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(a) 전기적 절연 물질로 된 기판의 일면을 식각 처리하여 다수의 박막 전지로 구성된 전지층을 다수층 수용할 수 있는 제 1그루브를 형성하는 단계; (b) 상기 제 1그루브에 다수의 전지층을 형성하기 위하여, (b1) 상기 제 1그루브에 전지층을 구성하는 다수의 단위 박막 전지의 어느 한쪽 전극을 연결해 주는 제 1전류 집전체를 형성하는 단계, (b2), 상기 제 1전류 집전체 위에 절연 물질을 증착한 후에 식각 처리하여 그 각각에 한 개의 단위 박막 전지가 수용되는 다수의 제 2그루브를 형성하는 단계, (b3) 상기 각각의 제 2그루브에 박막 전지를 구성하는 양극, 전해질, 음극 물질을 증착하여 다수의 단위 박막 전지를 형성하는 단계, (b4) 상기 다수의 단위 박막 전지 위에 제 2전류 집전체를 증착하여 형성하는 단계 및, (b5) 상기 제 2전류 집전체 위에 절연 물질로 된 절연층을 증착하여 형성하여 이루어지는 다수의 전지층을 형성하는 단계; (c) 상기 다수의 전지층 중에서 서로 다른 전지층에 형성된 다수의 제 1전류 집전체 및 제 2전류 집전체 중에서, 다수의 제 1전류 집전체를 서로 연결시키는 제 1리드선과 다수의 제 2전류 집전체를 서로 연결시키는 제 2리드선으로 된 병렬 리드선과, 다수의 전지층에서 서로 인접한 각각의 제 1전류 집전체와 제 2전류 집전체를 직렬로 연결시켜 주는 다수의 직렬 리드선 중 선택된 어느 한 리드선을 형성하는 단계; 및 (d) 상기 다수의 전지층 위에 절연 물질로 된 보호층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 안정성이 향상된 집적 박막 전지 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 제 1그루브는 그 내부에 다수 형성되는 전지층의 총 두께보다 적어도 깊게 형성되는 것을 특징으로 하는 안정성이 향상된 집적 박막 전지 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 제 2그루브는 그 내부에 형성되는 단위 박막 전지를 구성하는 양극, 전해질, 음극의 총 두께와 동일한 깊이로 형성되는 것을 특징으로 하는 안정성이 향상된 집적 박막 전지 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 단위 박막 전지를 구성하는 양극 물질이 전이 금속 산화물이면 전지층을 단층으로 형성하는 것을 특징으로 하는 안정성이 향상된 집적 박막 전지 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 단위 박막 전지를 구성하는 양극 물질이 산화바나듐이면 전지층을 다층으로 형성하는 것을 특징으로 하는 안정성이 향상된 집적 박막 전지 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2절연층과 보호층은 박막 전지의 충방전에 따른 체적 변화에 대한 완충 작용과 전기 절연성을 가지는 절연 물질인 것을 특징으로 하는 안정성이 향상된 집적 박막 전지 제조 방법
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제 1항 또는 8항에 있어서, 상기 보호층은 전기 절연 물질과, 금속, 폴리머로 조합 구성되어, 전기적 절연과 외부 환경으로부터 전지를 보호하는 것을 특징으로 하는 안정성이 향상된 집적 박막 전지 제조 방법
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제 8항에 있어서, 상기 절연 물질은 SiO2, TEOS, SOG, 및 상기 물질들로 조합된 조합물 중에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 안정성이 향상된 집적 박막 전지 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 전지층을 구성하는 다수의 단위 박막 전지의 각 전류 집전체는 각각의 양극 또는 음극에 대하여 하나의 전류 집전체로 형성되어 서로 공유하는 것을 특징으로 하는 안정성이 향상된 집적 박막 전지 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 전지층을 구성하는 단위 박막 전지의 각 양극, 전해질, 음극 물질은 동일한 물질, 시간, 두께로 형성되는 것을 특징으로 하는 안정성이 향상된 집적 박막 전지 제조 방법
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(a) 전기적 절연 물질로 된 기판의 일면을 식각 처리하여 다수의 박막 전지로 구성된 전지층을 다수층 수용할 수 있는 제 1그루브를 형성하는 단계; (b) 상기 제 1그루브에 전지층을 구성하는 다수의 단위 박막 전지의 어느 한쪽 전극을 연결해 주는 제 1전류 집전체를 형성하는 단계; (c) 상기 제 1전류 집전체 위에 절연 물질을 증착한 후에 식각 처리하여 그 각각에 한 개의 단위 박막 전지가 수용되는 다수의 제 2그루브를 형성하는 단계; (d) 상기 각각의 제 2그루브에 박막 전지를 구성하는 양극, 전해질, 음극 물질을 증착하여 다수의 단위 박막 전지를 형성하는 단계; (e) 상기 다수의 단위 박막 전지 위에 제 2전류 집전체를 증착하여 형성하는 단계; 및 (f) 상기 제 2전류 집전체 위에 절연 물질로 된 보호층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 안정성이 향상된 집적 박막 전지 제조 방법
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각각 양극/전해질/음극으로 구성되는 다수의 단위 박막 전지와, 상기 다수의 단위 박막 전지 사이를 전기적으로 절연해 주는 다수의 내벽을 포함하는 다수의 전지층; 상기 다수의 전지층을 구성하는 다수의 단위 박막 전지의 각 양극 및 음극에 접하게 형성되어 각각의 전류를 집전시켜 주는 다수의 양극 전류 집전체 및 음극 전류 집전체; 상기 다수의 전지층과 각각의 전지층에 형성된 양극 전류 집전체 및 음극 전류 집전체를 인접한 다른 전지층과 양극 전류 집전체 또는 음극 전류 집전체에 대하여 전기적으로 절연시켜 주는 절연층; 상기 다수의 양극 전류 집전체와 다수의 음극 전류 집전체 중에서, 다수의 양극 전류 집전체를 서로 연결시키고 다수의 음극 전류 집전체를 서로 연결시켜 주는 병렬 리드선과, 서로 인접된 각 양극 전류 집전체와 음극 전류 집전체를 직렬로 연결시켜 주는 다수의 직렬 리드선 중 선택된 어느 한 리드선; 다수의 양극 또는 음극 전류 집전체 중에서 최하단에 형성된 전류 집전체의 하부면에 형성되는 기판; 상기 다수의 전지층의 최외곽면에 형성되는 외벽; 다수의 양극 또는 음극 전류 집전체 중에서 최상단에 형성된 전류 집전체의 상부면에 형성되는 보호층으로 구성되는 것을 특징으로 하는 안정성이 향상된 집적 박막 전지
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