요약 | 본 발명은 고효율 연성 캘코파이럿계 화합물 반도체 박막태양전지의 제조방법에 관한 것으로서, 기판상에 희생층을 형성하고, 상기 희생층의 상부에 확산 장벽층을 포함하는 태양전지 구조체를 형성하는 단계와, 상기 태양전지 구조체상에 지지막을 형성하는 단계와, 상기 희생층을 선택적으로 식각하여 상기 기판으로부터 태양전지 구조체와 지지막을 분리하는 단계 및 상기 태양전지 구조체를 이종 연성 호스트 기판에 접합시키고 상기 지지막을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.본 발명에 따르면 고효율 연성 캘코파이럿계 화합물 반도체 박막태양전지의 고온 제조공정에서 얇은 박막의 GaAs 확산장벽 절연막이 CIGS(Cu (In, Ga, Al)(Se, S)) 흡수층과 하부전극 몰리브덴층과 최적의 열팽창계수 조건을 가지므로 불순물 확산을 방지할 수 있고, CIGS층의 열팽창계수 차이에 의한 하부전극 크랙킹 및 CIGS층의 박리현상을 방지할 수 있어 태양전지의 효율을 향상시킬 수 있다. 또한, 기판을 재사용할 수 있는 ELO(epitaxial lift off) 방법과 이종 기판 접합기술에 의해서 제작비용 절감과 유연성을 가지는 고효율의 연성 박막태양전지를 제조할 수 있다. |
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Int. CL | H01L 31/0445 (2014.01) |
CPC | |
출원번호/일자 | 1020100094942 (2010.09.30) |
출원인 | 광주과학기술원 |
등록번호/일자 | 10-1163154-0000 (2012.06.29) |
공개번호/일자 | 10-2012-0033435 (2012.04.09) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20120706) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2010.09.30) |
심사청구항수 | 7 |