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레이저에서 발진되는 레이저 빔의 선폭을 축소시키는 선폭축소장치에 있어서,상기 레이저 빔을 확대하는 프리즘;상기 프리즘에서 확대된 레이저 빔을 반사하는 제 1 전반사경;상기 제 1 전반사경에서 반사된 레이저 빔을 회절 조건에 따라 특정 파장의 레이저 빔을 상기 제 1 전반사경으로 되반사하는 회절격자; 및상기 제 1 전반사경으로 되반사되지 못한 레이저 빔 가운데 상기 회절격자에 0차 회절된 레이저 빔을 반사하여 상기 회절격자에 재입사시키는 제 2 전반사경을 포함하는 결합공진기형 선폭축소장치
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제 1항에 있어서,상기 회절격자는 리트로우(Littrow) 형태로 형성되어, 상기 회절격자에 입사한 레이저 빔을 리트로우 회절 조건에 따라 되반사하는 것을 특징으로 하는 결합공진기형 선폭축소장치
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제 2항에 있어서,상기 제 2 전반사경은 상기 회절격자의 리트로우 회절 조건에 따라 0차 회절되는 레이저 빔의 경로에 수직하게 형성되며, 상기 회절격자와 거리 조절이 가능한 것을 특징으로 하는 결합공진기형 선폭축소장치
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제 2항에 있어서,상기 제1 전반사경은 상기 회절격자의 리트로우 회절 조건에 따라 되반사된 레이저 빔을 상기 프리즘 방향으로 반사하는 것을 특징으로 하는 결합공진기형 선폭축소장치
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제 1항에 있어서,상기 제 1 전반사경과 상기 제 2 전반사경은 서로 연동하여 반대방향으로 회전할 수 있는 것을 특징으로 하는 결합공진기형 선폭축소장치
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제 1항에 있어서,상기 프리즘과 상기 회절격자 사이에 1/4 편광판, 편광 광분할기, 제 3 전반사경으로 구성된 광 부품이 추가로 포함되는 것을 특징으로 하는 결합공진기형 선폭축소장치
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제 1항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 따른 결합공진기형 선폭축소장치를 구비하는 레이저 공진기에 있어서,상기 결합공진기형 선폭축소장치;상기 결합공진기형 선폭축소장치의 회절격자에 되반사된 레이저 빔을 부분적으로 반사하는 출력경;상기 결합공진기형 선폭축소장치와 상기 출력경 사이에 형성되며, 통과하는 레이저 빔을 증폭하는 레이저 챔버; 및상기 출력경에 반사되지 않은 레이저 빔을 외부로 발진하는 레이저 빔 발진부;를 포함하는 레이저 공진기
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제 7항에 있어서,상기 출력경은 부분반사경인 것을 특징으로 하는 레이저 공진기
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