으로 이루어지는 군으로부터 선택되는, 제6항의 제조 방법
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