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변형된 피형 전극구조를 이용한 질화갈륨계 발광 다이오드및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015173747
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 변형된 p-형 전극구조를 이용한 질화갈륨계 발광 다이오드 및 그 제조 방법에 관한 것이다.본 발명은 내부 일면이 굴곡 처리된 p-형 질화갈륨층 및 투명 전극과, 상호 인접하는 모서리가 굴곡 처리 및 연장 처리된 P-형 전극과, 상호 인접하는 모서리가 굴곡 처리된 n-형 전극으로 이루어지는 질화갈륨계 발광 다이오드로서, 사파이어 기판상에 질화갈륨 핵생성층(nucleation layer)을 형성하는 과정과; 제 1 설정 시간 동안 제 1 설정 두께의 실리콘이 도핑된 n-형 질화갈륨 박막을 형성하는 과정과; 제 2 설정 시간 동안 제 2 설정 두께의 마그네슘이 도핑된 p-형 질화갈륨 박막을 형성하는 과정과; n-형 질화갈륨 박막상에 n-형 전극을 형성하는 과정과; p-형 질화갈륨 박막상에 투명 전극을 형성하는 과정과; 투명 전극상에 p-형 전극을 형성하는 과정과; p-형 질화갈륨 및 투명 전극의 내부 일면을 굴곡 형태로 변형시키고 n- 및 p-형 전극의 상호 인접하는 모서리를 굴곡 형태로 변형시키는 과정과; p-형 전극에서 투명 전극상에 연장되는, p-형 전극보다 적은 폭을 갖는 가지 형태의 전극을 덧붙이는 과정으로 이루어진다. 따라서, 본 발명은 전기적 특성 및 수명 특성이 우수한 질화갈륨계 발광 다이오드를 이용한 청색, 녹색 및 백색광원용 소자제작에 있어서 고효율의 소자제작을 가능하게 함으로써, 질화갈륨계 발광 다이오드의 상업화에 유리할 뿐만 아니라, 고효율의 특성을 위해서 기본적인 설계상의 개선만 필요하므로 경제적인 이점이 있다.
Int. CL H01L 33/38 (2014.01)
CPC H01L 33/38(2013.01) H01L 33/38(2013.01) H01L 33/38(2013.01) H01L 33/38(2013.01)
출원번호/일자 1020000024466 (2000.05.08)
출원인 광주과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2001-0102795 (2001.11.16) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2000.05.08)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김현수 대한민국 광주광역시북구
2 박성주 대한민국 광주광역시북구
3 황현상 대한민국 광주광역시북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 장성구 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2000.05.08 수리 (Accepted) 1-1-2000-0091905-08
2 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent
2001.10.16 수리 (Accepted) 1-1-2001-5285207-60
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2002.03.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2002-0094261-33
4 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2002.07.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2002-0245576-18
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2003.11.19 수리 (Accepted) 4-1-2003-5076055-97
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2004.07.27 수리 (Accepted) 4-1-2004-0031183-30
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.09.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5187089-85
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번호 청구항
1 1

n-형 질화갈륨층과;

상기 n-형 질화갈륨층상에 형성되며, 내부 일면이 굴곡 처리된 p-형 질화갈륨층과;

상기 p-형 질화갈륨층상에 형성되며, 내부 일면이 굴곡 처리된 투명 전극과;

상기 투명 전극상에 형성되며, 중심측의 일단의 모서리가 굴곡 처리된 p-형 전극과;

상기 n-형 질화갈륨층상에 형성되며, 상기 굴곡 처리된 p-형 전극의 일단의 모서리와 인접하는 중심측의 모서리가 굴곡 처리된 n-형 전극으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 변형된 p-형 전극구조를 이용한 질화갈륨계 발광 다이오드

2 2

제 1 항에 있어서,

상기 n- 및 p-형 질화갈륨층은 질화갈륨(GaN), 알루미늄 질화갈륨(AlGaN), 인듐 질화갈륨(InGaN)으로 구성되는 것을 특징으로 하는 변형된 p-형 전극구조를 이용한 질화갈륨계 발광 다이오드

3 3

제 1 항에 있어서,

상기 p-형 전극은 상기 p-형 전극보다 적은 폭을 갖는 상기 p-형 전극에 연장 처리된 구조인 것을 특징으로 하는 변형된 p-형 전극구조를 이용한 질화갈륨계 발광 다이오드

4 4

제 1 항에 있어서,

상기 p-형 질화갈륨층 및 투명 전극의 내부 일면은 상기 n-형 전극과 인접하는 면인 것을 특징으로 하는 변형된 p-형 전극구조를 이용한 질화갈륨계 발광 다이오드

5 5

제 1 항에 있어서,

상기 p-형 질화갈륨층, 투명 전극, p-형 전극 및 n-형 전극은 내부 일면이 굴곡 처리됨으로써 발광 영역의 확장 및 모서리 부분에서의 전류 집중 현상을 방지하는 것을 특징으로 하는 변형된 p-형 전극구조를 이용한 질화갈륨계 발광 다이오드

6 6

사파이어 기판상에 질화갈륨 핵생성층(nucleation layer)을 형성하는 단계와;

제 1 설정 시간 동안 제 1 설정 두께의 실리콘이 도핑된 n-형 질화갈륨 박막을 형성하는 단계와;

제 2 설정 시간 동안 제 2 설정 두께의 마그네슘이 도핑된 p-형 질화갈륨 박막을 형성하는 단계와;

상기 n-형 질화갈륨 박막상에 n-형 전극을 형성하는 단계와;

상기 p-형 질화갈륨 박막상에 투명 전극을 형성하는 단계와;

상기 투명 전극상에 p-형 전극을 형성하는 단계와;

상기 p-형 질화갈륨 및 투명 전극의 내부 일면을 굴곡 형태로 변형시키고 상기 n- 및 p-형 전극의 상호 인접하는 모서리를 굴곡 형태로 변형시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 변형된 p-형 전극구조를 이용한 질화갈륨계 발광 다이오드 제조 방법

7 7

제 6 항에 있어서,

상기 방법은,

상기 p-형 전극에서 상기 투명 전극상에 연장되는, 상기 p-형 전극보다 적은 폭을 갖는 가지 형태의 전극을 덧붙이는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 변형된 p-형 전극구조를 이용한 질화갈륨계 발광 다이오드 제조 방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.