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유기부와 무기부를 포함하는 제1유무기 하이브리드층과, 산화알루미늄층이 적층된 유무기 혼합층; 유기부와 무기부를 포함하는 제2유무기 하이브리드층; 및상기 유무기 혼합층과 상기 제2유무기 하이브리드층이 적층되는 기판을 포함하는 기체 차단 필름
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제 1 항에 있어서,상기 제1유무기 하이브리드층에 포함되는 유기부와 상기 제2유무기 하이브리드층에 포함되는 유기부는, 탄소수 5를 갖는 탄화수소유도체를 포함하는 기체 차단 필름
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제 1 항에 있어서,상기 제1유무기 하이브리드층과 상기 제2유무기 하이브리드층은,[Al-O-(CH2)5-O]n의 화학식으로 표시되는 단위를 포함하는 화합물을 포함하는 기체 차단 필름
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제 1 항에 있어서,상기 유무기 혼합층의 두께는, 3nm 내지 7nm의 범위에서 선택되는 기체 차단 필름
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제 1 항에 있어서,상기 제1유무기 하이브리드층의 두께는, 3nm 내지 7nm의 범위에서 선택되는 기체 차단 필름
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제 1 항에 있어서,상기 기판은,10μm 내지 100μm의 범위에서 선택되는 두께를 갖는 고분자 필름을 포함하는 기체 차단 필름
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제 6 항에 있어서,상기 기판은,상기 고분자 필름 위에 증착되는 알루미늄층을 더 포함하는 기체 차단 필름
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제 7 항에 있어서,상기 기판은,상기 알루미늄층 위에 형성되고, 아크릴 및 폴리에틸렌을 포함하는 그룹에서 선택되는 적어도 하나의 수지를 포함하는 보호층을 더 포함하는 기체 차단 필름
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원자층 증착 공정에 따라 기체 차단 필름을 제조하는 방법에 있어서,기판에 TMA(Trimethyl Aluminium)를 포함하는 제1전구체를 공급하여 증착시키고;비활성 기체를 공급하여 증착되지 않은 제1전구체 또는 반응 부산물을 제거하고;상기 제1전구체가 증착된 기판에 탄소수 5를 갖는 탄화수소유도체를 포함하는 제2전구체를 공급하여 증착시키고;비활성 기체를 공급하여 증착되지 않은 제2전구체 또는 반응 부산물을 제거하는 것을 포함하는 제1유무기 하이브리드층의 제조 방법을 포함하는 기체 차단 필름의 제조 방법
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제 9 항에 있어서,상기 제2전구체는,1,5-펜탄다이올(1,5-pentanediol)을 포함하는 기체 차단 필름의 제조 방법
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제 10 항에 있어서,상기 제1유무기 하이브리드층은,[Al-O-(CH2)5-O]n의 화학식으로 표시되는 단위를 포함하는 화합물을 포함하는 기체 차단 필름의 제조 방법
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제 9 항에 있어서,기판에 TMA(Trimethyl Aluminium)를 포함하는 제1전구체를 공급하여 증착시키고; 비활성 기체를 공급하여 증착되지 않은 제1전구체 또는 반응 부산물을 제거하고; 상기 제1전구체가 증착된 기판에 탄소수 5를 갖는 탄화수소 유도체를 포함하는 제2전구체를 공급하여 증착시키고; 비활성 기체를 공급하여 증착되지 않은 제2전구체 또는 반응 부산물을 제거하는 것을 포함하는 제1서브 사이클이 X회(X는 1 이상의 정수) 수행되는 제2유무기 하이브리드층의 제조 방법; 및기판에 TMA(Trimethyl Aluminium)를 포함하는 제1전구체를 공급하여 증착시키고; 비활성 기체를 공급하여 증착되지 않은 제1전구체 또는 반응 부산물을 제거하고; 상기 제1전구체가 증착된 기판에 수증기(H2O)를 포함하는 제2전구체를 공급하여 증착시키고; 비활성 기체를 공급하여 증착되지 않은 제2전구체 또는 반응 부산물을 제거하는 것을 포함하는 제2서브 사이클이 Y회(Y는 1 이상의 정수) 수행되는 산화 알루미늄층의 제조 방법을 포함하는 유무기 혼합층의 제조 방법을 더 포함하는 기체 차단 필름의 제조 방법
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제 12 항에 있어서,상기 유무기 혼합층의 제조 방법에 사용되는 제2전구체는,1,5-펜탄다이올(1,5-pentanediol)을 포함하는 기체 차단 필름의 제조 방법
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제 13 항에 있어서,상기 제2유무기 하이브리드층은,[Al-O-(CH2)5-O]n의 화학식으로 표시되는 단위를 포함하는 화합물을 포함하는 기체 차단 필름의 제조 방법
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제 12 항에 있어서,상기 제1유무기 하이브리드층의 제조 방법과 상기 유무기 혼합층의 제조 방법에 사용되는 증착 온도는, 상온 내지 120℃의 범위에서 선택되는 기체 차단 필름의 제조 방법
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제 12 항에 있어서,상기 제1유무기 하이브리드층의 제조 방법과 상기 유무기 혼합층의 제조 방법에 사용되는 증착 온도는, 상온 내지 80℃의 범위에서 선택되는 기체 차단 필름의 제조 방법
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제 12 항에 있어서,상기 유무기 혼합층의 제조 방법은,상기 제1서브 사이클이 X회(X는 1 이상의 정수) 수행되는 제2유무기 하이브리드층의 제조 방법; 및 상기 제2서브 사이클이 Y회(Y는 1 이상의 정수) 수행되는 산화 알루미늄층의 제조 방법을 포함하는 슈퍼 사이클이 N회(N은 1 이상의 정수) 수행되는 기체 차단 필름의 제조 방법
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제 17 항에 있어서,상기 X는 1이고, 상기 Y는 3인 기체 차단 필름의 제조 방법
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제 18 항에 있어서,상기 제1유무기 하이브리드층과 상기 유무기 혼합층은 교대로 적층되는 기체 차단 필름의 제조 방법
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제 19 항에 있어서,상기 유무기 혼합층의 두께는, 3nm 내지 7nm의 범위에서 선택되는 기체 차단 필름의 제조 방법
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제 19 항에 있어서,상기 제1유무기 하이브리드층의 두께는, 3nm 내지 7nm의 범위에서 선택되는 기체 차단 필름의 제조 방법
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외관을 형성하는 외상;상기 외상의 내부에 마련되고, 저장실을 형성하는 내상; 및상기 외상 및 상기 내상 사이에 위치하는 진공단열재;를 포함하는 냉장고에 있어서,상기 진공단열재는,유기부와 무기부를 포함하는 제1유무기 하이브리드층과, 산화알루미늄층이 적층된 유무기 혼합층; 유기부와 무기부를 포함하는 제2유무기 하이브리드층; 및상기 유무기 혼합층과 상기 제2유무기 하이브리드층이 적층되는 기판을 포함하는 기체 차단 필름을 포함하는 냉장고
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제 22 항에 있어서,상기 제1유무기 하이브리드층에 포함되는 유기부와 상기 제2유무기 하이브리드층에 포함되는 유기부는, 탄소수 5를 갖는 탄화수소유도체를 포함하는 냉장고
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제 22 항에 있어서,상기 제1유무기 하이브리드층과 상기 제2유무기 하이브리드층은,[Al-O-(CH2)5-O]n의 화학식으로 표시되는 단위를 포함하는 화합물을 포함하는 냉장고
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