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광섬유 간섭계를 이용한 미세 거리 측정 장치

  • 기술번호 : KST2015173719
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 광간섭계를 이용한 이동 거리 측정 장치에 관한 것으로서, 특히, 1마이크론 이하의 미세 거리를 오차없이 측정하도록 한 광섬유 간섭계를 이용한 미세거리 측정 장치에 관한 것이다.종래 기술에 따른 미세 거리 측정을 위한 광간섭계는, 기준이 되는 간섭계의 경로에 구성되는 거울과 빔스플리터가 공기에 노출되어 있어 외부의 압력, 온도 또는 진동에 영향을 받아 기준이 되는 경로가 변화하게 되어 측정 거리에 오차가 발생하였다.따라서, 본 발명에서는 기준이 되는 광간섭계의 한쪽 경로를 빔스플리터대신에 광섬유 커플러와 광섬유 콜리메이터를 사용하여, 기준이 되는 광경로가 공기에 노출되는 것을 방지하여 측정거리에 오차가 발생하는 것을 현저하게 줄이는 효과를 제공한다.
Int. CL G01B 11/14 (2006.01)
CPC G01B 11/14(2013.01) G01B 11/14(2013.01)
출원번호/일자 1019990051246 (1999.11.18)
출원인 광주과학기술원
등록번호/일자 10-0371721-0000 (2003.01.27)
공개번호/일자 10-2001-0047156 (2001.06.15) 문서열기
공고번호/일자 (20030207) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1999.11.18)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김덕영 대한민국 광주광역시광산구
2 박용우 대한민국 서울특별시서초구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 장성구 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))
2 김원준 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 1999.11.18 수리 (Accepted) 1-1-1999-0151283-55
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2000.01.06 수리 (Accepted) 4-1-2000-0001373-12
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2001.07.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2001.08.10 수리 (Accepted) 9-1-2001-0014124-16
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2002.05.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2002-0199226-29
6 의견서
Written Opinion		 2002.07.29 수리 (Accepted) 1-1-2002-0243747-25
7 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2002.07.29 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2002-0243746-80
8 등록결정서
Decision to grant		 2003.01.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0000650-00
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2003.11.19 수리 (Accepted) 4-1-2003-5076055-97
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.07.27 수리 (Accepted) 4-1-2004-0031183-30
11 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2007.08.03 수리 (Accepted) 1-1-2007-0566095-80
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.09.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5187089-85
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

측정 경로와 기준 경로의 거리차이를 측정하는 것에 의하여 1마이크론 이하의 미세거리의 변화량을 측정하는 광섬유 간섭계를 이용한 미세거리 측정 장치에 있어서,

광원의 선폭이 좁은 레이저 광원;

상기 광원에서 방출된 빛을 커플링하여 같은 세기의 빛으로 분할하여 단일모드 광섬유를 통해 상기 측정 경로와 상기 기준 경로로 전달하고, 반사되는 빛을 커플링하여 전달하는 광섬유 결합기;

상기 기준 경로상에 배치되어 상기 광섬유 결합기에서 분할되어 전달되는 빛을 반사시키는 광섬유 거울;

상기 기준 경로상에 배치되어 상기 광섬유 거울에 의해서 반사되는 빛의 편광상태와 상기 측정 경로로부터 반사되는 빛의 편광 상태를 일치시키는 광섬유 편광 조절기;

상기 측정 경로상에 배치되어 상기 광섬유 결합기에서 분할되어 전달되는 빛을 정렬시켜 직선으로 전달하고, 반사되는 빛을 상기 광섬유 결합기로 반사시키는 광섬유 콜리메이터;

상기 측정 경로상에 배치되어 상기 광섬유 콜리메이터에서 직선으로 전달되는 빛을 상기 광섬유 콜리메이터로 반사시키는 거울;

상기 광섬유 결합기의 커플링과정에 의해 발생하는 빛에 의한 간섭무늬의 세기를 검출하는 광검출기;

상기 광검출기에서 검출되는 상기 간섭무늬의 위상을 실시간으로 계산하여 측정자에게 디스플레이하는 마이크로 프로세서를 포함하는 것을 특징으로 하는 광섬유 간섭계를 이용한 미세거리 측정 장치

2 2

제 1 항에 있어서, 상기 레이저 광원과 상기 광섬유 결합기사이에 배치되어 상기 기준 경로로부터 반사되는 빛을 소멸시켜 상기 레이저 광원으로 전달되는 것을 방지하는 광격리기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광섬유 간섭계를 이용한 미세거리 측정 장치

3 3

제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 측정 경로 및 상기 기준 경로상의 광섬유의 온도를 일정하게 유지시키는 항온기를 더 포함하여 구성하는 것을 특징으로 하는 광섬유 간섭계를 이용한 미세거리 측정 장치

4 4

삭제
5 5

제 1 항에 있어서, 상기 단일모드 광섬유는 상기 레이저 광원의 중심 파장에서 빛의 편광을 유지시켜주는 편광 유지 광섬유인 것을 특징으로 하는 광섬유 간섭계를 이용한 미세거리 측정 장치

6 6

측정 경로와 기준 경로의 거리차이를 측정하는 것에 의하여 1마이크론 이하의 미세거리의 변화량을 측정하는 광섬유 간섭계를 이용한 미세거리 측정 장치에 있어서,

광원의 선폭이 좁은 레이저 광원;

상기 광원에서 방출된 빛을 커플링하여 같은 세기의 빛으로 분할하여 단일모드 광섬유를 통해 상기 측정 경로와 상기 기준 경로로 전달하는 제 1 광섬유 결합기;

상기 기준 경로상에 배치되어 상기 제 1 광섬유 결합기에서 분할되어 전달되는 빛의 편광 상태와 상기 측정 경로로부터 반사되는 빛의 편광 상태를 일치시키는 광섬유 편광 조절기;

상기 측정 경로상에 배치되어 상기 광섬유 결합기에서 분할되어 전달되는 빛을 정렬시켜서 직선으로 전달하는 제 1 광섬유 콜리메이터;

상기 측정 경로상에 배치되어 상기 제 1 광섬유 콜리메이터에서 전달되는 빛을 전달하는 제 2 광섬유 콜리메이터;

상기 광섬유 편광 조절기에 의해 편광 상태가 일치되어 전달되는 빛과 상기 제 2 광섬유 콜리메이터에서 전달되는 빛을 커플링하는 제 2 광섬유 결합기;

상기 제 2 광섬유 결합기의 커플링 과정에 의해 발생하는 빛에 의한 간섭무늬의 세기를 검출하는 광검출기;

상기 광검출기에서 검출되는 상기 간섭무늬의 위상을 실시간으로 계산하여 측정자에게 디스플레이하는 마이크로 프로세서를 포함하는 것을 특징으로 하는 광섬유 간섭계를 이용한 미세거리 측정 장치

7 7

제 6 항에 있어서, 상기 측정 경로 및 상기 기준 경로상의 광섬유의 온도를 일정하게 유지시키는 항온기를 더 포함하여 구성하는 것을 특징으로 하는 광섬유 간섭계를 이용한 미세거리 측정 장치

8 8

삭제
9 9

제 6 항에 있어서, 상기 단일모드 광섬유는 상기 레이저 광원의 중심 파장에서 빛의 편광을 유지시켜주는 편광 유지 광섬유인 것을 특징으로 하는 광섬유 간섭계를 이용한 미세거리 측정 장치

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.