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기상공정에 의해 금속 코어-세라믹 쉘 구조를 갖는 자성체 분말의 제조방법으로서, (a) 쉘 물질의 전구체, 상기 쉘 물질 보다 금속 환원성이 높은 코어 물질의 전구체, 및 용매를 혼합하여 분무 용액을 제조하는 단계;(b) 상기 분무용액을 분무장치에 투입하여 코어 물질, 쉘 물질 또는 이들 모두가 함유된 액적을 발생시키는 단계;(c) 상기 발생된 액적들이 화염을 통과하여 제1세라믹-제2세라믹 코어-쉘 구조의 세라믹 분말을 형성하는 단계; 및(d) 형성된 세라믹 분말을 환원 분위기하에서 열처리하여 제1세라믹 코어를 금속 코어로 환원하는 단계를 포함하는 자성체 분말의 제조방법
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제3항에 있어서, 상기 코어 물질과 쉘 물질의 전구체는 초산염(acetate), 질산염(nitrate), 염화물(chloride), 수화물(hydroxide), 탄산염(carbonate) 및 산화물(oxide)로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상인 것을 특징으로 하는 자성체 분말의 제조방법
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제3항에 있어서, 상기 코어 물질의 전구체는 Ni, Cu, Fe, Co, 및 Sn로 구성된 군으로부터 선택된 1종 이상의 전이금속을 포함하며, 상기 쉘 물질의 전구체는 Ba, Ti, Si, Ar, Al, Ce 및 Mg로 구성된 군으로부터 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 자성체 분말의 제조방법
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제3항에 있어서, 상기 단계 (a)에서 분무용액의 농도는 코어 물질의 전구체와 쉘 물질의 전구체를 포화 용해도 이하로 포함하는 것을 특징으로 하는 자성체 분말의 제조방법
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제3항에 있어서, 상기 단계 (b)의 분무장치는 초음파 분무장치,일류체 공기노즐 분무장치, 이류체 공기노즐 분무장치,초음파 노즐 분무장치,필터 팽창 액적 발생장치(FEAG), 및 디스크 타입 액적 발생장치로 구성된 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 자성체 분말의 제조방법
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제3항에 있어서, 상기 단계 (b)에서 발생된 액적은 평균 직경이 0
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제3항에 있어서, 상기 단계 (c)의 화염 온도는 2000℃ 내지 9000℃ 범위인 것을 특징으로 하는 자성체 분말의 제조방법
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제3항에 있어서, 상기 단계 (d)에서 열처리 온도는 300 내지 600℃ 범위인 것을 특징으로 하는 자성체 분말의 제조방법
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제3항에 있어서, 상기 금속 코어와 세라믹 쉘의 중량비는 0
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제3항에 있어서, 상기 금속 코어는 Co, Cu, Fe, NiFe, CuFe, CoFe, NiCo, CuCo, Sn, SnFe, SnNi, 및 SnCo로 구성된 군으로부터 선택되고, 상기 세라믹 쉘은 TiO2, BaTiO3, SiO2, ZrO2, Al2O3, CeO2 및 MgO로 구성된 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 자성체 분말의 제조방법
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제3항에 있어서, 상기 분말은 평균 직경이 5nm 내지 100 nm 범위인 구형의 나노입자 형태인 것을 특징으로 하는 자성체 분말의 제조방법
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제3항에 있어서, 상기 자성체 분말은 인덕터, 마그네틱 센서, 또는 의료기기 용도로 사용되는 것을 특징으로 하는 자성체 분말의 제조방법
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