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중심에서 빛 세기가 높고 주변에서 낮은 레이저 빛살을 소정 범위에서 거의 균일한 빛 세기 분포를 가지는 빛살로 균질화시키는 장치로서,제1 입체각을 가지는 제1 원뿔 렌즈; 및상기 제1 입체각과는 다른 제2 입체각을 가지는 제2 원뿔 렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 빛살 균질화 장치
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제1항에 있어서,상기 제2 원뿔 렌즈에서 출력하는 빛살의 간섭을 방지하고 빛 세기를 평균화하는 평균화 소자를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 빛살 균질화 장치
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제1항에 있어서,상기 소정 범위의 균질화된 빛살의 빛 세기를 증가시키는 고리형 볼록 렌즈를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 빛살 균질화 장치
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제3항에 있어서,상기 제2 원뿔 렌즈에서 출력하는 빛살의 간섭을 방지하고 빛 세기를 평균화하는 평균화 소자를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 빛살 균질화 장치
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제2항 또는 제4항에 있어서,상기 평균화 소자는 상기 렌즈들 중 어느 하나에 장착되는 것을 특징으로 하는 레이저 빛살 균질화 장치
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제2항 또는 제4항에 있어서,상기 평균화 소자는 소정의 경사를 가진 쐐기꼴의 원형 윈도우; 및상기 원형 윈도우를 회전시키는 소형 모터을 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 빛살 균질화 장치
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제6항에 있어서,상기 평균화 소자는 상기 원뿔 렌즈들이나 고리형 볼록 렌즈 중 일면에 장착되고,상기 평균화 소자가 장착되는 원뿔 렌즈는 상기 소형 모터를 장착하기 위하여 상기 일면에 형성된 홈; 및상기 소형 모터에 전력을 공급하기 위하여 상기 일면에 형성된 투명 전극막을 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 빛살 균질화 장치
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제6항에 있어서,상기 쐐기꼴의 윈도우의 양 단부의 두께 차이는 레이저 빛살의 파장과 같거나 수 배 정도인 것을 특징으로 하는 레이저 빛살 균질화 장치
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제1항에 있어서,제2 입체각이 제1 입체각보다 큰 것을 특징으로 하는 레이저 빛살 균질화 장치
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중심에서 빛 세기가 높고 주변에서 낮은 입력 레이저 빛살을 소정 범위에서 거의 균일한 빛 세기 분포를 가지는 빛살로 균질화시키는 방법으로서,상기 입력 레이저 빛살이 제1 입체각을 가지는 제1 원뿔 렌즈를 통과하여 중심에서 빛 세기가 낮고 주변에서 높은 제1 에너지 빛살로 출력하는 단계; 및상기 제1 에너지 빛살이 제2 입체각을 가지는 제2 원뿔 렌즈를 통과하여 거의 균일한 빛 세기 분포를 가지는 출력 빛살로 출력하는 단계를 포함하며,상기 제1 입체각과 제2 입체각은 서로 상이한 것을 특징으로 하는 레이저 빛살 균질화 방법
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제10항에 있어서,출력 빛살의 간섭을 방지하고 빛 세기를 평균화하기 위하여, 상기 입력 빛살, 제1 에너지 빛살 및 출력빛살 중 어느 하나를 회전하는 낮은 경사 쐐기꼴 원형 윈도우로 통과시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 빛살 균질화 방법
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제10항 또는 제11항에 있어서, 출력 빛살의 빛의 세기를 증가시키기 위하여, 레이저 빛살을 고리형 볼록 렌즈로 통과시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 빛살 균질화 방법
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