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기판;상기 기판과 이격되게 배치되는 압전 베이스, 상기 압전 베이스 상에 패터닝되는 진동 전극부를 포함하며, 전원을 인가받아 표면탄성파(surface acoustic wave)를 발생시키는 진동발생부;상기 진동발생부에 전도성 잉크를 연속적으로 공급하는 노즐부;상기 노즐부에 상기 전도성 잉크를 제공하는 잉크공급부;상기 진동발생부에서 표면탄성파에 의하여 미립화(atomized)된 전도성 잉크가 상기 기판에 증착되도록 상기 미립화된 전도성잉크의 유동을 상기 기판측으로 유도하기 위한 정전기력을 인가하는 정전기력 인가부;상기 분사영역 상에 공급되는 전도성 잉크가 변성되는 것이 방지되도록 상기 압전 베이스를 냉각시키기 위한 냉각수단;를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면탄성파를 이용한 대면적 증착장치
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제1항에 있어서,상기 냉각수단은 상기 압전베이스의 하면에 장착되는 펠티에(Peltier) 소자인 것을 특징으로 하는 투명전극 제작 시스템
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제2항에 있어서,상기 진동 전극부는 상호 이격되는 제1진동전극과 제2진동전극을 포함하고, 상기 제1진동전극과 상기 제2진동전극의 사이에는 상기 압전 베이스 상에 형성되는 가상의 분사영역이 형성되며,상기 노즐부는 상기 분사영역 상에 전도성 잉크를 공급할 수 있도록 배치되는 것을 특징으로 하는 표면탄성파를 이용한 대면적 증착장치
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제3항에 있어서,상기 잉크공급부는 전도성 잉크가 저장되는 저장부; 상기 진동발생부로부터 분사되는 전도성 잉크와 상기 노즐부로부터 공급되는 전도성 잉크를 모니터하는 모니터부; 상기 진동발생부로부터 미립화 되어 상방으로 분사되는 전도성 잉크의 유량(flow rate)과 상기 진동발생부에 공급되는 전도성 잉크의 유량이 동일하도록 상기 저장부로부터 상기 노즐부로 공급되는 전도성 잉크의 유량을 제어하는 공급제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면탄성파를 이용한 대면적 증착장치
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제4항에 있어서,상기 정전기력 인가부는 상기 기판의 상측에 배치되는 제1전극; 분사되는 전도성 잉크의 이동경로와 접하는 영역이 관통되되, 상기 제1전극과 상기 진동발생부의 사이에 배치되는 제2전극; 상기 제1전극 또는 상기 제2전극에 전압을 인가하는 전압 인가부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면탄성파를 이용한 대면적 증착장치
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제4항에 있어서,상기 압전 베이스를 이동시키기 위한 스테이지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면탄성파를 이용한 대면적 증착장치
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제4항에 있어서,상기 진동 전극부는 복수개가 상기 압전 베이스 상에 일렬로 배치되고,상기 노즐부는 복수개가 상기 각각의 진동 전극부의 분사영역 상에 하나씩 마련되며,상기 잉크공급부는 일단부가 상기 저장부와 연결되고, 타단부는 여러 경로로 나누어져 상기 복수개의 노즐부 각각에 연결되는 연결부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면탄성파를 이용한 대면적 증착장치
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유연한(flexible) 기판을 준비하는 기판준비단계;제1항 내지 제7항 중 어느 한 항의 표면탄성파를 이용한 대면적 증착장치를 이용하여 상기 기판상에 전도성 잉크 재질의 박막부를 증착하는 증착단계;상기 박막부를 건조하는 박막부 건조단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 전극 제조방법
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