요약 | 본 발명은 기판의 온도를 변화시킬 수 있는 스퍼터링(sputtering) 방법으로 박막전지를 제조하는 방법에 있어서, 완충층(buffer layer)과 결정질 양극물질로 이루어진 양극 구조를 제조하는 것을 특징으로 박막전지의 제조방법이 제공된다.이러한 본 발명에 따르면 기존의 결정질 양극물질의 두께 증가에 따른 균열(cracking) 등의 문제점을 해결 할 수 있으며, 이로부터 고 용량(capacity)을 지닌 박막전지의 제조가 가능하게 된다. 완충층, 박막전지, 양극, 음극, 전해질, 전류집전체, 기판 |
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Int. CL | H01M 4/139 (2010.01) |
CPC | |
출원번호/일자 | 1020000052809 (2000.09.06) |
출원인 | 광주과학기술원 |
등록번호/일자 | 10-0379244-0000 (2003.03.26) |
공개번호/일자 | 10-2002-0020007 (2002.03.14) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20030408) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2000.09.06) |
심사청구항수 | 2 |