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고효율 연성 캘코파이럿계 화합물 반도체 박막태양전지의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015174292
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 고효율 연성 캘코파이럿계 화합물 반도체 박막태양전지의 제조방법에 관한 것으로서, 기판상에 희생층을 형성하고, 상기 희생층의 상부에 확산 장벽층을 포함하는 태양전지 구조체를 형성하는 단계와, 상기 태양전지 구조체상에 지지막을 형성하는 단계와, 상기 희생층을 선택적으로 식각하여 상기 기판으로부터 태양전지 구조체와 지지막을 분리하는 단계 및 상기 태양전지 구조체를 이종 연성 호스트 기판에 접합시키고 상기 지지막을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.본 발명에 따르면 고효율 연성 캘코파이럿계 화합물 반도체 박막태양전지의 고온 제조공정에서 얇은 박막의 GaAs 확산장벽 절연막이 CIGS(Cu (In, Ga, Al)(Se, S)) 흡수층과 하부전극 몰리브덴층과 최적의 열팽창계수 조건을 가지므로 불순물 확산을 방지할 수 있고, CIGS층의 열팽창계수 차이에 의한 하부전극 크랙킹 및 CIGS층의 박리현상을 방지할 수 있어 태양전지의 효율을 향상시킬 수 있다. 또한, 기판을 재사용할 수 있는 ELO(epitaxial lift off) 방법과 이종 기판 접합기술에 의해서 제작비용 절감과 유연성을 가지는 고효율의 연성 박막태양전지를 제조할 수 있다.
Int. CL H01L 31/0445 (2014.01)
CPC
출원번호/일자 1020100094942 (2010.09.30)
출원인 광주과학기술원
등록번호/일자 10-1163154-0000 (2012.06.29)
공개번호/일자 10-2012-0033435 (2012.04.09) 문서열기
공고번호/일자 (20120706) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.09.30)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정연길 대한민국 광주광역시 북구
2 문승현 대한민국 광주광역시 북구
3 이용탁 대한민국 광주광역시 북구
4 심희상 대한민국 광주광역시 북구
5 박창영 대한민국 광주광역시 북구
6 김재웅 대한민국 광주광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인충현 대한민국 서울특별시 서초구 동산로 **, *층(양재동, 베델회관)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 광주광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.09.30 수리 (Accepted) 1-1-2010-0630618-98
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.07.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.08.18 수리 (Accepted) 9-1-2011-0069867-22
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.09.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5187089-85
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.11.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0659318-00
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.01.10 수리 (Accepted) 1-1-2012-0024339-20
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.01.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0024340-77
8 등록결정서
Decision to grant
2012.04.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0250159-45
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번호 청구항
1 1
기판상에 희생층을 형성하고, 상기 희생층의 상부에 확산 장벽 절연막층을 포함하는 태양전지 구조체를 형성하는 단계;상기 태양전지 구조체상에 지지막을 형성하는 단계;상기 희생층을 선택적으로 식각하여 상기 기판으로부터 상부에 지지막이 형성되어 있는 태양전지 구조체를 분리하는 단계; 및상기 상부에 지지막이 형성되어 있는 태양전지 구조체의 확산 장벽 절연막층을 이종 연성 호스트 기판에 접합시킨 후, 상기 지지막을 제거하는 단계;를 포함하고,상기 희생층은 알루미늄이 함유된 AlXGa1-XAs 3원소 화합물(0
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제 1 항에 있어서,상기 태양전지 구조체는 상기 확산 장벽 절연막층상에 하부 전극용 몰리브덴층, CIGS(Cu(In, Ga, Al)(Se, S)) 흡수층, CdS 버퍼층, 도핑되지 않은 ZnO 윈도우층, n-형으로 도핑된 ZnO 윈도우층, 무반사층 및 상부전극용 니켈 및 알루미늄층 순으로 적층된 것을 특징으로 하는 고효율 연성 캘코파이럿계 화합물 반도체 박막태양전지의 제조 방법
3 3
제 2 항에 있어서,상기 CIGS(Cu(In, Ga, Al)(Se, S)) 흡수층은 1
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삭제
5 5
제 1 항에 있어서,상기 확산 장벽 절연막층의 두께는 150 ~ 1000 ㎚인 것을 특징으로 하는 고효율 연성 캘코파이럿계 화합물 반도체 박막태양전지의 제조 방법
6 6
제 5 항에 있어서,상기 확산 장벽 절연막층은 온도가 300 K ~ 1000 K에서 열팽창계수가 5
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제 1 항에 있어서,상기 지지층의 두께는 1 ~ 10 ㎛인 것을 특징으로 하는 고효율 연성 캘코파이럿계 화합물 반도체 박막태양전지의 제조 방법
8 8
2원소 화합물 반도체 GaAs로 이루어지는 두께 150 ~ 1000 ㎚의 박막층으로 이루어지는 확산 장벽 절연막층;상기 확산 장벽 절연막층상에 증착된 하부 전극용 몰리브덴층;상기 몰리브덴층상에 증착된 1
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