| 1 |
1
피코팅 입자가 내부에 투입되는 유동층 반응기;상기 유동층 반응기의 내부로 상기 피코팅 입자를 코팅하기 위한 반응 기체들을 공급하는 반응물 공급부; 및상기 반응 기체들이 경유 가능하도록 상기 유동층 반응기에 결합되는 것으로, 상기 반응 기체들에 규칙적인 진동을 부여하여 상기 유동층 반응기 내부에 난기류를 형성시키는 진동 펌프를 포함하고,상기 진동 펌프는 다이어프램 펌프(diaphragm pump) 또는 멤브레인 펌프(membrane pump)이며,상기 진동 펌프는 팽창 및 수축하여 유체를 흡입하거나 토출하는 다이어프램과, 상기 다이어프램에 설치되는 피스톤과, 상기 피스톤을 구동시키는 구동체, 및 상기 구동체를 내장하는 펌프 챔버를 포함하되,상기 펌프 챔버에는 유체가 흡입되는 흡입부와 상기 유체가 토출되는 토출부가 형성되어 상기 흡입부 및 상기 토출부에는 유체가 서로 역으로 유동하지 않도록 각각 체크 밸브가 구비되는유동층 원자층 증착 장치
|
| 2 |
2
삭제
|
| 3 |
3
삭제
|
| 4 |
4
청구항 1에 있어서, 상기 반응물 공급부는 상기 피코팅 입자의 표면과 반응하여 상기 피코팅 입자에 화학 흡착하는 제1 전구체를 공급하는 제1 전구체 공급부; 및 상기 제1 전구체와 반응하여 상기 제1 전구체에 화학 흡착하는 제2 전구체를 공급하는 제2 전구체 공급부를 포함하는 유동층 원자층 증착 장치
|
| 5 |
5
청구항 4에 있어서, 상기 유동층 반응기에 불활성 기체를 공급하여 과잉 공급된 제1 전구체 또는 제2 전구체를 제거하는 불활성 기체 공급부를 포함하는 유동층 원자층 증착 장치
|
| 6 |
6
청구항 5에 있어서, 상기 불활성 기체 공급부는 불활성 기체의 유량을 조절하는 유량조절기를 포함하는 유동층 원자층 증착 장치
|
| 7 |
7
청구항 4 또는 청구항 5에 있어서,상기 유동층 반응기 내부를 진공 상태로 유지하기 위한 진공부를 더 포함하는 유동층 원자층 증착장치
|
| 8 |
8
청구항 7에 있어서, 상기 제1 전구체 공급부, 제2 전구체 공급부 및 진공부는 상기 유동층 반응기에 병렬 연결되는 유동층 원자층 증착장치
|
| 9 |
9
청구항 1에 있어서, 상기 유동층 반응기의 하부에는 기체만 선택적으로 투과시키는 가스투과지지체가 배치되는 유동층 원자층 증착 장치
|
