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하지층;하지층상에 형성된 자기 저항층; 및자기 저항층 상에 형성된 상지층을 포함하고,상기 자기 저항층은 두께의 조절을 통해 역 거대 자기 저항 효과를 나타내는 수직 자기 이방성 다층박막
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제1항에 있어서, 상기 자기 저항층은,강자성층, 비자성 스페이서층 및 연자성층이 순차적으로 적층된 구조를 포함하는 것을 특징으로 하는 수직 자기 이방성 다층박막
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제2항에 있어서,상기 강자성층 및 연자성층은 각각 전이금속층 및 희토류 금속층을 포함하는 것을 특징으로 하는 수직 자기 이방성 다층박막
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제3항에 있어서,상기 강자성층을 구성하는 전이금속층 또는 희토류 금속층의 두께 조절을 통하여 역 거대 자기 저항 효과를 나타내는 수직 자기 이방성 다층박막
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제3항에 있어서,상기 강자성층 및 연자성층은 전이금속층으로 CoFe층을 포함하고, 희토류 금속층으로 Tb층을 포함하며, 상기 강자성층의 Tb층의 두께가 상기 연자성층의 Tb층의 두께보다 큰 값을 가지는 것을 특징으로 하는 수직 자기 이방성 다층박막
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제5항에 있어서,상기 강자성층 또는 연자성층은 전이금속층/희토류 금속층의 조합인 CoFe/Tb층을 한 층으로 하여 5층으로 구성되는 것을 특징으로 하는 수직 자기 이방성 다층박막
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제1항에 있어서,상기 비자성 스페이서층은 Cu층인 것을 특징으로 하는 수직 자기 이방성 다층박막
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제6항 또는 제7항에 있어서,상기 Tb층의 두께 1
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하지층을 형성하는 단계;상기 하지층 상에 복수의 층을 포함하는 자기 저항층을 형성하는 단계; 및 상기 자기 저항층 상에 상지층을 형성하는 단계를 포함하되, 상기 자기 저항층의 두께를 조절하여 외부에서 인가되는 자장에 평행 또는 반평행하게 배열되는 상기 자기 저항층을 구성하는 각 층의 자화 배열을 다르게 설정함으로써 역 거대 자기 저항 효과를 발생시키는 수직 자기 이방성 다층박막의 제조방법
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제9항에 있어서,상기 하지층 상에 복수의 층을 포함하는 자기 저항층을 형성하는 단계는,강자성층, 비자성 스페이서층 및 연자성층을 순차적으로 적층하는 것을 특징으로 하는 수직 자기 이방성 다층박막의 제조방법
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11
제10항에 있어서, 상기 강자성층 및 연자성층은 전이금속층/희토류 금속층의 조합으로 형성되며, 상기 전이금속층은 CoFe층이고, 상기 희토류 금속층은 Tb층인 것을 특징으로 하는 수직 자기 이방성 다층박막의 제조방법
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제10항 또는 제11항에 있어서,상기 강자성층 또는 연자성층은 전이금속층/희토류 금속층의 조합인 CoFe/Tb층을 한 쌍으로 하여 5층으로 적층되는 것을 특징으로 하는 수직 자기 이방성 다층박막의 제조방법
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제11항에 있어서,상기 CoFe층의 두께는 0
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제13항에 있어서,상기 CoFe층의 두께는 1
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제11항에 있어서,상기 Tb층의 두께는 0
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제15항에 있어서,상기 Tb층의 두께는 1
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