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롤투롤 슬롯 다이 인쇄 방식에 있어서의 공정 변수 설계 방법

  • 기술번호 : KST2015172994
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 유연 전자 소자 인쇄를 위한 롤투롤(roll-to-toll) 슬롯 다이(slot die) 인쇄 방식을 이용한 박막 패터닝(pellicle patterning) 방법에 관한 것으로서, 특히 소정의 두께를 가지는 박막 패턴을 얻기 위한 공정 변수를 설계하는 방법을 개시한다. 롤투롤 슬롯다이 인쇄 방식에서 코팅 다이에 의해 코팅되는 박막의 목표 두께를 얻기 위한 유연기판의 이송 속도 및 상기 코팅 다이에 의해 주입되는 용액의 유량을 결정하는 방법에 있어서, (a) 건조후의 박막 두께 및 상기 코팅 다이에 의해 주입되는 용액의 중량비를 고려하여 상기 목표 두께를 설정하는 과정; (b) 상기 용액의 점도, 상기 용액의 표면장력 그리고 상기 유연기판과 상기 코팅 다이 사이의 갭을 고려하여 상기 목표 두께를 얻기 위한 유연기판의 이송속도를 설정하는 과정; 및 설정된 유연기판의 이송속도에 상응하는 유량을 설정하는 과정을 포함한다..
Int. CL G06F 17/10 (2006.01) G06F 19/00 (2011.01) G05D 7/00 (2006.01)
CPC B05C 5/02(2013.01) B05C 5/02(2013.01) B05C 5/02(2013.01) B05C 5/02(2013.01)
출원번호/일자 1020110084623 (2011.08.24)
출원인 건국대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2013-0022446 (2013.03.07) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 발송처리완료
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.08.24)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 건국대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 광진구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 신기현 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 강현규 대한민국 서울특별시 광진구
3 성진우 대한민국 서울 노원구
4 박장훈 대한민국 서울특별시 도봉구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 조현석 대한민국 충청남도 예산군 대술면 송석백제울길 ***(지우국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.08.24 수리 (Accepted) 1-1-2011-0658453-30
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.01 수리 (Accepted) 4-1-2012-5116974-69
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.01.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0038931-04
4 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2013.03.19 무효 (Invalidation) 1-1-2013-0237359-18
5 보정요구서
Request for Amendment		 2013.03.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2013-0032833-34
6 무효처분통지서
Notice for Disposition of Invalidation		 2013.05.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2013-0048500-65
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2013.05.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0340374-23
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번호 청구항
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롤투롤 슬롯다이 인쇄 방식에서 코팅 다이에 의해 코팅되는 박막의 목표 두께를 얻기 위한 유연기판의 이송 속도 및 상기 코팅 다이에 의해 주입되는 용액의 유량을 결정하는 방법에 있어서,(a) 건조후의 박막 두께 및 상기 코팅 다이에 의해 주입되는 용액의 중량비를 고려하여 상기 목표 두께를 설정하는 과정;(b) 상기 용액의 점도, 상기 용액의 표면장력 그리고 상기 유연기판과 상기 코팅 다이 사이의 갭을 고려하여 상기 목표 두께를 얻기 위한 유연기판의 이송속도를 설정하는 과정; 및설정된 유연기판의 이송속도에 상응하는 유량을 설정하는 과정을 포함하는 공정 변수 설계 방법
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제1항에 있어서, 상기 유연기판의 이송속도를 설정하는 과정은 비스코캐필러리 모델에 기반하여 하기의 수학식(여기서, V는 이송되는 유연 기판의 이송속도를 나타내고, μ는 용액의 점도를 나타내고, σ는 용액의 표면장력을 나타내고, Ho는 유연기판과 코팅 다이 사이의 갭을 나타내고 그리고 t는 코팅되는 박막의 두께를 나타낸다)에 기반하여 상기 유연기판의 이송 속도를 설정하는 것을 특징으로 하는 공정 변수 설계 방법
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제2항에 있어서,상기 유연기판의 이송속도를 설정하는 과정은 비스코캐필러리 모델에 기반하여 상기 유연기판의 이송속도 대비 박막의 두께 사이의 상관관계를 보이는 속도-두께 특성 그래프를 얻고,상기 특성 그래프를 참조하여 상기 목표 두께에 상응하는 상기 유연기판의 이송속도를 결정하는 것을 특징으로 하는 공정 변수 설계 방법
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제1항에 있어서, 상기 유량을 결정하는 과정은 박막 패턴에 상응하는 심플레이트가 장착된 상태에서 인쇄를 수행하고, 상기 심플레이트의 패턴과 코팅된 박막 패턴을 비교하여 인쇄 상태를 평가하고, 평가된 인쇄 상태에 근거하여 심플레이트의 패턴과 코팅된 박막 패턴이 실질적으로 일치하는 인쇄 상태를 얻기 위한 유연소자 이송속도와 유량과의 관계를 나타내는 속도-유량 특성 그래프를 얻고, 상기 속도-유량 특성 그래프를 참조하여 상기 유연기판의 이송속도에 상응하는 유량을 결정하는 것을 특징으로 하는 공정 변수 설계 방법
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제1항에 있어서,코팅된 박막 패턴에 대하여 건조 및 경화를 수행하는 과정; 및건조 및 경화된 박막 패턴의 두께를 측정하고, 이를 건조후 두께와 비교하여 일치 여부를 판단하는 과정; 을 더 구비하고,일치하지 않을 경우 상기 (a)과정으로 복귀하여 상기 용액의 중량비 또는 코팅 갭을 변경하는 것을 특징으로 하는 공정 변수 설계 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 서울시 건국대학교 산학협력단 기술기반구축(특정)사업 [5차-母]동부권 도심형 제조업 혁신을 위한 e-Printing 부품 산업 클러스터 구축