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핀드층, 터널링층, 자유층을 포함하는 수직 자기 터널 접합(MTJ) 소자에서,상기 핀드층과 상기 자유층 중 적어도 한 층은 비정질의 수직 자기 이방성(PMA) 물질을 포함하는 다층(multilayer)이며,상기 핀드층 아래에 피닝층이 구비되고, 상기 자유층 상에 캡핑층이 구비된 수직 자기터널접합 소자
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제 1 항에 있어서, 상기 핀드층은 순차적으로 적층된 적어도 한 쌍의 물질층을 포함하며, 상기 한 쌍의 물질층은 순차적으로 적층된 비정질 제1 희토류 전이금속(RE-TM)층과 비정질 제2 희토류 전이금속층인 것을 특징으로 하는 수직 자기터널접합 소자
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제 1 항에 있어서, 상기 자유층은 순차적으로 적층된 적어도 한 쌍의 물질층을 포함하며, 상기 한 쌍의 물질층은 순차적으로 적층된 비정질 제1 희토류 전이금속층과 비정질 제2 희토류 전이금속층인 것을 특징으로 하는 수직 자기터널접합 소자
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제 2 항에 있어서, 상기 제1 희토류 전이금속층은 CoFe층이고, 상기 제2 희토류 전이금속층은 Tb층인 수직 자기터널접합 소자
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제 4 항에 있어서, 상기 제1 희토류 전이금속층은 Tb층이고, 상기 제2 희토류 전이금속층은 CoFe층인 수직 자기터널접합 소자
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제 1 항에 있어서, 상기 터널링층은 MgO층을 포함하는 수직 자기터널접합 소자
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제 1 항에 있어서, 상기 터널링층은 순차적으로 적층된 제1 터널링층, MgO층 및 제2 터널링층을 포함하는 수직 자기터널접합 소자
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제 8 항에 있어서, 상기 핀드층 및 상기 자유층 중 적어도 한 층은 상기 MgO층과 접촉되면서 상기 MgO층의 결정구조를 따라 결정화된 불순물 도핑 희토류 전이금속층을 포함하는 수직 자기터널접합 소자
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제 9 항에 있어서, 상기 제1 및 제2 터널링층은 상기 MgO층의 결정구조를 따라 결정화된 불순물 도핑 희토류 전이금속층인 수직 자기터널접합 소자
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